一种具有气流导向功能的沉积炉的制作方法

本技术涉及沉积炉领域，特别涉及一种具有气流导向功能的沉积炉。

背景技术：

1、气相沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法，石墨由于其良好的导热性，易加工性以及耐高温性能，广泛应用于光伏及其它相关领域，通过沉积炉可以在石墨件表面沉积碳化硅，发生化学气相沉积反应后得到化硅涂层，可进一步增强石墨表面硬度。

2、目前，公告号为cn210945778u的中国实用新型，公开了一种具有气流导向功能的沉积炉，内外壁待涂层的石墨筒放置在所述沉积炉的内部，石墨筒的底部通过支撑柱连接到炉底座；所述炉底座上设有喷嘴；喷嘴安装有气流导向装置以调控气流的喷射。其中，气流导向装置包括喷嘴盖、导向管、喷嘴座和分布板；喷嘴盖与喷嘴连接，喷嘴盖通过导向管连接到喷嘴座，喷嘴座的顶部设有分布板，喷嘴座的底部与炉底座连接。有益效果：该气流导向装置能够方便地调节气流流向，使石墨件内外壁沉积均匀，从而保证被沉积石墨件的产品品质，延长使用寿命。

3、现有的沉积炉虽然可对注入的气流进行导向，使其能够吹附到石墨件的表面和内壁上，但是在使用过程中还存在其他问题，如不具备底部水平面调节功能，当沉积炉摆放的地面不够平整时，会造成下方的支腿未与地面全面接触并形成悬空状态，容易在使用过程中产生晃动并与地面发生碰撞，灵活性较低，而且不具备自动旋转功能，无法对放置在炉内的石墨件进行转动，如果石墨件一直处于静止状态的话与上方的出气管位置不会发生改变，因此会造成石墨件表面的沉积效果不佳，沉积不够均匀，实用性较差，为了解决上述所存在的问题，我们提出一种具有气流导向功能的沉积炉。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种具有气流导向功能的沉积炉，其优点是能够具备底部水平面调节功能而且能够具备自动旋转功能。

2、本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种具有气流导向功能的沉积炉，包括炉体，所述炉体的表面固定套接有固定套板，所述固定套板的底部焊接有支撑腿，所述支撑腿的底部焊接有固定筒，所述固定筒的底部设置有底座，所述底座的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆，所述固定筒的内部内嵌有与螺纹杆螺纹连接的固定螺母，所述炉体的顶部设置有进气管，所述炉体的顶部设置有气流导向机构，所述炉体的内部通过密封轴承转动连接有转动杆，所述转动杆的顶部焊接有承载盘，所述转动杆的底部固定套接有电机，所述炉体的一侧连通有抽气管。

3、采用上述技术方案，能够具备底部水平面调节功能，保障了沉积炉使用过程中的稳定性，避免产生晃动和碰撞噪声，灵活性好，同时能够具备自动旋转功能，保障了石墨件内外沉积的均匀性，提高了沉积质量，实用性高。

4、本实用新型进一步设置为：所述气流导向机构包括固定框，所述固定框的表面与进气管的一端连通，所述固定框的底部与炉体之间连通有出气管，所述炉体的内部分别栓接有喷嘴盖和喷嘴座，所述喷嘴盖和喷嘴座相对的一侧连通有连接管。

