一种高精度双面平面研磨机的制作方法

本发明涉及双面平面研磨，尤其涉及一种高精度双面平面研磨机。

背景技术：

1、双面研磨机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工，适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、气缸活塞环、油泵叶片轴承端面及硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光，在当今的工件中是必不可少的设备；

2、双面研磨机通过上、下研磨盘、太阳轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作，其中工件设置在专门的游星轮上进行运动，处在游星轮内的工件在研磨过程中，需要保证工件的厚度比游星轮大，这使得大量的研磨后的材料碎屑处在工件周围，不对碎屑进行清理，会在研磨中出现碎屑进入到工件与研磨盘研磨接触部位，这会造成工件表面出现细微划痕，造成工件的研磨精度降低，这在追求高精度的工件研磨过程中是不可忽视的问题，针对此问题，现提出一种高精度双面平面研磨机。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术在研磨中出现碎屑进入到工件与研磨盘研磨接触部位，造成工件表面出现细微划痕，造成工件的研磨精度降低问题，而提出的一种高精度双面平面研磨机。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种高精度双面平面研磨机，包括研磨机主体，所述研磨机主体由设置有驱动元件的支撑台、安装有上研磨盘的上支撑座、下研磨盘、太阳轮、外沿轮和游星轮组成，所述外沿轮设置在支撑台上，所述游星轮上开设有多个与工件相适配的定位口，所述定位口内壁设置有对工件进行定位的限位件；

4、所述上支撑座外侧壁设置有组装环，所述组装环通过衔接件连接有多个清理件，所述支撑台上设置有支撑环，所述支撑环外侧壁固定连接有波浪抵触环；

5、所述清理件包括换气筒，所述换气筒顶部设置有换气管件，所述换气筒底部设置有出气嘴，所述换气筒内设置有挤压活塞，所述挤压活塞通过联控组件连接有抵触柱，所述抵触柱另一端贯穿换气筒侧壁向外延伸，并通过抵触球与波浪抵触环接触。

6、优选地，所述外沿轮设置在支撑台上表面外侧，所述支撑台上设置有安装槽，所述下研磨盘设置在安装槽内，且所述太阳轮套设在下研磨盘内的所述安装槽上表面。

7、优选地，所述支撑台与下研磨盘之间设置有环形凹槽，所述下研磨盘外侧壁通过多个连接横杆连接有外研磨环，在研磨状态下所述游星轮围绕太阳轮进行公转，公转过程中所述游星轮上的位于最外侧的定位口处在与下研磨盘脱离状态。

8、优选地，所述衔接件包括开设在组装环外侧壁上的多个安装口，所述安装口内壁上开设有衔接口，所述换气筒外侧壁固定连接有与衔接口相适配的衔接柱。

9、优选地，所述联控组件包括开设在挤压活塞上贯穿侧壁的连通口，所述连通口内壁转动连接有密封盖，所述密封盖上转动连接有偏置牵引杆，所述换气筒侧壁设置有蓄力罩，所述抵触柱贯穿蓄力罩侧壁，并向内延伸与牵引杆端部转动连接；

10、所述抵触柱外侧壁固定连接有蓄力环，所述蓄力环通过套设在抵触柱外侧壁上的蓄力弹簧与密封罩连接。

11、优选地，所述换气筒上固定连接有限位柱，所述挤压活塞通过开设的限位口与限位柱相套接，所述限位柱上设置有对挤压活塞移动距离进行限位的挡环。

12、优选地，所述换气管件包括设置在换气筒顶部的双向接管，所述双向接管上设置有双向阀，位于一侧的所述双向接管通过连接管连接有清洗液。

13、优选地，所述波浪抵触环外内侧壁开设有球型轨道槽，所述抵触柱端部开设有球形槽，所述抵触球转动设置在球形槽内，并处在球型轨道槽内进行滑动。

14、相比现有技术，本发明的有益效果为：

15、1、本发明针对双面平面研磨机上残留研磨碎屑进行设计，对下研磨盘和游星轮的结构进行设计，并在下研磨盘外围设置有对工件进行支撑的外研磨环，实现在研磨过程中工件每一次周期转动到外部时，通过换气筒内的高压清洗液实现将工件周围的研磨碎屑的冲刷去除，避免碎屑进入研磨面造成研磨精度的降低，显著提高研磨机的研磨精度。

