载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法与流程

本技术涉及辅助工具，特别是涉及一种载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法。

背景技术：

1、辅助工具在生活中应用广泛，常用的辅助工具包括运输设备、载具等等。为了扩大辅助工具的使用范围，可丰富其具备功能。例如，应用于镀膜设备中的反应舟就是一种载具。通常使用的反应舟只具有装载待处理件的功能，需要将其放入反应容器内并和反应容器搭配使用，才能使得待处理件的表面形成膜层。

技术实现思路

1、本技术针对现有的载具功能单一的问题，提出了一种载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法，该载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法具有可直接作为待处理件的反应容器使用，也可与反应容器搭配使用的技术效果。

2、一种载具，包括：

3、框架，具有用于放置待处理件的处理空间、以及连通所述处理空间内外的进气部、出气部及至少一个敞口部；

4、遮盖件，与所述框架可拆卸连接，并遮盖全部所述敞口部。

5、在其中一个实施例中，所述框架包括沿第一方向间隔相背设置的第一侧面和第二侧面，以及连接在所述第一侧面和所述第二侧面之间的至少一个第三侧面，全部所述第三侧面环绕所述第一方向设置；

6、所述第一侧面设置有所述进气部，所述第二侧面设置有所述出气部，至少一个所述第三侧面设置有所述敞口部。

7、在其中一个实施例中，所述遮盖件形成有沿所述第一方向贯通设置的容纳腔，所述容纳腔的腔壁遮盖每一所述第三侧面的所述敞口部，所述容纳腔在所述第一方向上的两个第一开口分别显露所述进气部和所述出气部。

8、在其中一个实施例中，在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述遮盖件具有连通所述容纳腔的第二开口；

9、每一所述第三侧面择一设置所述敞口部和端板，所述端板用于形成所述处理空间；至少一个所述第三侧面处设置所述端板，其中之一所述端板闭合所述第二开口。

10、在其中一个实施例中，所述框架对应各个所述第三侧面构造有安装部，各所述安装部可拆卸安装有所述遮盖件，以使得所述遮盖件遮盖对应的所述第三侧面。

11、在其中一个实施例中，至少一个所述第三侧面处设置端板，所述端板上设置有所述安装部，所述遮盖件能够穿设所述安装部，并遮盖与所述端板相邻的所述第三侧面的所述敞口部。

12、在其中一个实施例中，在与第一方向垂直的第二方向上间隔设置的两个第三侧面处均设置有所述端板，其中之一所述端板具有所述安装部，所述遮盖件穿设于所述安装部并与另一所述端板的内壁相抵接，且遮盖位于所述两个端板之间的所述第三侧面的所述敞口部。

13、在其中一个实施例中，所述框架还包括限位部，所述限位部位于所述第二方向上设置于所述两个端板之间，且与位于所述两个端板之间的其中之一所述第三侧面相对设置；

14、相对设置的所述限位部及所述第三侧面之间设置有所述遮盖件。

15、在其中一个实施例中，至少一个所述第三侧面上设置有抵接部，所述抵接部在所述第二方向上设置于所述两个端板之间；

16、所述抵接部用于与所述遮盖件背离所述限位部的一侧相抵。

17、在其中一个实施例中，所述遮盖件包括转动连接的遮盖板和限位组件，所述遮盖板用于遮盖所述安装通道；

18、所述限位组件包括限位板和连杆，所述连杆的相对两端分别与所述遮盖板和所述限位板绕所述第一方向转动连接，所述限位板通过所述连杆相对所述遮盖板移动的过程中具有第一位置和第二位置，位于所述第一位置的所述限位板能够允许所述遮盖件穿设所述安装部，位于所述第二位置的所述限位板与所述限位部相抵。