5、采用上述技术方案，通过固定框、出气管、喷嘴盖、喷嘴座和连接管的设置，能够对注入在内的氮气进行导向送入。

6、本实用新型进一步设置为：所述螺纹杆的表面固定套接有转动螺帽。

7、采用上述技术方案，通过转动螺帽的设置，能够便于工作人员用手或者工具对转动螺帽进行转动。

8、本实用新型进一步设置为：所述螺纹杆和底座均由不锈钢材质制造而成。

9、采用上述技术方案，螺纹杆和底座具有强度高、密度小和耐腐蚀性优良的特点。

10、本实用新型进一步设置为：所述炉体的正面通过铰链铰接有门板，所述门板的正面焊接有把手。

11、采用上述技术方案，通过门板和把手的设置，能够便于工作人员对炉体内部的石墨件进行拿取。

12、本实用新型进一步设置为：所述承载盘的底部开设有环形导槽，所述环形导槽的内部滑动连接有与炉体焊接的导块。

13、采用上述技术方案，通过环形导槽和导块的设置，能够对承载盘进行限位，提高了承载盘在旋转过程中的稳固性。

14、本实用新型进一步设置为：所述电机的表面固定套接有环形板，所述环形板的顶部和炉体之间栓接有两个连接板。

15、采用上述技术方案，通过环形板和连接板的设置，能够对电机进行固定，防止电机在安装后出现掉落的情况。

16、本实用新型进一步设置为：所述炉体的底部栓接有防护罩。

17、采用上述技术方案，通过防护罩的设置，能够对电机进行保护，防止电机受到外物的碰撞而出现损坏。

18、综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

19、1.本实用新型通过先将沉积炉搬抬至指定位置，然后用手或者工具抓住转动螺帽进行转动，转动螺帽在转动时会通过固定筒和固定螺母的配合下带动螺纹杆向下旋转移动，螺纹杆在向下旋转移动时会通过轴承的配合下带动底座向下移动，能够具备底部水平面调节功能，保障了沉积炉使用过程中的稳定性，避免产生晃动和碰撞噪声，灵活性好；

20、2.本实用新型通过启动电机，电机在启动后会通过密封轴承的配合下带动转动杆进行转动，转动杆在转动时会通过环形导槽和导块的配合下带动承载盘进行旋转，承载盘在旋转时会带动上方的石墨件一起旋转，能够具备自动旋转功能，保障了石墨件内外沉积的均匀性，提高了沉积质量，实用性高。

技术特征：

1.一种具有气流导向功能的沉积炉，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的表面固定套接有固定套板(2)，所述固定套板(2)的底部焊接有支撑腿(3)，所述支撑腿(3)的底部焊接有固定筒(4)，所述固定筒(4)的底部设置有底座(5)，所述底座(5)的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆(6)，所述固定筒(4)的内部内嵌有与螺纹杆(6)螺纹连接的固定螺母(7)，所述炉体(1)的顶部设置有进气管(8)，所述炉体(1)的顶部设置有气流导向机构(9)，所述炉体(1)的内部通过密封轴承转动连接有转动杆(10)，所述转动杆(10)的顶部焊接有承载盘(11)，所述转动杆(10)的底部固定套接有电机(12)，所述炉体(1)的一侧连通有抽气管(13)。

2.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述气流导向机构(9)包括固定框(91)，所述固定框(91)的表面与进气管(8)的一端连通，所述固定框(91)的底部与炉体(1)之间连通有出气管(92)，所述炉体(1)的内部分别栓接有喷嘴盖(93)和喷嘴座(94)，所述喷嘴盖(93)和喷嘴座(94)相对的一侧连通有连接管(95)。

3.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述螺纹杆(6)的表面固定套接有转动螺帽(14)。

4.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述螺纹杆(6)和底座(5)均由不锈钢材质制造而成。

5.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)的正面通过铰链铰接有门板(15)，所述门板(15)的正面焊接有把手。

6.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述承载盘(11)的底部开设有环形导槽(16)，所述环形导槽(16)的内部滑动连接有与炉体(1)焊接的导块(17)。

7.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述电机(12)的表面固定套接有环形板(18)，所述环形板(18)的顶部和炉体(1)之间栓接有两个连接板。

8.根据权利要求1所述的一种具有气流导向功能的沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)的底部栓接有防护罩(19)。

技术总结
本技术公开了一种具有气流导向功能的沉积炉，应用在沉积炉领域，包括炉体，所述炉体的表面固定套接有固定套板，所述固定套板的底部焊接有支撑腿，所述支撑腿的底部焊接有固定筒，所述固定筒的底部设置有底座，所述底座的顶部通过轴承转动连接有螺纹杆，所述固定筒的内部内嵌有与螺纹杆螺纹连接的固定螺母，所述炉体的顶部设置有进气管，所述炉体的顶部设置有气流导向机构，所述炉体的内部通过密封轴承转动连接有转动杆；能够具备底部水平面调节功能，保障了沉积炉使用过程中的稳定性，避免产生晃动和碰撞噪声，灵活性好，同时能够具备自动旋转功能，保障了石墨件内外沉积的均匀性，提高了沉积质量，实用性高。

技术研发人员：王子贤
受保护的技术使用者：东莞市志远半导体有限公司
技术研发日：20230418
技术公布日：2024/1/15