一种自动定位传输系统的制作方法

本申请涉及碳化硅外延，具体涉及一种自动定位传输系统。

背景技术：

1、化学气相沉积(cvd：chemical vapor deposition)外延系统由于温度低、易控制、薄膜均匀性好，已成为制备碳化硅(sic)外延薄膜的主要方法，sic外延炉主要分为水平式、垂直式、行星式，对于水平式碳化硅外延炉，碳化硅外延片在生长前需要将装载碳化硅衬底片的石墨托盘用石英机械手传送至工艺腔内的旋转基座上，再继续进行其他工艺步骤。

2、水平式碳化硅外延炉长满几百微米以后就需要进行周期性维护，维护后需要将清理好的石墨托盘放入腔室并重新组装，在重新组装过程中，机械手与旋转基座之间通常会发生一定的偏差，导致装载碳化硅衬底片的石墨托盘无法精准配合旋转基座，即石墨托盘在腔室的位置对比上个周期的位置会产生一定的偏差，此时若直接继续进行外延工艺，石墨托盘会旋转的极其不均匀，造成工艺变动，影响产品质量，因此，在周期性维护后，传输石墨托盘重新组装的过程中，需要对石墨托盘的位置进行校准定位。

3、但是，现有的石墨托盘的校准方式存在以下缺陷：每次周期性维护后通常通过人工手动重新校准机械手在工艺腔内所有点位位置，该校准方式较为耗费时间，影响生产效率。

技术实现思路

1、本申请的一个目的在于提供一种实施方便、适用性高、能够实现精准传输的自动定位传输系统。

2、为达到以上目的，本申请采用的技术方案为：一种自动定位传输系统，包括适于进出反应腔室的传输设备和设置于传输设备上的至少一个定位器，所述反应腔室内在所述传输设备的传输路径上形成有至少一个感应部，所述定位器适于跟随所述传输设备经过所述感应部，所述定位器适于感应与所述感应部之间的距离，所述定位器配置有预设距离，所述传输设备适于在所述定位器感应到与所述感应部之间的距离为预设距离时停止。

3、在一些实施例中，所述定位器的数量为多个，所述定位器沿所述传输设备的传输路径方向布置，所述定位器适于跟随所述传输设备依次经过所述感应部，所述定位器分别配置成为多种预设距离，所述传输设备适于在全部所述定位器感应到与所述感应部之间的距离分别为对应配置的预设距离时停止。

4、在一些实施例中，所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有多个高度不同的感应区，依据所述定位器经过其中至少两个所述感应区时与当前所述感应区之间的距离分别为不同所述定位器配置不同预设距离。

5、在一些实施例中，所述定位器的数量为两个，两个所述定位器分别配置为第一预设距离和第二预设距离，所述传输设备适于在两个所述定位器感应到与所述感应部之间的距离分别为第一预设距离和第二预设距离时停止。

6、在一些实施例中，所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有两个高度不同的感应区，依据所述定位器经过两个所述感应区时与当前所述感应区之间的距离分别为两个所述定位器配置两种预设距离。

7、在一些实施例中，所述感应区所在平面与所述定位器的感应方向交叉或垂直。

8、在一些实施例中，所述反应腔室内设置有旋转基座，所述传输设备适于向所述旋转基座输送托盘，所述感应部为所述旋转基座的一部分。

9、在一些实施例中，所述旋转基座的边沿具有台阶结构，所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有两个高度不同的感应区，两个所述感应区分别位于所述旋转基座的台阶结构的较高侧和较低侧；所述定位器为两个时，两个定位器之间的距离不大于所述旋转基座的台阶结构的宽度。

10、在一些实施例中，所述传输设备包括机械手，所述机械手适于输送托盘，所述机械手适于使所述托盘相对所述定位器固定，所述定位器设置于所述机械手朝向所述感应部一侧。

11、在一些实施例中，所述机械手的输送方向包括第一方向和第二方向，所述第一方向平行于所述托盘放置平面，所述第二方向垂直于所述托盘放置平面，多个所述定位器至少在所述第一方向上间隔设置。

