一种空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法与流程

本发明涉及一种空间谐波减速机柔性轴承表面处理方法，本发明属于固体润滑领域。

背景技术：

1、空间环境（高/低温交变、高真空、强辐射、高承载、高/低速度、特殊介质和气氛）对润滑材料的性能具有特殊的要求。应研制发展具有耐候性和耐辐照性能的高性能润滑油脂、固体润滑薄膜、固体润滑复合材料，从而满足高精度、高可靠性和超长寿命的使用要求，支撑航天事业的发展。

2、近年来，随着商业航天的兴起，空间对固体润滑涂层的成本、可靠性提出了越来越高的要求。因此，本发明专利提出了一种对谐波减速机柔性轴承进行固体润滑镀膜膜层结构的正向设计，通过磁控溅射工艺方便有效地在控制空间站谐波减速机柔性轴承表面沉积膜层，应用于空间站等场景。

技术实现思路

1、针对现有问题，本发明目的在于提供一种空间谐波减速机轴承表面处理的方法，基于对谐波减速机柔性轴承进行固体润滑镀膜膜层结构的正向设计，通过磁控溅射工艺方便有效地在控制空间站谐波减速机轴承表面沉积膜层，应用于空间站等场景。

2、本发明目的通过下述方案实现：一种空间谐波减速机柔性轴承表面处理的方法，通过固体润滑镀膜膜层结构的正向设计，通过磁控溅射工艺方便有效地在控制空间站谐波减速机轴承表面沉积膜层，应用于空间站等场景，包括以下步骤：

3、（1）对基体表面进依次采用丙酮、无水乙醇溶液超声清洗各15min，用干燥氮气将基体表面吹干；

4、（2）将柔性轴承基体安装在四靶非平衡磁控溅射系统的单轴夹具侧面，抽真空至低于1×10-4pa时，设置偏压为-650v，对柔性轴承基体离子注入表面进行氩离子刻蚀，刻蚀时长为3min。

5、（3）利用四靶非平衡磁控溅射系统中安装的高纯度钛靶和二硫化钼靶，在柔性轴承基体刻蚀表面沉积粘结层。控制钛靶靶电流为3.0a，二硫化钼靶靶电流为0.8a，偏置电压为-60v，样品转速7rpm，沉积40~80min。

6、本发明具有以下优点：该方法可以有效的解决空间谐波减速机柔性轴承镀膜结合力差、涂层厚度不均匀等系列痛点。

1.一种空间谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：基于一种对谐波减速机柔性轴承进行固体润滑镀膜膜层结构的正向设计，通过磁控溅射工艺方便有效地在控制空间站谐波减速机轴承表面沉积膜层，应用于空间应用场景。

2.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：谐波减速机是空间站专用的谐波减速机，柔性轴承是空间站专用谐波减速机的柔性轴承。

3.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：镀膜区域在柔性轴承内外滚道以及滚道旁区域，厚度为1μm左右。

4.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：膜层为粘结在柔性轴承本体表面的mos2-ti纳米结构层。

5.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：对基体表面依次采用丙酮、无水乙醇溶液超声清洗各15min，用干燥氮气将基体表面吹干。

6.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：将化学清洗后的柔性轴承基体安装在四靶非平衡磁控溅射系统的单轴夹具侧面，抽真空至低于1×10-4pa时，设置偏压为-650v，对柔性轴承基体离子注入表面进行氩离子刻蚀，刻蚀时长为3min。

7.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：利用四靶非平衡磁控溅射系统中安装的高纯度钛靶和二硫化钼靶，在柔性轴承基体刻蚀表面沉积。

8.根据权利要求1所述空间站谐波减速机柔性轴承表面处理方法，其特征在于：控制钛靶靶电流为3.0a，二硫化钼靶靶电流为0.8a，偏置电压为-60v，样品转速7rpm，沉积40~80min。