一种蒸镀托盘的制作方法

本技术涉及一种托盘，具体涉及一种蒸镀托盘，属于蒸镀设备。

背景技术：

1、蒸镀是对被镀材料进行加热，使被镀材料蒸发或升华，从而迁移飞向特定基片，而后被镀的蒸发粒子沉积在基片上形成薄膜的过程，蒸镀具有成膜简单、薄膜纯度高、致密性高、膜结构稳定和性能独特等优点。

2、蒸镀托盘是承载玻璃基板而使被镀的蒸发粒子沉积到玻璃基板表面的主要工具之一，在蒸镀时用于固定玻璃基板，配合遮罩和蒸镀设备使用对玻璃基板进行蒸镀。蒸镀托盘通常包括外框和底托，外框位于底托上方，外框表面开设多个开口以放置玻璃基板，底托承托玻璃基板防止其掉落，蒸镀时，遮罩覆盖于外框下表面以及玻璃基板的一部分下表面，使得蒸镀材料沉积在玻璃基板的指定位置。

3、现有技术中的蒸镀托盘，其底托上表面与外框下表面齐平，玻璃基板的下表面与外框下表面设计为齐平状态，但实际上，当玻璃基板放入蒸镀托盘中时，由于尺寸公差，两者下表面之间的高度存在微小差距。这样，在遮罩贴合蒸镀托盘底部时，可能出现玻璃基板与遮罩贴合不够紧密的现象，两者之间具有微小间隙。蒸镀时，玻璃基板与遮罩之间存在的微小间隙使蒸发源的蒸气可以从其中漏过，导致蒸镀的图案边缘出现厚度梯次变薄的薄膜，上述蒸镀的图案边缘所出现的厚度梯次变薄的薄膜在行业术语中称之为阴影，如何尽量避免蒸镀时阴影的产生是本领域亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、基于以上背景，本实用新型的目的在于提供一种可使遮罩在蒸镀时与玻璃基板完全贴合的蒸镀托盘，解决背景技术中所述的问题。

2、为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案：

3、一种蒸镀托盘，包括外框和若干底托，所述外框表面开设有若干镂空的第一开口，所述外框底部相对应第一开口设置有若干底托，每个所述底托的一部分均与所述外框固定连接，所述底托包括凸出部与凹陷部，所述凸出部与外框固定连接，所述凹陷部与第一开口处相对应配合，所述凸出部的顶部表面相对于所述凹陷部的顶部表面更靠近所述外框底部表面，所述凸出部的顶部表面与所述凹陷部的顶部表面之间的垂直高度差为0.01mm～3mm。

4、底托的凸出部与外框连接，凹陷部与第一开口相互配合，凸出部顶部表面略高于凹陷部顶部表面，不仅可使底托承接玻璃基板而防止玻璃板掉落，且可使玻璃基板在安装于该蒸镀托盘时，玻璃基板的下表面比外框的下表面略低，进行蒸镀时，在遮罩与该蒸镀托盘底部的贴合过程中，遮罩首先接触到玻璃基板下表面，将玻璃基板略微抬起0.01mm～3mm，而后遮罩的边缘部分上表面继续贴近外框下表面，直到与外框下表面紧密接触，此时玻璃基板完全与遮罩贴合，从而避免对玻璃基板蒸镀时阴影的产生。

5、作为优选，所述第一开口为四边形状，所述底托位于邻近所述外框底部相对应第一开口的每条边端部的部位。设置在上述位置的底托，可使底托的承托位置偏向于玻璃基板的四个边角位，提高玻璃基板放置于蒸镀托盘的平稳性。

6、作为优选，所述凸出部的顶部表面与所述凹陷部的顶部表面之间的垂直高度差为0.1mm～3mm。上述对于凸出部顶部表面和凹陷部顶部表面高度差的进一步限定，使玻璃基板下表面与遮罩上表面的贴合更加紧密。

