一种卷绕式真空镀膜机保护设备的制作方法

文档序号:37328589发布日期:2024-03-18 17:01阅读:10来源:国知局
一种卷绕式真空镀膜机保护设备的制作方法

本技术涉及真空镀膜机领域,具体讲是一种卷绕式真空镀膜机保护设备。


背景技术:

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜,在使用卷绕式真空镀膜机时,容易造成卷绕式真空镀膜机温度过热,因此保护设备来对卷绕式真空镀膜机进行保护,因此需要一种卷绕式真空镀膜机保护设备来满足人们的使用需求:

2、(1)目前市场上大多数卷绕式真空镀膜机保护设备,在对卷绕式真空镀膜机进行散热时,容易造成粉尘和毛絮进入卷绕式真空镀膜机的内部,从而造成卷绕式真空镀膜机内部的电气元件发生损坏;

3、(2)目前市场上大多数卷绕式真空镀膜机保护设备,在使用时,容易产生一些震动,从而导致卷绕式真空镀膜机因震动发生损坏,从而影响卷绕式真空镀膜机的使用寿命。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机保护设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、本实用新型的技术方案是:一种卷绕式真空镀膜机保护设备,包括安装框、支撑板和真空镀膜机主体,所述安装框的顶端设置有支撑板,且支撑板的顶端安装有真空镀膜机主体,所述真空镀膜机主体一端的侧壁安装有散热箱体,且散热箱体的一端安装有进风管,所述散热箱体的一端安装有贯穿真空镀膜机主体的出风管,所述真空镀膜机主体远离散热箱体的一端安装有散热管,所述进风管的内部安装有散热扇,所述散热箱体的内部设置有过滤网,所述散热箱体内部的顶端和底端皆安装有限位板,所述安装框内部的底端安装有第一液压油箱体,所述安装框内部的底端安装有第二液压油箱体,且第二液压油箱体的外壁安装有连接管,所述连接管与第一液压油箱体相连通。

3、进一步的,所述散热箱体内部的顶端和底端皆安装有固定板,且固定板两端的侧壁安装有固定套杆,所述固定套杆的内部设置有连接杆,且连接杆的一端安装有挤压板。

4、进一步的,所述固定套杆的内壁安装有第一滑轨,且第一滑轨的内部设置有第一滑块,所述第一滑块远离第一滑轨的一端安装有圆盘主体,且圆盘主体的一端与连接杆的一端固定连接。

5、进一步的,所述圆盘主体的一端安装有第一弹簧主体,且第一弹簧主体远离圆盘主体的一端与第一滑轨内部一端的侧壁固定连接。

6、进一步的,所述安装框内部两端的侧壁皆安装有第二滑轨,且第二滑轨的内部设置有第二滑块,所述第二滑块的一端与支撑板的侧壁固定连接。

7、进一步的,所述第一液压油箱体的内部设置有第一活塞板,且第一活塞板的顶端安装有活塞杆,所述活塞杆的顶端与支撑板的底端固定连接。

8、进一步的,所述第二液压油箱体内部的顶端皆安装有第二弹簧主体,且第二弹簧主体的底端安装有第二活塞板。

9、本实用新型通过改进在此提供一种卷绕式真空镀膜机保护设备,与现有技术相比,具有如下改进及优点:

10、其一:本实用新型卷绕式真空镀膜机保护设备,通过进风管、限位板、过滤网、固定套杆、连接杆和挤压板,通过过滤网的设计,便于通过过滤网来对空气中的粉尘和毛絮进行清理,同时通过第一滑轨和第一滑块的相互配合,使挤压板可以带动连接杆通过第一滑块在第一滑轨的内部滑动,使其连接杆带动圆盘主体滑动并挤压第一弹簧主体发生形变,便于通过第一弹簧主体弹性复原来带动挤压板对过滤网进行装夹固定;

