一种单晶硅片用的多工位抛光机的制作方法

本技术涉及单晶硅片，具体为一种单晶硅片用的多工位抛光机。

背景技术：

1、单晶硅片是一种晶体结构，常被用于制作太阳能电池片。单晶硅片在制作、生产完成后，其表面比较粗糙，因此，需要对单晶硅片进行抛光处理。

2、传统的使用人工对单晶硅片进行抛光时，需要人工推动或移动单晶硅片，使其与抛光轮接触完成抛光，人工推动不够安全，抛光轮易伤害到手部，在使用抛光机抛光时，通常需要使用夹具对单晶硅片进行夹紧，避免在抛光过程中位置移出，但是使用夹具夹紧单晶硅片时，夹具会对单晶硅片的边缘造成遮挡，导致单晶硅片的上表面边缘无法抛光，抛光的不够全面，为此，我们提出一种单晶硅片用的多工位抛光机。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片用的多工位抛光机，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基座，基座的上表面左侧连接有两组安装架，两组安装架的内侧面顶部连接有顶板，顶板的上表面设有plc控制器，且顶板的下表面安装有抛光组件，抛光组件包括抛光轮，基座的上表面中部开设有导槽，导槽内滑动连接有移动座，基座的右侧外壁中部连接有第一l型板，第一l型板上设有电动伸缩杆一，且电动伸缩杆一的底部与移动座的外侧面连接，移动座的顶部安装有固定座，固定座上滑动连接有移动块，移动块的顶部安装有抛光台，抛光台上设有两组吸盘，且吸盘连通外部吸气单元。

4、进一步的：抛光组件还包括激光测距传感器，激光测距传感器的一侧设有电动推杆，且电动推杆的底部安装有伺服电机，伺服电机的输出端与抛光轮的上表面连接。

5、进一步的：吸气单元包括气泵，气泵位于基座的前侧壁，且气泵通过连接软管与抛光台连通。

6、进一步的：抛光台的内腔底部设有气管，气管与连接软管连通，且气管通过两组固定管分别与两组吸盘连通。

7、进一步的：固定座上开设有贯穿设置的滑槽，滑槽与移动块滑动连接，固定座的后侧面安装有第二l型板，第二l型板上设有电动伸缩杆二，且电动伸缩杆二的底部与移动块的后侧面连接。

8、进一步的：滑槽、移动块、导槽和移动座的截面均呈t字型，且移动块和移动座的外壁均涂有润滑油。

9、进一步的：抛光轮的外表面涂有耐磨层。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型电动伸缩杆一的工作，可以带动移动座在导槽内横向移动，即可调节抛光台上单晶硅片的左右位置，通过电动伸缩杆二的工作，可以带动移动块在滑槽内竖直移动，即可调节抛光台上单晶硅片的前后位置，可调节单晶硅片的多位置，使抛光轮能与单晶硅片全方位接触抛光，取代了传统的人工手动推动单晶硅片进行抛光，使用更加安全；通过气泵的工作，可以使吸盘产生吸力，使单晶硅片稳定吸合在抛光台上，从底部方向固定了单晶硅片，取代了传统的夹具，防止夹具的夹持导致单晶硅片的上表面侧边无法抛光的问题，抛光更加全面；

12、2、通过激光测距传感器的作用，可实时检测与单晶硅片之间的距离，激光检测传感器可将检测数据实时传输给plc控制器，通过plc控制器的工作实时控制电动推杆的工作，使抛光轮处于最佳抛光位置，避免抛光轮位置过激对单晶硅片造成损坏。

技术特征：

1.一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的上表面左侧连接有两组安装架(2)，两组安装架(2)的内侧面顶部连接有顶板(3)，所述顶板(3)的上表面设有plc控制器(4)，且顶板(3)的下表面安装有抛光组件，所述抛光组件包括抛光轮(20)，所述基座(1)的上表面中部开设有导槽(9)，所述导槽(9)内滑动连接有移动座(10)，所述基座(1)的右侧外壁中部连接有第一l型板(11)，所述第一l型板(11)上设有电动伸缩杆一(12)，且电动伸缩杆一(12)的底部与移动座(10)的外侧面连接，所述移动座(10)的顶部安装有固定座(13)，所述固定座(13)上滑动连接有移动块(15)，所述移动块(15)的顶部安装有抛光台(5)，所述抛光台(5)上设有两组吸盘(6)，且吸盘(6)连通外部吸气单元。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述抛光组件还包括激光测距传感器(17)，所述激光测距传感器(17)的一侧设有电动推杆(18)，且电动推杆(18)的底部安装有伺服电机(19)，所述伺服电机(19)的输出端与抛光轮(20)的上表面连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述吸气单元包括气泵(8)，所述气泵(8)位于基座(1)的前侧壁，且气泵(8)通过连接软管(7)与抛光台(5)连通。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述抛光台(5)的内腔底部设有气管(22)，所述气管(22)与连接软管(7)连通，且气管(22)通过两组固定管(21)分别与两组吸盘(6)连通。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述固定座(13)上开设有贯穿设置的滑槽(23)，所述滑槽(23)与移动块(15)滑动连接，所述固定座(13)的后侧面安装有第二l型板(16)，所述第二l型板(16)上设有电动伸缩杆二(14)，且电动伸缩杆二(14)的底部与移动块(15)的后侧面连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述滑槽(23)、移动块(15)、导槽(9)和移动座(10)的截面均呈t字型，且移动块(15)和移动座(10)的外壁均涂有润滑油。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于：所述抛光轮(20)的外表面涂有耐磨层。

技术总结
本技术公开了单晶硅片技术领域的一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基座，基座的上表面左侧连接有两组安装架，两组安装架的内侧面顶部连接有顶板，顶板的上表面设有PLC控制器，且顶板的下表面安装有抛光组件，抛光组件包括抛光轮，基座的上表面中部开设有导槽，导槽内滑动连接有移动座，基座的右侧外壁中部连接有第一L型板，第一L型板上设有电动伸缩杆一，且电动伸缩杆一的底部与移动座的外侧面连接，移动座的顶部安装有固定座，固定座上滑动连接有移动块，移动块的顶部安装有抛光台，抛光台上设有两组吸盘，且吸盘连通外部吸气单元，取代了传统的使用夹具夹紧单晶硅片和人工推动单晶硅片的抛光方法，抛光作业更加安全，抛光更加全面。

技术研发人员：张靖,方艺霖,何飞
受保护的技术使用者：扬州永翔新能源科技有限公司
技术研发日：20230417
技术公布日：2024/1/15