一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板的制作方法

本技术涉及光伏电池领域，特别涉及一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板。

背景技术：

1、钙钛矿太阳能电池由于其长的载流子寿命、长的载流子扩散长度、高的光学吸收系数、高的缺陷容忍度以及低廉的制造成本性被广泛的认为是下一代光伏电池技术。

2、在实验室级的钙钛矿太阳电池器件制备的过程中，一部分功能层材料或顶部电极通常采用镀膜的方式来制备，然而现有的镀膜掩模板存在以下几个方面的问题：

3、实验室级的钙钛矿太阳电池器件，通常内部会设计和图案化镀膜，以形成多个子电池，这样有助于获得多个测试样本来评价该器件性能。然而，有些掩模板的设计存在子电池数量以及布置不合理的问题，造成器件性能评价的不准确；还有镀膜图案化设计的不合理，造成测试时与半导体工业常规测试方法及夹具不兼容，以及在第三方认证机构的测试不通用和不便；还有镀膜掩模板的设计，还涉及电池器件的面积的准确性和光伏性能测试的准确性。

4、基于以上存在的诸多不足和问题，我们在此提出一种适用于钙钛矿太阳能电池的镀膜掩模板的设计方案，以避免和解决上述提及的不足和问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，用以解决上述问题。

2、为实现前述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案包括：

3、本实用新型实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，包括：基板，所述基板上设置有一加工槽，所述加工槽中形成有第一镀膜区和第二镀膜区，所述第一镀膜区上设置有至少两个第一连接电极窗，两个所述第一连接电极窗关于第一轴线对称设置在所述第二镀膜区的两侧，所述第二镀膜区上设置有多组电池窗，多组所述电池窗沿第二轴线依次设置，所述第一轴线与第二轴线交叉设置。

4、与现有技术相比，本实用新型的优点包括：

5、1)本实用新型实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，通过将第一连接电极窗设置在多组电池窗的两侧，对第一镀膜区以及第二镀膜区进行合理排布，能够有助于镀膜后的器件性能的准确评估；

6、2)本实用新型实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，通过合理设计镀膜图案，能够方便测试时与半导体工业常规测试方法及夹具兼容，以及便于在第三方认证机构的通用测试。

7、3)本实用新型实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，设置有夹取窗，可以使用工具伸入夹取窗中夹取或放置钙钛矿器件，操作更加简便；

8、4)本实用新型实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，设置有加工余量窗，钙钛矿器件边角的毛刺或是凸出的不规则部分能够置于加工余量窗中，能够增加器件样品放入样品框架或掩模板内的适配性，且便于掩模板制造时的加工便利性。

技术特征：

1.一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于，包括：基板(1)，所述基板(1)上设置有一加工槽(11)，所述加工槽(11)中形成有第一镀膜区和第二镀膜区，所述第一镀膜区上设置有至少两个第一连接电极窗(12)，两个所述第一连接电极窗(12)关于第一轴线对称设置在所述第二镀膜区的两侧，所述第二镀膜区上设置有多组电池窗，多组所述电池窗沿第二轴线依次设置，所述第一轴线与第二轴线交叉设置。

2.根据权利要求1所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：每组电池窗由两个电池窗组成，每个电池窗包括子电池窗(13)、第二连接电极窗(14)以及测试电极窗(15)，所述子电池窗(13)经所述第二连接电极窗(14)与所述测试电极窗(15)连通。

3.根据权利要求2所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：相邻两组电池窗中相对设置的两个测试电极窗(15)之间的距离为2.54mm。

4.根据权利要求1所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：所述基板(1)上还设置有夹取窗(16)，所述夹取窗(16)与所述第一连接电极窗(12)连通。

5.根据权利要求1所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：所述第一镀膜区还包括加工余量窗(17)，所述加工余量窗(17)沿加工槽(11)的一选定对角线设置在所述加工槽(11)的顶角处，且所述加工余量窗(17)与所述第一连接电极窗(12)连通。

6.根据权利要求5所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：包括至少四个加工余量窗(17)，四个所述加工余量窗(17)沿所述加工槽(11)的对角线分别设置在矩形的加工槽(11)的顶角处。

7.根据权利要求1所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：所述基板(1)上设置有多个加工槽(11)，多个所述加工槽(11)间隔排布在所述基板(1)上。

8.根据权利要求7所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：任意相邻的两个加工槽(11)的第一轴线垂直交叉设置。

9.根据权利要求4所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：所述加工槽(11)的边缘还设置有倒角(111)。

10.根据权利要求1所述的一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，其特征在于：还包括一定位结构(18)，所述定位结构(18)设置在所述基板(1)上，所述基板(1)能够通过所述定位结构(18)约束在一指定位置处。

技术总结
本技术公开了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，包括基板，所述基板上设置有一加工槽，所述加工槽中形成有第一镀膜区和第二镀膜区，所述第一镀膜区上设置有至少两个第一连接电极窗，两个所述第一连接电极窗关于第一轴线对称设置在所述第二镀膜区的两侧，所述第二镀膜区上设置有多组电池窗，多组所述电池窗沿第二轴线依次设置，所述第一轴线与第二轴线交叉设置。本技术实施例提供了一种适用于钙钛矿太阳能电池镀膜的掩模板，通过将第一连接电极窗设置在多组电池窗的两侧，对第一镀膜区以及第二镀膜区进行合理排布，能够有助于镀膜后的器件性能的准确评估。

技术研发人员：高鹏,周超成,李骏,张海銮,袁晨辰,安扬,田清勇,范斌
受保护的技术使用者：昆山协鑫光电材料有限公司
技术研发日：20230307
技术公布日：2024/1/13