双面抛光机盘面面形自适应调整机构的制作方法

本发明涉及双面抛光机盘面面形自适应，具体涉及双面抛光机盘面面形自适应调整机构。

背景技术：

1、双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。

2、目前，现有的工件在进行抛光时，首先将工件固定在夹持组件上，待固定后，这时工作人员在将夹持组件和工件一起移动到两个打磨盘之间，待工件进入到两个打磨盘之间后，这时即可通过打磨盘开始对工件的表面进行打磨抛光，即可完成了对工件的打磨抛光处理；

3、由于，现有的双面抛光打磨机的打磨盘大多都是一个平面，所以在工件打磨时，只能对平面的工件进行打磨，若在对一些曲面或者一些菱形以及不规则的面进行打磨时，只能先将平面进行打磨，然后在重新夹持固定，待重新夹持后，在对其余的面进行打磨抛光，导致了该种的抛光效率低下，还增加了工作人员的劳动力的问题。

4、因此，目前需要一种能够提高抛光效率的双面抛光机盘面面形自适应调整机构。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了双面抛光机盘面面形自适应调整机构，解决了背景技术中提到的问题。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

3、双面抛光机盘面面形自适应调整机构，包括工作台；所述工作台内腔中部安装有第一抛光组件，所述工作台上端面一端安装有夹持组件，所述工作台一侧固定连接有立柱，所述立柱一侧设置有t型槽，所述t型槽内腔底部固定连接有液压杆，所述液压杆输出端固定连接有升降板，所述t型槽内腔滑动连接有升降板，所述升降板下端面安装有第二抛光组件；所述第一抛光组件包括驱动电机，所述工作台内腔底部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴端固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮啮合有齿圈，所述齿圈中部固定连接有圆盘，所述圆盘内腔安装有升降部件，所述升降部件上端安装有抛光部件，所述圆盘上端面固定连接有防水环。所述升降部件包括气动杆，所述工作台内腔底部固定连接有气动杆，所述气动杆输出轴端固定连接有u型环，所述u型环内腔转动连接有外形环，所述外形环上端面固定连接有接水板，所述接水板位于圆盘内腔滑动连接。

4、进一步的，所述升降部件还包括漏水孔和走水管，所述接水板上端面等间距设置有漏水孔，所述漏水孔内腔与外形环内腔连通，所述u型环下端面固定连接有走水管，所述走水管一端固定连接有汇总管。

5、进一步的，所述升降部件还包括燕尾槽和燕尾块，所述圆盘内腔壁等间距设置有燕尾槽，所述燕尾槽内腔滑动连接有燕尾块，所述接水板圆周面上等间距固定连接有燕尾块。

6、进一步的，所述抛光部件包括抛光杆，所述圆盘内腔等间距滑动连接有抛光杆，所述抛光杆外表面对称设置有水孔，所述抛光杆内腔的一端固定连接有十字架，所述十字架一端固定连接有第一阻尼杆，所述第一阻尼杆一端与接水板一侧固定连接，所述抛光杆上部固定连接有锥形球头。

7、进一步的，所述抛光部件还包括l型挂钩和抛光刷，所述抛光杆外表面对称固定连接有l型挂钩，所述抛光杆外表面安装有抛光刷，所述抛光刷外表面对称设置有第一槽，所述抛光刷外表面且位于第一槽一侧设置有第二槽，所述l型挂钩分别位于第一槽和第二槽内腔滑动连接，所述第一槽内腔壁一端固定连接有第二阻尼杆，所述第二阻尼杆一端固定连接有密封块。

8、进一步的，所述第二抛光组件与第一抛光组件镜像设置，且结构相同。

9、进一步的，所述夹持组件包括升降套杆，所述工作台上端面固定连接有升降套杆，所述升降套杆内腔滑动连接有升降杆，所述升降套杆内腔上部螺纹连接有第一定位螺栓，所述第一定位螺栓一端与升降杆一侧相互接触，所述升降杆上端面固定连接有方形套，所述方形套内腔滑动连接有横移杆，所述方形套内腔螺纹连接有第二定位螺栓，所述第二定位螺栓一端与横移杆一侧相互接触，所述横移杆一端安装有夹持部件。

