一种用于蒸发设备的样品悬挂机构的制作方法

本技术涉及一种样品悬挂机构，具体涉及一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，属于钙钛矿电池制备生产。

背景技术：

1、蒸发镀膜设备由真空抽气系统、真空腔体、悬挂机构及其他外围设备组成。真空抽气系统由高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成；真空腔体内配置有蒸发源、加热装置、基片台等部件。

2、目前的技术手段蒸发镀膜设备的样品悬挂机构调节方式都停留于将基片置于样品架上通过调整电源的功率来获取所需要的膜厚，这种方法有较大局限性，调整的区间有限。

技术实现思路

1、基于以上背景，本实用新型的目的在于提供一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，解决背景技术中所述的问题。

2、为了实现上述实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案：

3、一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，该机构包括腔室上盖，所述腔室上盖中央开设有第一通孔，所述第一通孔内滑动连接有悬挂组件，所述悬挂组件与第一通孔之间设置有密封件，所述密封件固定在第一通孔内，所述悬挂组件底部设置有固定组件，所述悬挂组件上设置有直线组件，所述悬挂组件可通过直线组件的带动上下运动，所述悬挂组件顶部固定连接有旋转组件。

4、作为优选，所述直线组件包括直线电机，所述直线电机包含定子，所述定子上设置有动子，所述定子与动子同侧均固定连接有限位传感器，所述动子上与设置限位传感器相反的侧面上固定连接有位置反馈装置，所述动子上远离与定子滑接面一面上固定连接有凹型连接板，所述凹型连接板上开设有固定孔，所述固定孔与悬挂组件固定连接。

5、作为优选，所述悬挂组件包括悬挂主体，所述悬挂主体固定连接凹型连接板上开设的固定孔内，所述悬挂主体上转动连接有转轴，所述转轴贯穿悬挂主体，所述转轴顶部延伸出悬挂主体部分靠近顶端位置套接有从动轮，所述转轴底部延伸出旋转主体一端面上固定连接有安装圆板，所述安装圆板位于腔室上盖下端，所述转轴底部延伸出旋转主体一端与第一通孔内的密封件滑动连接，所述安装圆板底部固定连接有基片台。

6、作为优选，所述固定组件包括样品架，所述样品架包含顶板，所述顶板底部两侧固定连接有l型安装板，所述l形连接板后端固定连接有挡板，所述l型安装板上固定连接有弧型弹性卡件。

7、作为优选，所述旋转组件包括固定板，所述固定板固定连接在悬挂主体顶部，所述固定板上开设有第二通孔，第二通孔可供转轴通过，所述固定板上远离第二通孔位置开设有第三通孔，所述固定板上开设的第三通孔位置底部固定连接有电机，所述电机输出轴延伸出第三通孔，所述电机的输出轴上套接有主动轮。

8、与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

9、本实用新型的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，通过设置直线组件，直线电机启动使得动子做线性运动，可带动悬挂组件整体做线性运动从而来调节蒸发距离，在此过程中位置反馈装置配合蒸发镀膜设备的plc程序可在实验过程中实时调节参数，限位传感器检测和限制直线组件的运动范围，从而确保动子在安全范围内运行，确保在不破坏蒸发镀膜设备腔室气密性的前提下稳定调节。

技术特征：

1.一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：该机构包括腔室上盖(1)，所述腔室上盖(1)中央开设有第一通孔(6)，所述第一通孔(6)内滑动连接有悬挂组件(3)，所述悬挂组件(3)与第一通孔(6)之间设置有密封件(7)，所述密封件(7)固定在第一通孔(6)内，所述悬挂组件(3)底部设置有固定组件(4)，所述悬挂组件(3)上设置有直线组件(2)，所述悬挂组件(3)可通过直线组件(2)的带动上下运动，所述悬挂组件(3)顶部固定连接有旋转组件(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述直线组件(2)包括直线电机(201)，所述直线电机(201)包含定子(202)，所述定子(202)上设置有动子(203)，所述定子(202)与动子(203)同侧均固定连接有限位传感器(204)，所述动子(203)上与设置限位传感器(204)相反的侧面上固定连接有位置反馈装置(205)，所述动子(203)上远离与定子(202)滑接面一面上固定连接有凹型连接板(206)，所述凹型连接板(206)上开设有固定孔(207)，所述固定孔(207)与悬挂组件(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述悬挂组件(3)包括悬挂主体(301)，所述悬挂主体(301)固定连接凹型连接板(206)上开设的固定孔(207)内，所述悬挂主体(301)上转动连接有转轴(302)，所述转轴(302)贯穿悬挂主体(301)，所述转轴(302)顶部延伸出悬挂主体(301)部分靠近顶端位置套接有从动轮(303)，所述转轴(302)底部延伸出旋转主体一端顶面上固定连接有安装圆板(304)，所述安装圆板(304)位于腔室上盖(1)下端，所述转轴(302)底部延伸出旋转主体一端与第一通孔(6)内的密封件(7)滑动连接，所述安装圆板(304)底部固定连接有基片台(305)。

4.根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述固定组件(4)包括样品架(401)，所述样品架(401)包含顶板(402)，所述顶板(402)底部两侧固定连接有l型安装板(403)，所述l型安装板后端固定连接有挡板(404)，所述l型安装板(403)上固定连接有弧型弹性卡件(405)。

5.根据权利要求1所述的一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，其特征在于：所述旋转组件(5)包括固定板(501)，所述固定板(501)固定连接在悬挂主体(301)顶部，所述固定板(501)上开设有第二通孔(502)，所述第二通孔(502)可供转轴(302)通过，所述固定板(501)上远离第二通孔(502)位置开设有第三通孔(503)，所述固定板(501)上开设的第三通孔(503)位置底部固定连接有电机(504)，所述电机(504)输出轴延伸出第三通孔(503)，所述电机(504)的输出轴上套接有主动轮(505)。

技术总结
本技术提供一种用于蒸发设备的样品悬挂机构，该机构包括腔室上盖，腔室上盖中央开设有第一通孔，第一通孔内滑动连接有悬挂组件，悬挂组件与第一通孔之间设置有密封件，密封件固定在第一通孔内，悬挂组件底部设置有固定组件，悬挂组件上设置有直线组件。本技术通过设置直线组件，直线电机启动使得动子做线性运动，可带动悬挂组件整体做线性运动从而来调节蒸发距离，在此过程中位置反馈装置配合蒸发镀膜设备的PLC程序可在实验过程中实时调节参数，限位传感器检测和限制直线组件的运动范围，从而确保动子在安全范围内运行，确保在不破坏蒸发镀膜设备腔室气密性的前提下稳定调节。

技术研发人员：郭家俊,陈凌延
受保护的技术使用者：杭州鼎能光电科技有限公司
技术研发日：20230822
技术公布日：2024/1/15