一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置的制作方法

本技术涉及镀膜机辅助设备，具体为一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置。

背景技术：

1、磁控溅射镀膜是指高速带粒子轰击固体表面并使固体原子从表面发射的现象，溅射涂层是在电场作用下，由辉光放电产生的正离子对阴极靶表面进行高速轰击，使原子或分子溅射出来，然后在基体表面沉积原子或者分子形成的薄膜。

2、磁控溅射镀膜机在对镀件进行镀膜时，需要借助镀膜机自动上下料装置对镀件进行上下料工作。

3、而在磁控溅射镀膜机自动上下料装置的使用过程中往往会出现以下问题：

4、1、常见的磁控溅射镀膜机自动上下料装置，往往自动化效果不佳，比如上料时需要人工操作夹持件对镀件进行夹持，下料时需要人工将镀件卸下，非常费时费力；

5、2、在镀件进行磁控溅射镀膜工作时，需要保证镀件表面干净、整洁，如果镀件表面出现异物、污渍等现象，则会影响镀膜效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，实用、方便，解决了现有的磁控溅射镀膜机上下料装置，自动化效果不佳、清理镀件效果不佳的问题，以解决上述背景技术提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机、升降机构、升降板、固定座和卡合板，所述输送机的上端表面开设有三个驱动槽，所述输送机的前侧表面设置有第一电动机，所述驱动槽的内部设置有第一螺纹杆，所述升降机构位于输送机的上端表面，所述升降机构用于升降板的升降工作，所述升降板位于升降机构的内侧表面，所述固定座位于升降板的上端，所述固定座用于放置镀件，所述卡合板位于固定座的内部，所述卡合板固定镀件。

3、优选的，所述第一电动机的输出端穿入驱动槽的内部与第一螺纹杆传动连接，所述升降机构通过第一螺纹杆与输送机滑动连接，所述输送机的下端表面固定安装有支腿。

4、优选的，所述升降机构的上端表面设置有第二电动机，所述升降机构的内部设置有第二螺纹杆，所述第二电动机的输出端穿入升降机构的内部与第二螺纹杆传动连接，所述升降板通过第二螺纹杆与升降机构升降连接。

5、优选的，所述升降板的上端表面设置有弹簧和电子伸缩杆，所述弹簧的下端通过固定块与升降板固定连接，所述弹簧的上端通过固定块与固定座固定连接，所述电子伸缩杆的下端通过固定块与固定座固定连接，所述电子伸缩杆输出端的外表面设置有转动座，所述电子伸缩杆的输出端通过转动座与固定座的下端表面活动连接。

6、优选的，所述固定座的上端表面设置有气缸，所述气缸的输出端贯穿固定座的上端表面与卡合板固定连接，所述卡合板的下端表面设置有橡胶垫。

7、优选的，所述卡合板的前侧表面设置有第三电动机，所述卡合板的内部设置有第三螺纹杆，所述第三电动机的输出端穿入卡合板的内部与第三螺纹杆传动连接，所述卡合板的下端表面设置有安装板，所述安装板通过固定块与第三螺纹杆固定连接，所述安装板的下端表面固定连接有海绵。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

9、(1)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，当将镀件固定后，需要进行上料工作时，可驱动驱动槽内部的第一电动机，第一电动机带动第一螺纹杆，进而可通过第一螺纹杆带动升降机构前后移动，升降机构移动则可以带动升降板、固定座和卡合板前后移动，进而带动镀件前后移动，从而完成自动化上下料，增加整体自动化效果，当镀件移动至上下料地点后，可驱动升降机构的上端表面的第二电动机，第二电动机可通过第二螺纹杆带动升降板和固定座上升或下降，进而可带动镀件上升或下降，从而可对高处进行上下料工作，进一步地使整体自动化效果更佳，增加了整体的适用性。

10、(2)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，使用时，当将镀件被运到指定地点需要装卸时，可驱动升降板的上端表面的电子伸缩杆，电子伸缩杆通过转动座可将卡合板顶起，再配合弹簧可使固定座呈倾斜状，此时工人只需托起镀件的一端，即可将镀件毫不费力地缓缓拖出，从而丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

