一种便于组装的传动机构的制作方法

本技术属于常压化学沉积，特别涉及一种便于组装的传动机构。

背景技术：

1、apcvd即常压化学气相淀积，是指在大气压下进行的一种化学气相沉积的方法，这是化学气相沉积最初所采用的方法。这种工艺所需的系统简单，反应速度快，但是均匀性较差，台阶覆盖能力差，所以一般用于厚的介质沉积；

2、专利号为“cn202023214794.1”的一种常压化学气相沉积设备，其包括进气箱、扩散头、加热体组件、横臂、转台、机械手、装料运载平台、晶圆料车、风机过滤机组和真空系统；风机过滤机组设置于所述装料运载平台上方；所述机械手设置于所述装料运载平台与所述转台之间；所述横臂可滑动的设置于所述转台远离所述机械手的一侧，所述加热体组件设置于所述横臂上方；所述扩散头设置于所述加热体组件正下方，所述进气箱与所述扩散头相连通；所述真空系统用于为所述机械手和所述加热体组件提供真空环境。本实用新型中的常压化学气相沉积设备，可常压化学气相沉积多种薄膜，并能有效提高设备集成度、降低自动化难度、缩小占地面积、提高设备产能；

3、上述技术方案设备在使用期间，通过设置转台来辅助运输晶圆，但是其转台结构较为简单，转台顶部缺少对晶圆的盛放定位结构，导致晶圆放置稳定性不强，并且盖技术方案的转台整体结构拆装较为不便，使得设备检修较为繁琐，因此需要对其进行改进。

技术实现思路

1、针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种便于组装的传动机构，以解决现有技术方案通过设置转台来辅助运输晶圆，但是其转台结构较为简单，转台顶部缺少对晶圆的盛放定位结构，导致晶圆放置稳定性不强，并且盖技术方案的转台整体结构拆装较为不便，使得设备检修较为繁琐的问题。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、一种便于组装的传动机构，包括底座，所述底座的底部中间开设有凹槽，所述凹槽内固定安装有驱动电机，所述驱动电机的顶部输出端贯穿底座固定安装有卡座，所述卡座的内侧插接有插块，所述插块的顶部固定安装有转盘，所述转盘的顶部等间距呈环形固定安装有定位机构，所述底座的底部四拐角处均固定安装有安装机构；

4、所述定位机构包括凹型座，所述凹型座等间距固定安装于转盘的顶部，所述凹型座的内侧均插接有基块，所述基块的顶部固定安装有石英放置台，所述石英放置台的顶部开设有放置槽，所述凹型座的外侧设有限位组件；

5、所述安装机构包括折弯杆，所述折弯杆固定安装于底座的底部四拐角处，所述折弯杆的底部均转动连接有支轴，所述支轴的底部固定安装有定位板，所述定位板的外端螺纹连接有固定螺杆，所述固定螺杆的顶部固定安装有防滑板。

6、进一步地，作为优选技术方案，所述放置槽的横截面形状和侧面形状均设置为等腰梯形，所述放置槽的俯视形状设置为长方形。

7、进一步地，作为优选技术方案，所述转盘的底部等间距呈圆环形固定安装有固定块，所述固定块的底部设有万向球且万向球的底部和转盘的顶部贴合连接。

8、进一步地，作为优选技术方案，所述插块的仰视形状为正六边形，所述卡座的内侧俯视形状也设置为正六边形。

9、进一步地，作为优选技术方案，所述限位组件包括卡架和卡槽，所述卡架固定安装于凹型座的外侧，所述卡槽开设于基块的外侧，所述卡架的内侧两端均固定安装有限位弹簧，所述限位弹簧的内端固定安装有卡块，所述卡块的内端贯穿凹型座插接于卡槽内侧。

