一种基片夹具和真空蒸镀系统的制作方法

本技术涉及基片夹具，尤其涉及一种基片夹具和真空蒸镀系统。

背景技术：

1、现有的基片夹具仅能夹持形状规则的基片，无法适应异形基片的夹持需求，对基片的兼容性较差，降低了基片夹具的通用性。

2、因此，如何提高基片夹具的通用性，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种基片夹具，以提高基片夹具的通用性。

2、为了实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种基片夹具，其特征在于，包括：

4、滑动支撑件，所述滑动支撑件的数量为多个，且多个所述滑动支撑件在预设中心点向远离所述预设中心点的方向辐射延伸；

5、夹爪，滑动设置于所述滑动支撑件上，所述夹爪靠近所述预设中心点的一侧设置有压紧块，所述压紧块与所述滑动支撑件之间形成能够容纳基片的边缘的容纳空间；

6、紧固件，设置于所述压紧块上，所述紧固件用于将所述基片的边缘压紧在所述滑动支撑件上。

7、可选地，在上述基片夹具中，所述紧固件为紧固螺栓，所述压紧块上设有螺纹连接孔，所述紧固螺栓贯穿所述螺纹连接孔后抵接压紧所述基片。

8、可选地，在上述基片夹具中，所述基片夹具还包括基片保护件，所述基片保护件设置于所述紧固螺栓靠近所述基片的一端。

9、可选地，在上述基片夹具中，所述基片保护件包括橡胶垫。

10、可选地，在上述基片夹具中，所述压紧块与所述夹爪一体成型，所述压紧块自所述夹爪靠近所述预设中心点的一侧朝向所述预设中心点延伸，形成所述压紧块。

11、可选地，在上述基片夹具中，所述滑动支撑件包括滑动导轨。

12、可选地，在上述基片夹具中，还包括基座，所述滑动支撑件设置于所述基座上，所述预设中心点与所述基座的中心点重合。

13、可选地，在上述基片夹具中，所述滑动支撑件的数量为四个，分别为第一滑动支撑件、第二滑动支撑件、第三滑动支撑件和第四滑动支撑件；

14、其中，所述基座为方形基座，所述第一滑动支撑件、所述第二滑动支撑件、所述第三滑动支撑件和所述第四滑动支撑件分别自所述方形基座的中心点向所述方形基座的四个直角部辐射延伸。

15、一种真空蒸镀系统，包括如上所述的基片夹具。

16、使用本实用新型所提供的基片夹具时，由于滑动支撑件的数量为多个，且多个滑动支撑件在预设中心点向远离预设中心点的方向辐射延伸，滑动支撑件上滑动设置夹爪，夹爪靠近预设中心点的一侧设置有压紧块，压紧块与滑动支撑件之间形成能够容纳基片的边缘的容纳空间，因此，在夹持异形基片时，将夹爪向远离预设中心点的方向移动，然后将基片放置在滑动支撑件上，使基片位于多个压紧块围成的中部区域内，再将夹爪向靠近预设中心点的一侧移动，使基片的边缘位于压紧块和滑动支撑件之间形成的容纳空间中，最后通过紧固件将基片的边缘压紧在滑动支撑件上，亦即将基片压紧在容纳空间中，此时，基于基片与滑动支撑件之间的静摩擦力和紧固件与压紧件之间的连接关系，夹爪和晶片均保持静止，实现基片在该基片夹具上的固定。

17、由此可见，本实用新型所提供的基片夹具能够通过调节夹爪在滑动支撑件上的位置实现了对不同形状基片的夹持，使得基片夹具能够兼容多种形状规格的基片，提高了基片夹具的通用性。

技术特征：

1.一种基片夹具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基片夹具，其特征在于，所述紧固件为紧固螺栓，所述压紧块上设有螺纹连接孔，所述紧固螺栓贯穿所述螺纹连接孔后抵接压紧所述基片。

3.根据权利要求2所述的基片夹具，其特征在于，所述基片夹具还包括基片保护件，所述基片保护件设置于所述紧固螺栓靠近所述基片的一端。

4.根据权利要求3所述的基片夹具，其特征在于，所述基片保护件包括橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的基片夹具，其特征在于，所述压紧块与所述夹爪一体成型，所述压紧块自所述夹爪靠近所述预设中心点的一侧朝向所述预设中心点延伸，形成所述压紧块。

6.根据权利要求1所述的基片夹具，其特征在于，所述滑动支撑件包括滑动导轨。

7.根据权利要求1所述的基片夹具，其特征在于，还包括基座，所述滑动支撑件设置于所述基座上，所述预设中心点与所述基座的中心点重合。

8.根据权利要求7所述的基片夹具，其特征在于，所述滑动支撑件的数量为四个，分别为第一滑动支撑件、第二滑动支撑件、第三滑动支撑件和第四滑动支撑件；

9.一种真空蒸镀系统，其特征在于，包括如权利要求1至8任意一项所述的基片夹具。

技术总结
本技术公开了一种基片夹具和真空蒸镀系统。该基片夹具包括滑动支撑件，滑动支撑件的数量为多个，且多个滑动支撑件在预设中心点向远离预设中心点的方向辐射延伸；夹爪，滑动设置于滑动支撑件上，夹爪靠近预设中心点的一侧设置有压紧块，压紧块与滑动支撑件之间形成能够容纳基片的边缘的容纳空间；紧固件，设置于压紧块上，紧固件用于将基片的边缘压紧在滑动支撑件上。本技术所提供的基片夹具能够通过调节夹爪在滑动支撑件上的位置实现了对不同形状基片的夹持，使得基片夹具能够兼容多种形状规格的基片，提高了基片夹具的通用性。

技术研发人员：熊继光,肖平,赵志国,赵东明,李梦洁,秦校军,夏渊,秦文涛
受保护的技术使用者：华能新能源股份有限公司
技术研发日：20230522
技术公布日：2024/1/15