10、进一步的，所述夹持部件包括第一夹持盒，所述横移杆一端固定连接有第一夹持盒，所述第一夹持盒外表面的两侧分别固定连接有收紧杆，所述收紧杆一侧设置有收纳槽，所述收纳槽内腔滑动连接有收纳杆，所述收纳杆一端固定连接有第二夹持盒，所述收紧杆内腔转动连接有收紧螺杆，所述收紧螺杆外表面螺纹连接有收纳杆，所述第一夹持盒和第二夹持盒内腔滑动连接有夹持杆，所述夹持杆一端固定连接有半球头，所述夹持杆另一端固定连接有第三阻尼杆，所述第三阻尼杆一端与分别与第一夹持盒和第二夹持盒内壁固定连接。

11、本发明提供了双面抛光机盘面面形自适应调整机构。与现有技术相比，具备以下有益效果：

12、1、通过第一抛光组件和第二抛光组件中的汇总管、走水管、漏水孔、接水板、u型环和外形环的相互配合，实现了将外界的打磨液注入到抛光杆内，然后通过水孔将其进行喷洒到工件上，以方便后期均匀的打磨，同时通过上述相关结构，也实现了将使用后的打磨液进行汇聚收集，方便后期集中处理。

13、2、通过夹持组件中的升降套杆、升降杆和第一定位螺栓的相互配合，实现了对夹持部件和工件的高度进行调节，确保了第一抛光组件能够与工件进行更好的接触，通过夹持组件中的方形套、横移杆和第二定位螺栓的相互配合，方便后期将工件移动到第一抛光组件和第二抛光组件之间，以方便后期更好的进行抛光；通过夹持组件中的夹持杆、第三阻尼杆、半球头的相互配合，实现了对不同形状的工件进行夹持固定，同时，通过收纳杆、收纳槽、收紧杆的相互配合，实现了对不同大小的工件进行夹持固定，以方便后期的打磨抛光。

14、3、通过第一抛光组件和第二抛光组件中的l型挂钩、第一槽、第二槽、第二阻尼杆和密封块的相互配合，实现了快速对抛光刷进行安装，以及方便后期对抛光刷的进行更换，同时也将方便后期工作人员根据打磨的需求进行更换对应的抛光轮或抛光盘。

15、4、通过第一抛光组件和第二抛光组件中的抛光杆、第一阻尼杆、锥形球头、抛光刷和气动杆的相互配合，实现了对不同形状以及不同尺寸的工件进行打磨，并且在打磨时，适应工件的形状，并且对其进行打磨。

技术特征：

1.双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：包括工作台(1)；所述工作台(1)内腔中部安装有第一抛光组件(2)，所述工作台(1)上端面一端安装有夹持组件(3)，所述工作台(1)一侧固定连接有立柱(4)，所述立柱(4)一侧设置有t型槽(5)，所述t型槽(5)内腔底部固定连接有液压杆(6)，所述液压杆(6)输出端固定连接有升降板(7)，所述t型槽(5)内腔滑动连接有升降板(7)，所述升降板(7)下端面安装有第二抛光组件(8)；

2.根据权利要求1所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述升降部件(25)还包括漏水孔(255)和走水管(256)，所述接水板(254)上端面等间距设置有漏水孔(255)，所述漏水孔(255)内腔与外形环(253)内腔连通，所述u型环(252)下端面固定连接有走水管(256)，所述走水管(256)一端固定连接有汇总管(257)。

3.根据权利要求2所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述升降部件(25)还包括燕尾槽(258)和燕尾块(259)，所述圆盘(24)内腔壁等间距设置有燕尾槽(258)，所述燕尾槽(258)内腔滑动连接有燕尾块(259)，所述接水板(254)圆周面上等间距固定连接有燕尾块(259)。