10、进一步地，作为优选技术方案，所述卡块的侧面形状为直角梯形，所述卡块的斜面设置于内侧上端。

11、进一步地，作为优选技术方案，所述卡块的外侧固定安装有连接轴，所述连接轴的外端贯穿卡架。

12、进一步地，作为优选技术方案，所述连接轴的外侧固定安装有限位板，所述限位板的外端固定安装有两组拉环。

13、综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

14、第一、通过设置定位机构，使得本装置在使用时，可在使用时将晶圆放置到石英放置台的放置槽内，此时由于放置槽的横截面和侧面形状均为等腰梯形，从而通过放置槽内的斜面导向，使得晶圆能够刚好处于石英放置台内中间，从而方便机械手吸附抓取，并且使用过程中，如若需要针对于不同规格的晶圆进行加工时，只需拉动拉环带动限位板抽动连接轴，连接轴抽动卡块收缩离开卡槽，便可将基块取出，从而方便更换带有不同形状放置槽的石英放置台，使得本装置相较于现有技术方案使用起来较为灵活且方便，使用能力较强，实用性较强；

15、第二、通过设置安装机构，使得本装置在使用期间，可通过将底座放置在设备的台面上，此时通过转动折弯杆底部的支轴，通过支轴带动定位板转向内侧，此时扭动固定螺杆向上通过定位板贴合设备台面的底部，即可辅助固定底座，底座被固定完成后，通过将插块插入到卡座的内侧，即可固定转盘，需要拆卸时，只需松动固定螺杆并将插块拔出即可，从而使得本装置相较于现有技术方案便于组装拆卸，提高了设备检修清理的方便性。

技术特征：

1.一种便于组装的传动机构，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的底部中间开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)内固定安装有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的顶部输出端贯穿底座(1)固定安装有卡座(4)，所述卡座(4)的内侧插接有插块(5)，所述插块(5)的顶部固定安装有转盘(6)，所述转盘(6)的顶部等间距呈环形固定安装有定位机构(7)，所述底座(1)的底部四拐角处均固定安装有安装机构(8)；

2.根据权利要求1所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述放置槽(74)的横截面形状和侧面形状均设置为等腰梯形，所述放置槽(74)的俯视形状设置为长方形。

3.根据权利要求2所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述转盘(6)的底部等间距呈圆环形固定安装有固定块(9)，所述固定块(9)的底部设有万向球(10)且万向球(10)的底部和转盘(6)的顶部贴合连接。

4.根据权利要求3所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述插块(5)的仰视形状为正六边形，所述卡座(4)的内侧俯视形状也设置为正六边形。

5.根据权利要求4所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述限位组件(75)包括卡架(751)和卡槽(752)，所述卡架(751)固定安装于凹型座(71)的外侧，所述卡槽(752)开设于基块(72)的外侧，所述卡架(751)的内侧两端均固定安装有限位弹簧(753)，所述限位弹簧(753)的内端固定安装有卡块(754)，所述卡块(754)的内端贯穿凹型座(71)插接于卡槽(752)内侧。

6.根据权利要求5所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述卡块(754)的侧面形状为直角梯形，所述卡块(754)的斜面设置于内侧上端。

7.根据权利要求6所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述卡块(754)的外侧固定安装有连接轴(755)，所述连接轴(755)的外端贯穿卡架(751)。

8.根据权利要求7所述的一种便于组装的传动机构，其特征在于：所述连接轴(755)的外侧固定安装有限位板(756)，所述限位板(756)的外端固定安装有两组拉环。

技术总结
本技术公开了一种便于组装的传动机构，包括底座，所述底座的底部中间开设有凹槽，所述凹槽内固定安装有驱动电机，所述驱动电机的顶部输出端贯穿底座固定安装有卡座，所述卡座的内侧插接有插块。本技术采用上述结构，通过放置槽内的斜面导向，使得晶圆能够刚好处于石英放置台内中间，从而方便机械手吸附抓取，并且使用过程中，如若需要针对于不同规格的晶圆进行加工时，只需拉动拉环带动限位板抽动连接轴，连接轴抽动卡块收缩离开卡槽，便可将基块取出，从而方便更换带有不同形状放置槽的石英放置台，使得本装置相较于现有技术方案使用起来较为灵活且方便，使用能力较强，实用性较强。

技术研发人员：赵志强
受保护的技术使用者：无锡芯谱半导体科技有限公司
技术研发日：20230324
技术公布日：2024/1/15