12、与现有技术相比，本申请的有益效果在于：本申请的自动定位传输系统能够在传输过程中，根据反应腔室内的固定结构，例如旋转基座等的尺寸结构，结合固定尺寸的石墨托盘，通过传输设备上的定位器，测试出定位器到旋转基座之间的距离，来判断石墨托盘是否位于旋转基座的正上方，从而精准的将石墨托盘放置在旋转基座的正中心，以上过程将校准过程结合至传输过程中，有利于节省周期性维护时间，提升生产效率，并能减少工艺波动问题，同时无需改造反应腔室的结构，只需改造传输设备的结构，改造成本低，适用性强。

技术特征：

1.一种自动定位传输系统，其特征在于：包括适于进出反应腔室的传输设备和设置于传输设备上的至少一个定位器，所述反应腔室内在所述传输设备的传输路径上形成有至少一个感应部，所述定位器适于跟随所述传输设备经过所述感应部，所述定位器适于感应与所述感应部之间的距离，所述定位器配置有预设距离，所述传输设备适于在所述定位器感应到与所述感应部之间的距离为预设距离时停止。

2.如权利要求1所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述定位器的数量为多个，所述定位器沿所述传输设备的传输路径方向布置，所述定位器适于跟随所述传输设备依次经过所述感应部，所述定位器分别配置成为多种预设距离，所述传输设备适于在全部所述定位器感应到与所述感应部之间的距离分别为对应配置的预设距离时停止。

3.如权利要求2所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有多个高度不同的感应区，依据所述定位器经过其中至少两个所述感应区时与当前所述感应区之间的距离分别为不同所述定位器配置不同预设距离。

4.如权利要求2所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述定位器的数量为两个，两个所述定位器分别配置为第一预设距离和第二预设距离，所述传输设备适于在两个所述定位器感应到与所述感应部之间的距离分别为第一预设距离和第二预设距离时停止。

5.如权利要求4所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有两个高度不同的感应区，依据所述定位器经过两个所述感应区时与当前所述感应区之间的距离分别为两个所述定位器配置两种预设距离。

6.如权利要求3或5所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述感应区所在平面与所述定位器的感应方向交叉或垂直。

7.如权利要求1所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述反应腔室内设置有旋转基座，所述传输设备适于向所述旋转基座输送托盘，所述感应部为所述旋转基座的一部分。

8.如权利要求7所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述旋转基座的边沿具有台阶结构，所述感应部在所述传输设备的传输路径上具有两个高度不同的感应区，两个所述感应区分别位于所述旋转基座的台阶结构的较高侧和较低侧；所述定位器为两个时，两个定位器之间的距离不大于所述旋转基座的台阶结构的宽度。

9.如权利要求1所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述传输设备包括机械手，所述机械手适于输送托盘，所述机械手适于使所述托盘相对所述定位器固定，所述定位器设置于所述机械手朝向所述感应部一侧。

10.如权利要求9所述的一种自动定位传输系统，其特征在于：所述机械手的输送方向包括第一方向和第二方向，所述第一方向平行于所述托盘放置平面，所述第二方向垂直于所述托盘放置平面，多个所述定位器至少在所述第一方向上间隔设置。

技术总结
本申请公开了一种自动定位传输系统，包括适于进出反应腔室的传输设备和设置于传输设备上的至少一个定位器，反应腔室内在传输设备的传输路径上形成有至少一个感应部，定位器适于跟随传输设备经过感应部，定位器适于感应与感应部之间的距离，定位器配置有预设距离，传输设备适于在定位器感应到与感应部之间的距离为预设距离时停止，本申请具有实施方便、适用性高、能够实现精准传输的特点。

技术研发人员：王紫恒,浩瀚,赵新田,周勋
受保护的技术使用者：宁波合盛新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/10