11、其二:本实用新型卷绕式真空镀膜机保护设备,通过第一液压油箱体、活塞杆、第一活塞板、连接管和第二液压油箱体,通过第二滑轨和第二滑块的相互配合,使支撑板通过第二滑块在第二滑轨的内部升降,便于使支撑板升降来挤压活塞杆在第一活塞板内部升降,从而便于使第一液压油箱体内部的液压油通过连接管进入第二液压油箱体的内部,便于使第二液压油箱体内部的液压油挤压第二活塞板和第二弹簧主体发生形变,同时通过第二弹簧主体弹性复原来带动第二活塞板挤压第二液压油箱体内部的液压油通过连接管进入第一液压油箱体的内部,从而来对支撑板进行减震。



技术特征:

1.一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:包括安装框(1)、支撑板(2)和真空镀膜机主体(3),所述安装框(1)的顶端设置有支撑板(2),且支撑板(2)的顶端安装有真空镀膜机主体(3),所述真空镀膜机主体(3)一端的侧壁安装有散热箱体(5),且散热箱体(5)的一端安装有进风管(6),所述散热箱体(5)的一端安装有贯穿真空镀膜机主体(3)的出风管(8),所述真空镀膜机主体(3)远离散热箱体(5)的一端安装有散热管(4),所述进风管(6)的内部安装有散热扇(7),所述散热箱体(5)的内部设置有过滤网(10),所述散热箱体(5)内部的顶端和底端皆安装有限位板(9),所述安装框(1)内部的底端安装有第一液压油箱体(21),所述安装框(1)内部的底端安装有第二液压油箱体(25),且第二液压油箱体(25)的外壁安装有连接管(24),所述连接管(24)与第一液压油箱体(21)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于;所述散热箱体(5)内部的顶端和底端皆安装有固定板(11),且固定板(11)两端的侧壁安装有固定套杆(12),所述固定套杆(12)的内部设置有连接杆(13),且连接杆(13)的一端安装有挤压板(14)。

3.根据权利要求2所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:所述固定套杆(12)的内壁安装有第一滑轨(15),且第一滑轨(15)的内部设置有第一滑块(16),所述第一滑块(16)远离第一滑轨(15)的一端安装有圆盘主体(17),且圆盘主体(17)的一端与连接杆(13)的一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:所述圆盘主体(17)的一端安装有第一弹簧主体(18),且第一弹簧主体(18)远离圆盘主体(17)的一端与第一滑轨(15)内部一端的侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:所述安装框(1)内部两端的侧壁皆安装有第二滑轨(19),且第二滑轨(19)的内部设置有第二滑块(20),所述第二滑块(20)的一端与支撑板(2)的侧壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:所述第一液压油箱体(21)的内部设置有第一活塞板(23),且第一活塞板(23)的顶端安装有活塞杆(22),所述活塞杆(22)的顶端与支撑板(2)的底端固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,其特征在于:所述第二液压油箱体(25)内部的顶端皆安装有第二弹簧主体(26),且第二弹簧主体(26)的底端安装有第二活塞板(27)。


技术总结
本技术的一种卷绕式真空镀膜机保护设备,属于真空镀膜机技术领域,包括安装框、支撑板和真空镀膜机主体,所述安装框的顶端设置有支撑板,且支撑板的顶端安装有真空镀膜机主体,所述真空镀膜机主体一端的侧壁安装有散热箱体,且散热箱体的一端安装有进风管,所述散热箱体的一端安装有贯穿真空镀膜机主体的出风管,所述真空镀膜机主体远离散热箱体的一端安装有散热管,所述进风管的内部安装有散热扇。本技术的有益效果是通过挤压板可以带动连接杆通过第一滑块在第一滑轨的内部滑动,使其连接杆带动圆盘主体滑动并挤压第一弹簧主体发生形变,便于通过第一弹簧主体弹性复原来带动挤压板对过滤网进行装夹固定。

技术研发人员:王松
受保护的技术使用者:无锡新诚真空科技发展有限公司
技术研发日:20230621
技术公布日:2024/3/17
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