一种平面靶材绑定边距定位可调工装的制作方法

本技术涉及靶材加工的，具体为一种平面靶材绑定边距定位可调工装。

背景技术：

1、靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

2、根据公开号为cn218592790u的中国专利，一种靶材定位装置。包括设置在背板上表面的横向定位条、纵向定位条、横向挡铟条和纵向挡铟条；横向定位条可拆卸固定在背板的横向一侧、且横向定位条与背板的横向边平行设置；纵向定位条可拆卸固定在背板纵向的一侧、且纵向定位条与背板的纵向边平行设置；横向挡铟条置于背板的横向另一侧、且横向挡铟条与横向定位条相对设置；纵向挡铟条置于背板的纵向另一侧，且纵向挡铟条与纵向定位条相对设置，横向定位条、纵向定位条、横向挡铟条和纵向挡铟条依次首尾抵接、形成靶材定位容纳空间。

3、在上述方案中，通过多组定位条可拆卸的设置在背板上，将靶材框起，进而起到快速定位的效果。导致其出现如下缺点：定位条的长度与宽度固定且在背板上的安装位置无法改变，当需要对不通过长度与宽度的靶材进行定位时就无法适用，造成该装置的适用性不足。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了提供一种平面靶材绑定边距定位可调工装，以解决定位条的长度与宽度固定且在背板上的安装位置无法改变，当需要对不通过长度与宽度的靶材进行定位时就无法适用，造成该装置的适用性不足的问题。

2、为了实现上述实用新型目的，本实用新型采用了以下技术方案：一种平面靶材绑定边距定位可调工装，包括工作台，所述工作台的顶面固定有背板，所述背板的顶面开设有刻度，所述背板的放置有靶材本体，所述工作台的顶面可拆卸的设置有支撑条，所述支撑条的一侧开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔的内部螺纹连接有内六角螺栓，所述内六角螺栓的一端与靶材本体的一侧相抵触，所述靶材本体的顶面设置有两个顶板，所述顶板的底面固定有两个连接板，其中一个所述连接板的一侧开设有两个第二螺纹孔，所述第二螺纹孔的内部螺纹连接有内六角螺钉，其中一个所述连接板的另一侧固定有两个限位套筒，所述限位套筒与第二螺纹孔的内部相连通，所述限位套筒的内部滑动设置有贴合杆，所述内六角螺钉的一端贯穿第二螺纹孔，并延伸至限位套筒的内部与贴合杆的一端相抵触，另一个所述连接板的一侧开设有第三螺纹孔，所述第三螺纹孔的内部螺纹连接有紧固螺栓。

3、优选的，所述靶材本体的上方设置有气动夹爪，所述气动夹爪两个夹抓分别与背板和靶材本体的前后两侧相抵触。

4、优选的，若干个所述限位套筒的内部一侧均固定有复位弹簧，所述复位弹簧与贴合杆的外圆壁面滑动设置。

5、优选的，两个所述紧固螺栓的外圆壁面均螺纹连接有六角螺母。

6、优选的，两个所述内六角螺栓的一端均固定有推力球轴承，所述推力球轴承的一侧固定有固定环，所述固定环的一侧开设有避让槽，所述内六角螺栓的一端开设有第四螺纹孔，所述固定环的避让槽内部插设有塞打螺栓，所述塞打螺栓的一端分别贯穿固定环的内部、推力球轴承的内部，并与第四螺纹孔螺纹连接。

7、优选的，两个所述支撑条的顶面均开设有两个连接孔，所述连接孔的内部拆设有安装螺栓，所述工作台的顶面开设有第五螺纹孔，所述安装螺栓的一端贯穿连接孔，并与第五螺纹孔螺纹连接。

8、与现有技术相比，采用了上述技术方案的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，具有如下有益效果：

9、一、在使用中，通过将靶材本体置于背板的顶面，旋转内六角螺栓并根据背板上的刻度对靶材本体的左右两侧进行定位，随后将顶板置于靶材本体的顶面，使得连接板分别置于靶材本体的前后两侧，然后先旋转其中一个连接板中靠近连接板底面的内六角螺钉，使得内六角螺钉推动贴合杆与背板的后侧相抵触，此时另一个连接板与背板的前侧相抵触，从而将顶板与连接板和背板固定，随后旋转其中一个连接板中靠近连接板顶面的内六角螺钉，使得内六角螺钉推动贴合杆与靶材本体的后侧相抵触，此时靶材本体的前侧与紧固螺栓的一端相抵触，从而完成对靶材本体的定位，通过在靶材本体的四侧分别设置可以调节的定位机构，在保证了定位的精准性同时，可以对不同长度与宽度的靶材本体进行定位，大大增加了装置的适用性；

