一种用于TVS芯片加工的蒸镀设备的制作方法

本技术涉及tvs芯片加工，具体为一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备。

背景技术：

1、tvs芯片加工时为了将金属均匀的镀在芯片表面，因此需要使用到蒸镀设备。

2、传统的蒸镀设备每次只能对单个芯片进行蒸镀处理，而且无法均匀的对芯片进行蒸镀处理，使得芯片蒸镀的厚度不一，从而降低了蒸镀的质量，同时严重降低了工作效率，为此，我们提供出一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，包括：

3、箱体；

4、底座，所述底座安装在箱体内壁的底部；

5、加热坩埚组件，所述加热坩埚组件设置在底座的顶部；

6、驱动夹持机构，所述驱动夹持机构设置在箱体上，所述驱动夹持机构包括伺服电机，所述伺服电机安装在箱体内壁顶部的左侧，所述伺服电机输出轴的底端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有活动板，所述活动板的底部安装有移动板，所述移动板的底部设置有安装板，所述安装板的底部安装有旋转电机，所述旋转电机输出轴的底端安装有环形板；

7、限位拉伸机构，所述限位拉伸机构设置在驱动夹持机构上。

8、优选的，所述环形板底部的左右两侧与前后两侧均安装有环形壳，所述环形壳内壁的顶部安装有驱动电机，所述驱动电机输出轴的底端安装有环形块，所述环形块的底部贯穿环形壳且延伸至其外部。

9、优选的，所述环形块的底部安装有固定块，所述环形块的底部开设有滑槽，所述滑槽的内壁上安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑块，所述滑块的底部安装有夹块，所述滑杆的表面套接有缓冲弹簧。

10、优选的，所述环形块顶部的左右两侧均安装有支撑块，两个支撑块的顶部通过旋转板固定连接，所述旋转板底部的左右两侧均设置有稳固块，所述稳固块靠近移动板的一侧与移动板固定连接。

11、优选的，所述限位拉伸机构包括插块和拉板，所述插块的数量为两个且分别安装在安装板顶部的左右两侧，所述移动板正面的底部且对应插块的位置开设有与插块相适配的插槽，所述插块的顶部贯穿插槽且延伸至其内部与插槽的内壁相互接触。

12、优选的，所述拉板设置在活动板的顶部，所述拉板的底部且对应插块的位置安装有卡块，所述插块的顶部且对应卡块的位置开设有与卡块相适配的卡槽。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

14、1、本实用新型通过伺服电机、螺纹杆、活动板、移动板、安装板、旋转电机、环形板、环形壳、驱动电机、环形块、固定块、滑槽、滑杆、滑块、夹块和缓冲弹簧的相互配合，从而方便同时对多个芯片进行蒸镀加工，提高了效率，而且保证了芯片蒸镀时的均匀性，避免出现芯片蒸镀厚度不一的现象，而且保证了芯片蒸镀时的稳定性。

15、2、本实用新型通过插块、拉板、插槽、卡块和卡槽的相互配合，使得安装板和环形壳可以运动到箱体的外部，从而方便对待加工的芯片进行夹紧固定，从而提高了工作效率。

技术特征：

1.一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于：所述环形板（27）底部的左右两侧与前后两侧均安装有环形壳（28），所述环形壳（28）内壁的顶部安装有驱动电机（29），所述驱动电机（29）输出轴的底端安装有环形块（210），所述环形块（210）的底部贯穿环形壳（28）且延伸至其外部。

3.根据权利要求2所述的一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于：所述环形块（210）的底部安装有固定块（211），所述环形块（210）的底部开设有滑槽（212），所述滑槽（212）的内壁上安装有滑杆（213），所述滑杆（213）的表面滑动连接有滑块（214），所述滑块（214）的底部安装有夹块（215），所述滑杆（213）的表面套接有缓冲弹簧（216）。

4.根据权利要求3所述的一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于：所述环形块（210）顶部的左右两侧均安装有支撑块（4），两个支撑块（4）的顶部通过旋转板（5）固定连接，所述旋转板（5）底部的左右两侧均设置有稳固块（6），所述稳固块（6）靠近移动板（24）的一侧与移动板（24）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于：所述限位拉伸机构（3）包括插块（31）和拉板（32），所述插块（31）的数量为两个且分别安装在安装板（25）顶部的左右两侧，所述移动板（24）正面的底部且对应插块（31）的位置开设有与插块（31）相适配的插槽（33），所述插块（31）的顶部贯穿插槽（33）且延伸至其内部与插槽（33）的内壁相互接触。

6.根据权利要求5所述的一种用于tvs芯片加工的蒸镀设备，其特征在于：所述拉板（32）设置在活动板（23）的顶部，所述拉板（32）的底部且对应插块（31）的位置安装有卡块（34），所述插块（31）的顶部且对应卡块（34）的位置开设有与卡块（34）相适配的卡槽（35）。

技术总结
本技术公开了一种用于TVS芯片加工的蒸镀设备，包括：箱体，底座，所述底座安装在箱体内壁的底部，加热坩埚组件，所述加热坩埚组件设置在底座的顶部，驱动夹持机构，所述驱动夹持机构设置在箱体上，所述驱动夹持机构包括伺服电机，所述伺服电机安装在箱体内壁顶部的左侧，所述伺服电机输出轴的底端安装有螺纹杆。本技术通过伺服电机、螺纹杆、活动板、移动板、安装板、旋转电机、环形板、环形壳、驱动电机、环形块、固定块、滑槽、滑杆、滑块、夹块和缓冲弹簧的相互配合，从而方便同时对多个芯片进行蒸镀加工，提高了效率，而且保证了芯片蒸镀时的均匀性，避免出现芯片蒸镀厚度不一的现象，而且保证了芯片蒸镀时的稳定性。

技术研发人员：陈俊,张道良
受保护的技术使用者：江苏吉芯微电子科技有限公司
技术研发日：20230322
技术公布日：2024/1/13