7、作为优选，所述外框与所述底托为分体式结构或一体式结构。外框与底托的分体式结构可通过焊接方式固定连接，外框与底托的一体式结构可通过一体成型加工方式使两者为一体，以上结构均可以防止底托与外框分离，减低工业加工失误风险的概率。

8、作为优选，所述外框表面相对应第一开口一侧开设有第二开口，第二开口与第一开口连通。设置第二开口有利于玻璃基板的拾取。

9、作为优选，所述第二开口至少部分与第一开口位于同一平面。

10、作为优选，所述第二开口的口径小于第一开口的口径。

11、作为优选，所述外框边缘的一侧开设有第三开口，所述第三开口至少部分与第一开口位于同一平面。设置第三开口有利于外框在蒸镀装置中的拾取。

12、作为优选，所述第三开口的口径小于第一开口的口径。

13、与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

14、本实用新型的一种蒸镀托盘，利用底托的凸出部与凹陷部结构，使底托承接玻璃基板防止玻璃板掉落，且可使玻璃基板安装于蒸镀托盘时的下表面比外框的下表面低，在遮罩与蒸镀托盘底部的贴合过程中，使遮罩首先接触到玻璃基板，将玻璃基板抬起，而后遮罩继续贴近外框，直到与外框接触，此时玻璃基板将完全与遮罩贴合，从而避免对玻璃基板蒸镀时阴影的产生。

技术特征：

1.一种蒸镀托盘，其特征在于：该蒸镀托盘包括外框(1)和若干底托(2)，所述外框(1)表面开设有若干镂空的第一开口(3)，所述外框(1)底部相对应第一开口(3)设置有若干底托(2)，每个所述底托(2)的一部分均与所述外框(1)固定连接，所述底托(2)包括凸出部(4)与凹陷部(5)，所述凸出部(4)与外框(1)固定连接，所述凹陷部(5)与第一开口(3)处相对应配合，所述凸出部(4)的顶部表面相对于所述凹陷部(5)的顶部表面更靠近所述外框(1)底部表面，所述凸出部(4)的顶部表面与所述凹陷部(5)的顶部表面之间的垂直高度差为0.01mm～3mm。

2.根据权利要求1所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述第一开口(3)为四边形状，所述底托(2)位于邻近所述外框(1)底部相对应第一开口(3)的每条边端部的部位。

3.根据权利要求1所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述凸出部(4)的顶部表面与所述凹陷部(5)的顶部表面之间的垂直高度差为0.1mm～3mm。

4.根据权利要求1所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述外框(1)与所述底托(2)为分体式结构或一体式结构。

5.根据权利要求1所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述外框(1)表面相对应第一开口(3)的一侧开设有第二开口(6)，第二开口(6)与第一开口(3)连通。

6.根据权利要求5所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述第二开口(6)至少部分与第一开口(3)位于同一平面。

7.根据权利要求5所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述第二开口(6)的口径小于第一开口(3)的口径。

8.根据权利要求1所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述外框(1)边缘的一侧开设有第三开口(7)，所述第三开口(7)至少部分与第一开口(3)位于同一平面。

9.根据权利要求8所述的蒸镀托盘，其特征在于：所述第三开口(7)的口径小于第一开口(3)的口径。

技术总结
本技术提供一种蒸镀托盘，包括外框和若干底托，外框表面开设有若干镂空的第一开口，外框底部相对应第一开口设置有若干底托，每个底托的一部分均与外框固定连接，底托包括凸出部与凹陷部，凸出部与外框固定连接，凹陷部与第一开口处相对应配合，凸出部的顶部表面相对于凹陷部的顶部表面更靠近外框底部表面，凸出部的顶部表面与凹陷部的顶部表面之间的垂直高度差为0.01mm～3mm。本技术可使遮罩在蒸镀时与玻璃基板完全贴合，避免对玻璃基板蒸镀时阴影的产生。

技术研发人员：闵超,金光哲
受保护的技术使用者：海宁奕诺炜特科技有限公司
技术研发日：20230213
技术公布日：2024/1/13