一种隔离PECVD放电区的装置的制作方法

本发明涉及光伏，具体涉及一种隔离pecvd放电区的装置。

背景技术：

1、等离子体增强化学气相沉积设备pecvd,是常用的制造光电单元中各层硅薄膜的方法，等离子体增强化学气相沉积设备pecvd作为新型平板显示、晶硅太阳能电池及半导体相关领域核心设备之一，其放电区是pecvd设备的最重要组成部分，放电区由喷淋电极、地电极以及喷淋电极与地电极之间的空间构成，工艺气体通过喷淋电极中的喷淋通道进入到放电区后被电离，形成等离子体后到达工件表面在工件表面发生化学反应、沉积均发生在此区域。目前行业上对于放电区有采用开放的放电区，也有采用封闭的放电区，开放的放电区设备相对较简单，但镀膜的均匀性受镀膜工件的尺寸影响，均匀性相对较差，封闭的放电区设备相对较复杂，不具有广泛的实用性。

技术实现思路

1、发明提出了一种隔离pecvd放电区的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。

2、根据本发明的一个方面，提供了一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。

3、进一步地，在所述固定部与所述移动部之间还设置弹簧机构。

4、进一步地，所述旋转杆设置于所述移动连杆的外侧。

5、进一步地，所述旋转杆具有弯折部。

6、进一步地，所述固定部的长度大于所述移动部的长度。

7、由上述本发明提供的技术方案可以看出，采用本发明，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。通过在装置内部的连杆机构形成直线移动机构，将地电极、喷淋电极、工件和载板等组件连接起来，形成一个封闭的放电区，通过装置内部的弹簧机构使放电区的封闭更紧固。结构简单，所占空间小，实用型较强，而且能有效的实现放电区的密封。

8、上述说明仅是本发明技术的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

技术特征：

1.一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。

2.根据权利要求1所述的隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，在所述固定部与所述移动部之间还设置弹簧机构。

3.根据权利要求1所述的隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，所述旋转杆设置于所述移动连杆的外侧。

4.根据权利要求3所述的隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，所述旋转杆具有弯折部。

5.根据权利要求1所述的隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，所述固定部的长度大于所述移动部的长度。

技术总结
本发明公开了一种隔离PECVD放电区的装置，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。通过在装置内部的连杆机构形成直线移动机构，将地电极、喷淋电极、工件和载板等组件连接起来，形成一个封闭的放电区。本发明的优点是：结构简单，所占空间小，实用型较强，而且能有效的实现放电区的密封。

技术研发人员：张迎春,赵永飞,白仁华
受保护的技术使用者：捷造科技（宁波）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/22