双向笼式载具移载装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜领域，具体而言，涉及一种双向笼式载具移载装置。

背景技术：

1、现今市场上真空镀膜机的自动送料装置种类较少，用于真空腔室内部使用的送料机构更是少见。其原因在于传动结构方式受限，在真空环境下，气缸、电机等一般执行元件只能安装在真空室外部，通过密封结构，将动力传递到真空室内部。所以该机构较在大气环境下使用的送料装置结构复杂。随着镀膜行业的快速发展和广泛应用，对镀膜质量和效率提出了更高的要求。开发适用于真空室内使用的自动送料装置能提高镀膜的效率，从而降低镀膜成本并提高公司竞争力。

技术实现思路

1、本发明的目的包括，例如，提供了一种双向笼式载具移载装置，其能够改善真空环境下送料效率低的问题。

2、本发明的实施例可以这样实现：

3、本发明的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；所述移载腔室的两端设置开口，所述开口用于与其他腔室密封插接；所述移动架沿横向方向可移动地设置在所述移载腔室两端的所述开口之间，所述货笼沿横向方向可移动地设置在所述移动架上，所述货笼用于装载待镀膜件；

4、所述升降机构设置在所述移载腔室上，且所述升降机构与所述移动架连接，所述升降机构用于驱动所述移动架升降；所述移动架横移机构设置在所述移载腔室上，且所述移动架横移机构与所述移动架连接，所述移动架横移机构用于驱动所述移动架横移；

5、所述货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件，所述第一电机设置在所述移载腔室的外部，所述第一磁流体密封轴设置在所述移载腔室上，所述货笼横移传动组件设置在所述移动架上，所述货笼横移传动组件与所述货笼连接，所述货笼横移传动组件驱动所述货笼横移。

6、另外，本发明的实施例提供的双向笼式载具移载装置还可以具有如下附加的技术特征：

7、可选地，所述货笼包括设置在顶端的上托盘链轮以及设置在底端的下托盘链轮；所述货笼横移传动组件包括设置在所述移动架上的传动链轮、上下联动链条、上传动链条以及下传动链条，所述上传动链条设置在所述移动架的顶端，且所述上传动链条与所述上托盘链轮传动连接，所述下传动链条设置在所述移动架的底端，且所述下传动链条与所述下托盘链轮传动连接，所述上下联动链条与所述上传动链条以及所述下传动链条同步传动连接；

8、所述传动链轮驱动所述上下联动链条传动，所述软轴传动连接所述第一磁流体密封轴与所述传动链轮。

9、可选地，所述上传动链条以及所述下传动链条均沿横向方向设置；所述上下联动链条沿竖直方向设置。

10、可选地，所述升降机构包括依次传动连接的升降电机、第二磁流体密封轴以及升降传动组件，所述升降电机设置在所述移载腔室的外部，所述第二磁流体密封轴设置在所述移载腔室上，所述升降传动组件设置在所述移载腔室内，且所述升降传动组件与所述移动架连接，所述升降传动组件驱动所述移动架升降。

11、可选地，所述双向笼式载具移载装置还包括设置在所述移载腔室内的底座，所述移动架设置在所述底座上；所述升降传动组件包括与所述第二磁流体密封轴传动连接的升降丝杆，所述升降丝杆设置在所述移载腔室内，且所述升降丝杆与所述底座连接，所述升降丝杆转动的过程中驱动所述移动架升降。

12、可选地，所述底座沿横向方向设置有横移滑轨，所述移动架可滑动地设置在所述横移滑轨上，且所述移动架升降的过程中始终与所述横移滑轨滑动配合。

13、可选地，所述移动架横移机构包括第二电机、第三磁流体密封轴以及移动架横移传动组件；所述第二电机设置在所述移载腔室的外部，所述第三磁流体密封轴设置在所述移载腔室上，所述移动架横移传动组件设置在所述移载腔室内，且所述移动架横移传动组件与所述移动架连接，所述移动架横移传动组件驱动所述移动架横移。

14、可选地，所述移动架横移传动组件还包括横移齿轮以及横移齿条；所述横移齿轮设置在所述移载腔室内，所述横移齿条设置在所述移动架的侧部，所述横移齿轮与所述第三磁流体密封轴传动连接，所述横移齿轮与所述横移齿条啮合。

15、可选地，所述横移齿条沿竖直方向可滑动地设置在所述移动架的侧部，所述横移齿条用于在所述移动架升降的过程中始终与所述横移齿轮啮合。

16、可选地，所述移动架横移传动组件还包括竖直滑轨以及竖直滑动件，所述竖直滑轨沿竖直方向设置在所述移动架的侧部，所述竖直滑动件可滑动地设置在所述竖直滑轨上，所述横移齿条固定在所述竖直滑动件上。

17、本发明实施例的双向笼式载具移载装置的有益效果包括，例如：

18、双向笼式载具移载装置，包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移载腔室的两端设置开口，开口用于与其他腔室密封插接；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上，货笼用于装载待镀膜件；升降机构设置在移载腔室上，且升降机构与移动架连接，升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构设置在移载腔室上，且移动架横移机构与移动架连接，移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件，第一电机设置在移载腔室的外部，第一磁流体密封轴设置在移载腔室上，货笼横移传动组件设置在移动架上，货笼横移传动组件与货笼连接，货笼横移传动组件驱动货笼横移。

19、第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。第一磁流体密封轴实现移载腔室真空环境内外的驱动连接。可实现货笼的全自动上下料，机构整体动作节拍快，缩短货笼上下料过程所需的时间，极大提高镀膜流程的整体速度，可实现连续式的真空镀膜。提高镀膜机镀膜效率、品质和良率。

技术特征：

1.一种双向笼式载具移载装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

6.根据权利要求5所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

7.根据权利要求1所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

8.根据权利要求7所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

9.根据权利要求8所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

10.根据权利要求9所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

技术总结
本发明的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。

技术研发人员：虞文韬,谢振岗,晏海燕,王来泉
受保护的技术使用者：维达力实业(深圳)有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13