1.一种制备经掺杂纤锌矿型铝氮化物压电薄膜材料的方法，该方法包括下列步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述靶材材料的所述第一层在未对所述衬底进行任何临时处理的情况下被沉积于所述衬底上。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述第一阈值大于90ev，优选在100ev–160ev的范围内。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述第二阈值小于90ev，优选在40ev–80ev的范围内。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述等离子体颗粒的所述动能从由所述等离子体颗粒所沉积的所述层中的应力推导出，且其中在沉积所述第一层时，通过将所述第一层中的所述应力保持低于-500mpa，优选低于-1000mpa而使所述等离子体颗粒的所述动能高于所述第一阈值。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述等离子体颗粒的所述动能从由所述等离子体颗粒所沉积的所述层中的应力推导出，且其中在沉积所述第二层时，通过将所述第二层中的所述应力保持高于-500mpa，优选在-400mpa to+600mpa的范围内而使所述等离子体颗粒的所述动能低于所述第二阈值。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述靶材材料的所述第一层的厚度落在10nm至50nm的范围内。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述掺杂元素的浓度为所述靶材材料的至少20％。