本技术涉及喷砂作业领域,尤其涉及一种加热器部件的喷砂辅助治具。
背景技术:
1、半导体设备中有一种化学气相沉积机台,机台中的备件加热器,结构较为特殊,表面是一种圆盘型结构,背部焊接有较长一段加热柱,喷砂时,部件在喷砂机内不便放置,作业人员不便于喷砂作业。
技术实现思路
1、本实用新型为解决上述问题,提供了一种可以将部件倾斜放置在治具上面的喷砂辅助具,使圆盘型的喷砂面正好对着作业人员。
2、本实用新型所采取的技术方案:
3、一种加热器部件的喷砂辅助治具,包括部件支撑板和治具底座,治具底座的一端两侧各安装一块连接块,连接块上连接有转轴,部件支撑板的一端通过转轴转动连接在治具底座上,部件支撑板的另一端开设有缺口槽,部件支撑板的两侧边中间通过连接轴转动连接有连接杆,治具底座的两侧边分别固定有支撑板限位块,支撑板限位块上开设有多个限位孔,连接杆的底端通过销轴连接在其中一个限位孔上。
4、所述的缺口槽向部件支撑板的中间部位延伸。
5、所述的部件支撑板和治具底座为聚氟乙烯板。
6、所述的支撑板限位块上开设有3个限位孔。
7、所述的连接杆底端的销轴可拆卸连接。
8、本实用新型的有益效果:本实用新型可以将部件倾斜放置在其上面,使得圆盘型的喷砂面正好可以对着作业人员,便于喷砂作业,部件支撑板的角度可以通过连接杆调节,调节部件的喷砂角度,保证部件表面喷砂的均匀性,治具为聚氟乙烯板,可以避免碰伤部件,可以避免金属污染。
1.一种加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,包括部件支撑板(1)和治具底座(3),治具底座(3)的一端两侧各安装一块连接块(4),连接块(4)上连接有转轴(5),部件支撑板(1)的一端通过转轴(5)转动连接在治具底座(3)上,部件支撑板(1)的另一端开设有缺口槽(2),部件支撑板(1)的两侧边中间通过连接轴(9)转动连接有连接杆(6),治具底座(3)的两侧边分别固定有支撑板限位块(7),支撑板限位块(7)上开设有多个限位孔(8),连接杆(6)的底端通过销轴连接在其中一个限位孔(8)上。
2.根据权利要求1所述的加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,所述的缺口槽(2)向部件支撑板(1)的中间部位延伸。
3.根据权利要求1所述的加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,所述的部件支撑板(1)和治具底座(3)为聚氟乙烯板。
4.根据权利要求1所述的加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,所述的支撑板限位块(7)上开设有3个限位孔(8)。
5.根据权利要求1所述的加热器部件的喷砂辅助治具,其特征在于,所述的连接杆(6)底端的销轴可拆卸连接。