10、二、在使用中，通过复位弹簧可以在内六角螺钉卸去对贴合杆的挤压时，复位弹簧可以使得贴合杆快速复位，解除对靶材本体的定位，从而快速拆卸靶材本体，通过六角螺母与紧固螺栓的外圆壁面螺纹连接并与连接板的一侧相贴合，可以增加紧固螺栓的紧固性，增加定位靶材本体的可靠性，将靶材本体置于背板的顶面，随后通过启动气动夹爪分别对背板和靶材本体的前后两侧夹持，从而对靶材本体起到初步定位的作用，增加了靶材本体的定位速度。

技术特征：

1.一种平面靶材绑定边距定位可调工装，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的顶面固定有背板(2)，所述背板(2)的顶面开设有刻度，所述背板(2)的放置有靶材本体(3)，所述工作台(1)的顶面可拆卸的设置有支撑条(4)，所述支撑条(4)的一侧开设有第一螺纹孔(5)，所述第一螺纹孔(5)的内部螺纹连接有内六角螺栓(6)，所述内六角螺栓(6)的一端与靶材本体(3)的一侧相抵触，所述靶材本体(3)的顶面设置有两个顶板(7)，所述顶板(7)的底面固定有两个连接板(8)，其中一个所述连接板(8)的一侧开设有两个第二螺纹孔(9)，所述第二螺纹孔(9)的内部螺纹连接有内六角螺钉(10)，其中一个所述连接板(8)的另一侧固定有两个限位套筒(11)，所述限位套筒(11)与第二螺纹孔(9)的内部相连通，所述限位套筒(11)的内部滑动设置有贴合杆(12)，所述内六角螺钉(10)的一端贯穿第二螺纹孔(9)，并延伸至限位套筒(11)的内部与贴合杆(12)的一端相抵触，另一个所述连接板(8)的一侧开设有第三螺纹孔(13)，所述第三螺纹孔(13)的内部螺纹连接有紧固螺栓(14)。

2.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，其特征在于：所述靶材本体(3)的上方设置有气动夹爪(15)，所述气动夹爪(15)两个夹抓分别与背板(2)和靶材本体(3)的前后两侧相抵触。

3.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，其特征在于：若干个所述限位套筒(11)的内部一侧均固定有复位弹簧(16)，所述复位弹簧(16)与贴合杆(12)的外圆壁面滑动设置。

4.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，其特征在于：两个所述紧固螺栓(14)的外圆壁面均螺纹连接有六角螺母(17)。

5.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，其特征在于：两个所述内六角螺栓(6)的一端均固定有推力球轴承(19)，所述推力球轴承(19)的一侧固定有固定环(18)，所述固定环(18)的一侧开设有避让槽，所述内六角螺栓(6)的一端开设有第四螺纹孔(24)，所述固定环(18)的避让槽内部插设有塞打螺栓(20)，所述塞打螺栓(20)的一端分别贯穿固定环(18)的内部、推力球轴承(19)的内部，并与第四螺纹孔(24)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种平面靶材绑定边距定位可调工装，其特征在于：两个所述支撑条(4)的顶面均开设有两个连接孔(21)，所述连接孔(21)的内部拆设有安装螺栓(22)，所述工作台(1)的顶面开设有第五螺纹孔(23)，所述安装螺栓(22)的一端贯穿连接孔(21)，并与第五螺纹孔(23)螺纹连接。

技术总结
本技术涉及靶材加工的领域，公开了一种平面靶材绑定边距定位可调工装，包括工作台，工作台的顶面固定有背板，背板的顶面开设有刻度，背板的放置有靶材本体，工作台的顶面可拆卸的设置有支撑条，支撑条的一侧开设有第一螺纹孔，第一螺纹孔的内部螺纹连接有内六角螺栓，内六角螺栓的一端与靶材本体的一侧相抵触，靶材本体的顶面设置有两个顶板，顶板的底面固定有两个连接板，其中一个连接板的一侧开设有两个第二螺纹孔，第二螺纹孔的内部螺纹连接有内六角螺钉。在本技术中，通过在靶材本体的四侧分别设置可以调节的定位机构，在保证了定位的精准性同时，可以对不同长度与宽度的靶材本体进行定位，大大增加了装置的适用性。

技术研发人员：石煜,曾墩风,王志强,盛明亮
受保护的技术使用者：芜湖映日科技股份有限公司
技术研发日：20230731
技术公布日：2024/2/21