一种防工件脱落的真空镀膜机的制作方法

文档序号:34247157发布日期:2023-05-25 01:51阅读:19来源:国知局
一种防工件脱落的真空镀膜机的制作方法

本技术涉及真空镀膜机,尤其涉及一种防工件脱落的真空镀膜机。


背景技术:

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,在工件镀膜时,通常利用夹具将其定位在镀膜机中,而目前的定位方式大多是夹在工件两侧,其余面仍悬空在外,当工件快速翻面时,容易出现工件从夹具之间脱落的情况。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种防工件脱落的真空镀膜机。

2、为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种防工件脱落的真空镀膜机,包括机体,所述机体的一侧固定连接有真空泵的输入端,所述机体的一侧转动有柜门,所述机体相对于真空泵的一侧固装有电机,所述电机的输出端安装有旋转座,所述旋转座的一侧设置有支撑架,所述支撑架之间转动有螺纹杆,所述螺纹杆的底端装有橡胶垫,所述支撑架之间位于橡胶垫的下方滑动有滑杆,所述滑杆的一端装有限位板,所述滑杆之间固定连接有拉簧,所述机体的底面装有加热器,所述机体之间位于加热器的上方固装有隔板。

3、为了将工件夹紧,本实用新型改进有,所述支撑架的内部设置有螺纹,且螺纹与螺纹杆相啮合。

4、为了方便操作限位板,本实用新型改进有,所述限位板对称分布在支撑架的两侧,所述支撑架的表面位于滑杆的下方转动有挡杆,其中一组所述限位板的底面装有挡块,所述挡块之间开设有定位槽。

5、为了实现通气效果,本实用新型改进有,所述隔板的表面开设有通气孔,所述通气孔等距分布在隔板上。

6、为了方便清理机体内部,本实用新型改进有,所述旋转座和支撑架之间设置有连接装置,所述的连接装置包括固定座,所述固定座固装在支撑架的一侧,所述固定座与旋转座之间转动连接有固定螺栓。

7、为了将支撑架固定,本实用新型改进有,所述固定座与旋转座的表面均开设有螺纹孔,且螺纹孔与固定螺栓相啮合。

8、为了初步定位支撑架,本实用新型改进有,所述旋转座的表面开设有贯穿孔。

9、与现有技术相比,本实用新型的优点和积极效果在于,

10、1、本实用新型中,实际使用时,通过设置机体、真空泵、柜门、电机、旋转座、支撑架、螺纹杆、橡胶垫、滑杆、限位板、拉簧、加热器和隔板,利用限位工件四周的方式,使其能够稳固在支撑架上,避免工件随着支撑架快速旋转出现掉落的情况,提高了工件定位后的牢固性,利于实际使用。

11、2、本实用新型中,实际使用时,通过设置连接装置,起到了快速拆卸支撑架的作用,减少了机体内部空间,进而方便人们对机体内部的清理,利于实际使用。



技术特征:

1.一种防工件脱落的真空镀膜机,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)的一侧固定连接有真空泵(2)的输入端,所述机体(1)的一侧转动有柜门(3),所述机体(1)相对于真空泵(2)的一侧固装有电机(4),所述电机(4)的输出端安装有旋转座(5),所述旋转座(5)的一侧设置有支撑架(6),所述支撑架(6)之间转动有螺纹杆(7),所述螺纹杆(7)的底端装有橡胶垫(8),所述支撑架(6)之间位于橡胶垫(8)的下方滑动有滑杆(9),所述滑杆(9)的一端装有限位板(10),所述滑杆(9)之间固定连接有拉簧(11),所述机体(1)的底面装有加热器(19),所述机体(1)之间位于加热器(19)的上方固装有隔板(20)。

2.根据权利要求1所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述支撑架(6)的内部设置有螺纹,且螺纹与螺纹杆(7)相啮合。

3.根据权利要求2所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述限位板(10)对称分布在支撑架(6)的两侧,所述支撑架(6)的表面位于滑杆(9)的下方转动有挡杆(12),其中一组所述限位板(10)的底面装有挡块(13),所述挡块(13)之间开设有定位槽(14)。

4.根据权利要求1所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述隔板(20)的表面开设有通气孔(21),所述通气孔(21)等距分布在隔板(20)上。

5.根据权利要求1所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述旋转座(5)和支撑架(6)之间设置有连接装置,所述的连接装置包括固定座(15),所述固定座(15)固装在支撑架(6)的一侧,所述固定座(15)与旋转座(5)之间转动连接有固定螺栓(16)。

6.根据权利要求5所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述固定座(15)与旋转座(5)的表面均开设有螺纹孔(17),且螺纹孔(17)与固定螺栓(16)相啮合。

7.根据权利要求6所述的防工件脱落的真空镀膜机,其特征在于:所述旋转座(5)的表面开设有贯穿孔(18)。


技术总结
本技术提供一种防工件脱落的真空镀膜机,涉及真空镀膜机技术领域,包括机体,所述机体的一侧固定连接有真空泵的输入端,所述机体的一侧转动有柜门,所述机体相对于真空泵的一侧固装有电机,所述电机的输出端安装有旋转座,所述旋转座的一侧设置有支撑架,所述支撑架之间转动有螺纹杆,所述螺纹杆的底端装有橡胶垫,所述支撑架之间位于橡胶垫的下方滑动有滑杆,所述滑杆的一端装有限位板,实际使用时,通过设置机体、真空泵、柜门、电机、旋转座、支撑架、螺纹杆、橡胶垫、滑杆、限位板、拉簧、加热器和隔板,利用限位工件四周的方式,使其能够稳固在支撑架上,避免工件随着支撑架快速旋转出现掉落的情况。

技术研发人员:张国军
受保护的技术使用者:广东东华光电科技有限公司
技术研发日:20230201
技术公布日:2024/1/11
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