11、(3)本实用新型的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，当镀件被压合固定后，可驱动卡合板前侧表面的第三电动机旋转，第三电动机具体为一种往复电机，第三电动机通过第三螺纹杆可带动安装板前后移动，安装板前后移动则可以带动海绵前后移动，海绵前后移动时则可以对镀件表面进行擦拭，从而防止镀件表面有异物粘黏或有污渍，提高了后续镀件镀膜的效果，丰富了整体的功能，增加了整体的适用性。

技术特征：

1.一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机(1)、升降机构(2)、升降板(3)、固定座(4)和卡合板(5)，其特征在于：所述输送机(1)的上端表面开设有三个驱动槽(11)，所述输送机(1)的前侧表面设置有第一电动机(12)，所述驱动槽(11)的内部设置有第一螺纹杆(13)，所述升降机构(2)位于输送机(1)的上端表面，所述升降机构(2)用于升降板(3)的升降工作，所述升降板(3)位于升降机构(2)的内侧表面，所述固定座(4)位于升降板(3)的上端，所述固定座(4)用于放置镀件，所述卡合板(5)位于固定座(4)的内部，所述卡合板(5)固定镀件。

2.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述第一电动机(12)的输出端穿入驱动槽(11)的内部与第一螺纹杆(13)传动连接，所述升降机构(2)通过第一螺纹杆(13)与输送机(1)滑动连接，所述输送机(1)的下端表面固定安装有支腿(14)。

3.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述升降机构(2)的上端表面设置有第二电动机(21)，所述升降机构(2)的内部设置有第二螺纹杆(22)，所述第二电动机(21)的输出端穿入升降机构(2)的内部与第二螺纹杆(22)传动连接，所述升降板(3)通过第二螺纹杆(22)与升降机构(2)升降连接。

4.根据权利要求3所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述升降板(3)的上端表面设置有弹簧(31)和电子伸缩杆(32)，所述弹簧(31)的下端通过固定块与升降板(3)固定连接，所述弹簧(31)的上端通过固定块与固定座(4)固定连接，所述电子伸缩杆(32)的下端通过固定块与固定座(4)固定连接，所述电子伸缩杆(32)输出端的外表面设置有转动座(321)，所述电子伸缩杆(32)的输出端通过转动座(321)与固定座(4)的下端表面活动连接。

5.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述固定座(4)的上端表面设置有气缸(41)，所述气缸(41)的输出端贯穿固定座(4)的上端表面与卡合板(5)固定连接，所述卡合板(5)的下端表面设置有橡胶垫(51)。

6.根据权利要求1所述的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，其特征在于：所述卡合板(5)的前侧表面设置有第三电动机(52)，所述卡合板(5)的内部设置有第三螺纹杆(53)，所述第三电动机(52)的输出端穿入卡合板(5)的内部与第三螺纹杆(53)传动连接，所述卡合板(5)的下端表面设置有安装板(54)，所述安装板(54)通过固定块与第三螺纹杆(53)固定连接，所述安装板(54)的下端表面固定连接有海绵(55)。

技术总结
本技术公开了一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，属于镀膜机辅助设备技术领域。本技术的一种水平式磁控溅射镀膜机自动上下料装置，包括输送机、升降机构、升降板、固定座和卡合板，所述输送机的前侧表面设置有第一电动机，所述升降机构位于输送机的上端表面，所述升降板位于升降机构的内侧表面。本技术解决了现有的磁控溅射镀膜机上下料装置，自动化效果不佳、镀件表面清理效果不佳的问题，通过驱动卡合板前侧表面的第三电动机旋转，第三电动机具体为一种往复电机，第三电动机通过第三螺纹杆可带动安装板前后移动，安装板前后移动则带动海绵前后移动，海绵前后移动时则可以对镀件表面进行擦拭，从而防止镀件表面有污渍。

技术研发人员：赵子东,李倩,黄罗生,宋毅,陈朝旭,徐东
受保护的技术使用者：马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司
技术研发日：20230529
技术公布日：2024/1/15