4.根据权利要求3所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述抛光部件(26)包括抛光杆(261)，所述圆盘(24)内腔等间距滑动连接有抛光杆(261)，所述抛光杆(261)外表面对称设置有水孔(262)，所述抛光杆(261)内腔的一端固定连接有十字架(263)，所述十字架(263)一端固定连接有第一阻尼杆(264)，所述第一阻尼杆(264)一端与接水板(254)一侧固定连接，所述抛光杆(261)上部固定连接有锥形球头(265)。

5.根据权利要求4所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述抛光部件(26)还包括l型挂钩(266)和抛光刷(267)，所述抛光杆(261)外表面对称固定连接有l型挂钩(266)，所述抛光杆(261)外表面安装有抛光刷(267)，所述抛光刷(267)外表面对称设置有第一槽(268)，所述抛光刷(267)外表面且位于第一槽(268)一侧设置有第二槽(269)，所述l型挂钩(266)分别位于第一槽(268)和第二槽(269)内腔滑动连接，所述第一槽(268)内腔壁一端固定连接有第二阻尼杆(2610)，所述第二阻尼杆(2610)一端固定连接有密封块(2611)。

6.根据权利要求5所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述第二抛光组件(8)与第一抛光组件(2)镜像设置，且结构相同。

7.根据权利要求6所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述夹持组件(3)包括升降套杆(31)，所述工作台(1)上端面固定连接有升降套杆(31)，所述升降套杆(31)内腔滑动连接有升降杆(32)，所述升降套杆(31)内腔上部螺纹连接有第一定位螺栓(33)，所述第一定位螺栓(33)一端与升降杆(32)一侧相互接触，所述升降杆(32)上端面固定连接有方形套(34)，所述方形套(34)内腔滑动连接有横移杆(35)，所述方形套(34)内腔螺纹连接有第二定位螺栓(36)，所述第二定位螺栓(36)一端与横移杆(35)一侧相互接触，所述横移杆(35)一端安装有夹持部件(37)。

8.根据权利要求7所述的双面抛光机盘面面形自适应调整机构，其特征在于：所述夹持部件(37)包括第一夹持盒(371)，所述横移杆(35)一端固定连接有第一夹持盒(371)，所述第一夹持盒(371)外表面的两侧分别固定连接有收紧杆(372)，所述收紧杆(372)一侧设置有收纳槽(373)，所述收纳槽(373)内腔滑动连接有收纳杆(374)，所述收纳杆(374)一端固定连接有第二夹持盒(375)，所述收紧杆(372)内腔转动连接有收紧螺杆(376)，所述收紧螺杆(376)外表面螺纹连接有收纳杆(374)，所述第一夹持盒(371)和第二夹持盒(375)内腔滑动连接有夹持杆(379)，所述夹持杆(379)一端固定连接有半球头(377)，所述夹持杆(379)另一端固定连接有第三阻尼杆(378)，所述第三阻尼杆(378)一端与分别与第一夹持盒(371)和第二夹持盒(375)内壁固定连接。

技术总结
本发明提供双面抛光机盘面面形自适应调整机构，包括工作台；所述工作台内腔中部安装有第一抛光组件，所述工作台上端面一端安装有夹持组件，所述工作台一侧固定连接有立柱，所述立柱一侧设置有T型槽，所述T型槽内腔底部固定连接有液压杆，所述液压杆输出端固定连接有升降板，所述T型槽内腔滑动连接有升降板，所述升降板下端面安装有第二抛光组件；所述第一抛光组件包括驱动电机，所述工作台内腔底部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴端固定连接有传动齿轮，所述传动齿轮啮合有齿圈，所述齿圈中部固定连接有圆盘。本发明通过第一抛光组件和第二抛光以及与夹持组件的相互配合，实现了对不规则的产品进行打磨抛光。

技术研发人员：詹军
受保护的技术使用者：南京孚克讯新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12