16、2、本发明针对目前的双面平面研磨机研磨过程中的高精度和正常研磨，干磨和湿磨的区分进行设计清理件，利用波浪抵触环的设计，通过抵触柱实现挤压活塞对气体或清洗液进行高压输送，从而使得研磨机适用不同的使用环境，满足多需求的使用。

技术特征：

1.一种高精度双面平面研磨机，包括研磨机主体，其特征在于，所述研磨机主体由设置有驱动元件的支撑台（1）、安装有上研磨盘（2）的上支撑座（3）、下研磨盘（4）、太阳轮（5）、外沿轮（6）和游星轮（7）组成，所述外沿轮（6）设置在支撑台（1）上，所述游星轮（7）上开设有多个与工件相适配的定位口（8），所述定位口（8）内壁设置有对工件进行定位的限位件（9）；

2.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述外沿轮（6）设置在支撑台（1）上表面外侧，所述支撑台（1）上设置有安装槽，所述下研磨盘（4）设置在安装槽内，且所述太阳轮（5）套设在下研磨盘（4）内的所述安装槽上表面。

3.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述支撑台（1）与下研磨盘（4）之间设置有环形凹槽，所述下研磨盘（4）外侧壁通过多个连接横杆（18）连接有外研磨环（19），在研磨状态下所述游星轮（7）围绕太阳轮（5）进行公转，公转过程中所述游星轮（7）上的位于最外侧的定位口（8）处在与下研磨盘（4）脱离状态。

4.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述衔接件包括开设在组装环（10）外侧壁上的多个安装口，所述安装口内壁上开设有衔接口（20），所述换气筒（13）外侧壁固定连接有与衔接口（20）相适配的衔接柱（21）。

5.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述联控组件包括开设在挤压活塞（15）上贯穿侧壁的连通口，所述连通口内壁转动连接有密封盖（22），所述密封盖（22）上转动连接有偏置牵引杆（23），所述换气筒（13）侧壁设置有蓄力罩（24），所述抵触柱（16）贯穿蓄力罩（24）侧壁，并向内延伸与牵引杆端部转动连接；

6.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述换气筒（13）上固定连接有限位柱（26），所述挤压活塞（15）通过开设的限位口与限位柱（26）相套接，所述限位柱（26）上设置有对挤压活塞（15）移动距离进行限位的挡环（27）。

7.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述换气管件包括设置在换气筒（13）顶部的双向接管（28），所述双向接管（28）上设置有双向阀（29），位于一侧的所述双向接管（28）通过连接管连接有清洗液。

8.根据权利要求1所述的一种高精度双面平面研磨机，其特征在于，所述波浪抵触环（12）外内侧壁开设有球型轨道槽，所述抵触柱（16）端部开设有球形槽，所述抵触球（17）转动设置在球形槽内，并处在球型轨道槽内进行滑动。

技术总结
本发明公开了一种高精度双面平面研磨机，属于双面平面研磨技术领域，包括研磨机主体，研磨机主体由设置有驱动元件的支撑台、安装有上研磨盘的上支撑座、下研磨盘、太阳轮、外沿轮和游星轮组成，外沿轮设置在支撑台上，游星轮上开设有多个与工件相适配的定位口，定位口内壁设置有对工件进行定位的限位件。本发明针对双面平面研磨机上残留研磨碎屑进行设计，对下研磨盘和游星轮的结构进行设计，并在下研磨盘外围设置有对工件进行支撑的外研磨环，实现在研磨过程中工件每一次周期转动到外部时，通过换气筒内的高压清洗液实现将工件周围的研磨碎屑的冲刷去除，避免碎屑进入研磨面造成研磨精度的降低，显著提高研磨机的研磨精度。

技术研发人员：任明元,梁春,刘文平
受保护的技术使用者：苏州博宏源机械制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14