19、在其中一个实施例中，所述遮盖板上设置有肋板，所述连杆转动连接于所述肋板，所述限位组件还包括操作杆，所述操作杆与所述限位板固接，并相对所述遮盖板可移动设置。

20、在其中一个实施例中，所述限位部的朝向所述遮盖件的至少部分表面呈斜面，所述斜面自所述安装部的端板向另一所述端板倾斜。

21、在其中一个实施例中，当所述限位板位于所述第二位置时，所述肋板面向所述斜面的表面与所述斜面贴合设置。

22、在其中一个实施例中，所述遮盖板的朝向所述端板的至少一个表面设有第一磁吸件，所述两个端板中的至少一个盖板对应设有第二磁吸件。

23、在其中一个实施例中，所述处理空间内部设有加热板，所述加热板自所述进气部向所述出气部的方向延伸。

24、在其中一个实施例中，多个所述框架沿所述第一方向连接，且相邻所述框架的所述出气部与所述进气部相连通。

25、在其中一个实施例中，所述框架的内部设置有安放待处理件的放置部，所述放置部的数量为多个，多个所述放置部沿第一方向间隔分布。

26、一种处理设备的上料方法，所述处理设备包括如上述的载具，所述上料方法包括：

27、提供待处理件；

28、提供框架；其中，所述框架包括处理空间、以及连通所述处理空间内外的进气部、出气部及至少一个敞口部；

29、将所述待处理件经由所述进气部、所述出气部或者所述敞口部中的任一者放置于所述处理空间内，得到装载有所述待处理件的所述框架；

30、提供遮盖件，将所述遮盖件装配于装载有所述待处理件的所述框架，得到装载有所述待处理件的所述载具；其中，所述遮盖件与所述框架可拆卸连接，且遮盖全部所述敞口部。

31、在其中一个实施例中，所述遮盖件具有容纳腔，所述容纳腔沿所述第一方向贯通，且具有两个第一开口，所述容纳腔在垂直于所述第一方向的第二方向上的一端具有第二开口；

32、所述框架包括沿所述第一方向间隔相背设置的第一侧面和第二侧面，以及连接在所述第一侧面和所述第二侧面之间的至少一个第三侧面，全部所述第三侧面环绕所述第一方向设置，所述框架的每一所述第三侧面择一设置所述敞口部和端板

33、所述将所述遮盖件装配于装载有所述待处理件的所述框架，得到装载有所述待处理件的所述载具，具体包括：

34、将所述框架沿所述第二方向插入所述第二开口，所述进气部及所述出气部和所述容纳腔的第一开口连通，所述框架的所述端板遮盖所述容纳腔的所述第二开口。

35、在其中一个实施例中，在与第一方向垂直的第二方向上间隔设置的两个第三侧面处均设置有所述端板，其中之一所述端板具有所述安装部；

36、所述将所述遮盖件装配于装载有所述待处理件的所述框架，得到装载有所述待处理件的所述载具，具体包括：

37、将所述遮盖件沿所述第二方向插入所述安装部，直至所述遮盖件穿设所述安装部并与另一所述端板的内部相抵接，所述遮盖件遮盖所述第三侧面的敞口部。

38、在其中一个实施例中，所述遮盖件包括转动连接的遮盖板、限位板和连杆，所述连杆的相对两端分别与所述遮盖板和所述限位板绕所述第一方向转动连接；

39、所述框架包括在所述第二方向设置于所述两个端板之间的限位部，所述限位部与所述第三侧面相对设置，至少一个所述第三侧面上设置有抵接部，所述抵接部在所述第二方向上设置于所述两个端板之间；

40、所述将所述遮盖件沿所述第二方向插入所述安装部，直至所述遮盖件穿设所述安装部并与另一所述端板的内部相抵接，所述遮盖件遮盖所述第三侧面的敞口部，具体包括：

41、沿所述第二方向，将处于第一位置的限位板及所述遮盖板一同插入所述安装孔，直至所述遮盖板和没有开设所述安装部的所述盖板的内壁相抵接；其中，所述限位板位于所述第一位置时，所述限位板能够允许所述遮盖件通过所述安装孔；

42、继续推动所述限位板，直至所述限位板从所述第一位置切换至第二位置，并使所述限位板与所述限位部抵接，所述遮盖件背离所述限位部的一侧与所述抵接部抵接。

43、一种处理设备，包括：

44、处理腔体：

45、抽气装置，设置于所述处理腔体上；

46、如上述的载具，可操作地设置于所述处理腔体内，

47、位于所述处理腔体内的所述载具的出气部与所述抽气装置连通。

48、在其中一个实施例中，所述处理设备还包括送气装置，所述送气装置设置于所述载具的进气部，其与所述载具的进气部连通。

49、一种处理设备的使用方法，所述处理设备包括如上述的处理设备，所述使用方法包括：

50、将承载有待处理件的所述载具送入所述处理腔体内，且使得所述载具的出气部与所述抽气装置的入口端对接，所述载具的进气部和所述送气装置的入口端对接；

51、所述送气装置提供的气体，经由所述载具的所述进气部向所述处理空间内通入气体；

52、启动所述抽气装置，以使所述处理空间内的气体从所述进气部向所述出气部流动。

53、上述载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法，与现有技术相比，本技术实施例提供的载具包括框架和遮盖件，其中遮盖件和框架可拆卸连接，当遮盖件装配在框架时，遮盖件可遮盖框架的敞口部，以使得框架的处理空间只具有相连通的进气部和敞口部。如此，该处理空间可对通入的气体进行导流，降低了气体从敞口部流出的概率，可使得处理空间的不同区域的气体量尽可能一致。当气体和待处理件反应后，可提高待处理件表面所形成的膜层的均一性。