一种悬挂式快速拆装装置的制作方法

本发明涉及镀膜设备，尤其是一种悬挂式快速拆装装置。

背景技术：

1、热丝cvd是一种较为新颖的半导体化学气相沉积镀膜设备，其中热丝是使用过程中的一类关键耗材，需经常更换。以前一般采用螺丝锁定或简单的螺丝+夹板夹紧的方式将热丝固定在热丝电极上，或者是通过大量组件形成的快装式安装。拆卸很不方便(做的比较大，费时费力)。尤其是在大面积镀膜，需要增添防着板等环境比较恶劣的情况下。现有方案，使用螺纹将热丝夹头与电极杆进行安装连接，拆卸很不方便，费时费力，更换热丝时间长，还有就是一些结构不稳定，拆装麻烦，需要多人协助且占用空间比较大。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决上述技术问题，而提供一种悬挂式快速拆装装置。

2、本发明的技术方案：一种悬挂式快速拆装装置，包括电极、热丝夹头和热丝，所述热丝夹头底部可拆卸地设有所述热丝，所述热丝夹头顶部设有插孔，所述电极底部与所述插孔滑动配合；还包括：

3、安装载体，其上可拆卸地设有所述电极；

4、陶瓷管，套设在所述电极上；

5、锁紧装置，其包括螺纹杆和两个螺母套，所述螺纹杆穿过所述陶瓷管和所述电极，其两端分别设有所述螺母套；

6、陶瓷保护套，与所述热丝夹头可拆卸连接，所述陶瓷保护套上对称设有两个呈l型的卡槽。

7、优选的，所述热丝夹头内壁上设有若干个环形凹槽；还包括若干个导电环形弹性件，其分别设置在所述环形凹槽内。

8、优选的，所述电极由长电极和短电极组成，所述长电极与所述短电极螺纹连接。

9、优选的，所述长电极上设有法兰。

10、本发明的有益效果是：

11、1)本结构通过环形弹簧的可塑性实现了电极之间的快速连接，实现了电能的传递，连接更可靠，结构更简单；

12、2)电极外表面通过陶瓷保护套与外界隔绝，解决了电能泄露的危害，使用更安全；

13、3)本结构通过陶瓷保护套与螺纹杆的旋转挂装方式，实现了电极与热丝之间无死角无方位的稳定连接，同时拆卸、安装更方便。

技术特征：

1.一种悬挂式快速拆装装置，包括电极(10)、热丝夹头(2)和热丝(3)，所述热丝夹头(2)底部可拆卸地设有所述热丝(3)，其特征在于，所述热丝夹头(2)顶部设有插孔，所述电极(10)底部与所述插孔滑动配合；还包括：

2.根据权利要求1所述的一种悬挂式快速拆装装置，其特征在于：所述热丝夹头(2)内壁上设有若干个环形凹槽(201)；还包括若干个导电环形弹性件(9)，其分别设置在所述环形凹槽(201)内。

3.根据权利要求1所述的一种悬挂式快速拆装装置，其特征在于：所述电极(10)由长电极(101)和短电极(102)组成，所述长电极(101)与所述短电极(102)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种悬挂式快速拆装装置，其特征在于：所述长电极(101)上设有法兰。

技术总结
本发明公开了一种悬挂式快速拆装装置，包括电极、热丝夹头和热丝，所述热丝夹头底部可拆卸地设有所述热丝，所述热丝夹头顶部设有插孔，所述电极底部与所述插孔滑动配合；还包括：安装载体，其上可拆卸地设有所述电极；陶瓷管，套设在所述电极上；锁紧装置，其包括螺纹杆和两个螺母套，所述螺纹杆穿过所述陶瓷管和所述电极，其两端分别设有所述螺母套；陶瓷保护套，与所述热丝夹头可拆卸连接，所述陶瓷保护套上对称设有两个呈L型的卡槽。本发明中，结构通过陶瓷保护套与螺纹杆的旋转挂装方式，实现了电极与热丝之间无死角无方位的稳定连接，同时拆卸、安装更方便。

技术研发人员：代和松,刘翠翠
受保护的技术使用者：江西汉可泛半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15