一种氧化亚硅沉积设备的制作方法

本技术属于氧化亚硅生产，更具体地说，特别涉及一种氧化亚硅沉积设备。

背景技术：

1、氧化亚硅的生产通常采用沉积法，在生产时先将固体原料投入气相沉积炉的坩埚中加热，待固体原料气化后发生反应胜场氧化亚硅气体，然后进入沉积室中进行沉积。

2、例如cn202021530717.4公开了一种气相沉积炉，包括炉壳，炉壳内底部设有坩埚，炉壳内顶部设有卸料箱，同时还有沉积室用于沉积氧化亚硅。在生产过程中，通过第一加热器加热坩埚，放置在坩埚内的固体化学物质气化并反应，反应后的气体进入到沉积室内，发生化学反应沉积，一小部分气体进入到卸料箱内，在卸料箱的顶部，温度降低，形成粉末状，受重力作用掉落至集尘箱内。

3、但是上述沉积设备在氧化亚硅的沉积过程中坩埚处于闲置状态，需要等沉积完成才能进行下一次的生产任务，导致沉积设备的使用率较低，影响了氧化亚硅的生产效率。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种氧化亚硅沉积设备，以解决现有的沉积设备在氧化亚硅的沉积过程中坩埚处于闲置状态，需要等沉积完成才能进行下一次的生产任务，从而导致生产效率较低的问题。

2、本实用新型一种氧化亚硅沉积设备的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

3、一种氧化亚硅沉积设备，包括炉体、沉积室、坩埚、第一加热板、第二加热板、气体输送管、转移管和连接管。

4、沉积室有多个，例如设置为四个，四个沉积室按照圆周阵列均匀分布连接在炉体的外侧；坩埚固定连接在炉体的下部；第一加热板设置有八个，八个第一加热板分别固定连接在四个沉积室的外侧面，且与炉体连接；第二加热板固定在坩埚的下端面，并与炉体固定连接；气体输送管设置有四个，四个气体输送管分别固定连接在四个沉积室的下部，四个气体输送管均与炉体固定连接并伸出到炉体外部；转移管设置有四个，四个转移管圆周阵列固定连接在坩埚的上部，四个转移管均与炉体固定连接；连接管转动连接在坩埚的上部，连接管与炉体转动连接。

5、进一步的，连接管包括有挡板；挡板固定连接在连接管的下部，挡板为“丄”字形结构。

6、进一步的，气体输送管包括有出气管；出气管设置有多个，多个出气管分别圆周阵列固定连接在四个气体输送管的上部，出气管的上部均匀分布开设有多个圆形通孔；

7、转移管包括有送气管；送气管设置有多个，多个送气管分别圆周阵列固定连接在四个转移管的上部；多个送气管的外侧面分别与四个沉积室固定连接。

8、进一步的，连接管还包括有定位环；定位环上下滑动连接在连接管的上部，定位环与炉体转动连接；定位环的上部为圆弧状结构。

9、进一步的，连接管还包括有连接板和定位杆；连接板转动连接在炉体的上部，连接板通过多个弹簧弹性连接在定位环的下部；定位杆设置有四个，四个定位杆圆周阵列固定连接在定位环的上部，四个定位杆均与炉体相互卡接。

10、进一步的，连接管还包括有封堵杆和密封套；封堵杆螺纹连接在连接管的上部；密封套固定连接在封堵杆的下部。

11、进一步优选，炉体中可以设置四组循环冷却装置，其冷却管分别贯穿四个沉积室，在沉积过程中可以实现温度的控制，维持沉积温度更定，得到的氧化亚硅产品品质更高。

12、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

13、本实用新型在传统氧化亚硅沉积设备的基础上增设了连接管和挡板，通过挡板对转移管进行遮挡，从而保证气体每次只能进入一个转移管并进入对应的沉积室进行沉积。在沉积的过程中，坩埚可以继续进行生产，有效的避免了坩埚闲置的情况，提高了沉积设备的使用率和氧化亚硅的生产效率。

14、本实用新型在传统氧化亚硅沉积设备的基础上增设了定位杆，通过定位杆实现对挡板的定位，有效的提高了挡板的遮挡效果，避免挡板受到气体压力后出现晃动，密封不紧气体出现外泄等情况。

15、本实用新型在传统氧化亚硅沉积设备的基础上增设了封堵杆，通过封堵杆对连接管进行密封，并通过密封套使封堵杆与连接管的内壁紧密贴合，从而提高设备整体的密封效果，同时能够对连接管的内壁进行清理，避免了粉末粘附在连接管的内壁上。

16、本实用新型公开的设备，结构紧凑布局合理，可以连续化生产，设备使用率高、结构稳定，可以作为小批量氧化亚硅生产所用设备，成本低廉，具有优异的使用性能。

技术特征：

1.一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述沉积设备包括炉体(1)、沉积室(2)、坩埚(3)、第一加热板(4)、第二加热板(5)、气体输送管(6)、转移管(7)和连接管(8)；

2.如权利要求1所述一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述气体输送管(6)包括有多个出气管(601)，所述出气管(601)的表面开设有多个通孔并伸入到所述沉积室(2)内部；

3.如权利要求1所述一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述连接管(8)包括有挡板(801)，所述挡板(801)固定连接在所述连接管(8)的底部。

4.如权利要求1所述一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述连接管(8)还包括有封堵杆(802)和密封套(803)，所述封堵杆(802)通过螺纹连接在所述连接管(8)的上部；所述密封套(803)固定在所述封堵杆(802)的下部。

5.如权利要求1所述一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述连接管(8)还包括有定位环(804)，所述定位环(804)滑动连接在所述连接管(8)的上部，所述定位环(804)与所述炉体(1)转动连接。

6.如权利要求5所述一种氧化亚硅沉积设备，其特征在于：所述连接管(8)还包括有连接板(805)和定位杆(806)，所述连接板(805)转动连接在所述炉体(1)的上部，所述连接板(805)弹性连接在所述定位环(804)的下部，所述定位环(804)的连接有多个所述定位杆(806)，多个所述定位杆(806)均匀分布且均与所述炉体(1)相互卡接。

技术总结
本技术提供一种氧化亚硅沉积设备，包括炉体、沉积室、坩埚、第一加热板、第二加热板、气体输送管、转移管和连接管。本技术在传统氧化亚硅沉积设备的基础上增设了连接管和挡板，通过挡板对转移管进行遮挡，从而保证气体每次只能进入一个转移管进行沉积，同时坩埚可以继续进行加热反应。本技术公开的设备，不同的沉积室可以分别进行沉积，而坩埚可以连续生产，因而可以有效避免坩埚闲置的情况，提高了沉积设备的使用率和氧化亚硅的生产效率，降低了生产成本。

技术研发人员：宗合威,姚栋嘉,翟晓龙
受保护的技术使用者：郑州炬煌新材料科技有限公司
技术研发日：20230313
技术公布日：2024/1/12