双门闸阀装置及具双门闸阀装置的镀膜设备的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种闸阀装置，特别是涉及一种双门闸阀装置及具双门闸阀装置的镀膜设备。
【背景技术】
[0002]物理气相沉积(Physical Vapor Deposit1n，PVD)是一种在高真空度的沉积环境中，利用物理变化在一个工件上沉积薄膜的技术。其中，为了让该工件得以由常压进出该沉积环境，镀膜设备必须借由一个闸阀装置进行渐进式真空隔绝，并利用该闸阀装置使该沉积环境恢复高度气密的状态，而能持续进行真空镀膜制程。然而，该闸阀装置容易因长时间受到溢镀而累积厚膜，从而降低隔绝效果，造成该沉积环境真空度劣化，进而影响到镀膜质量。
[0003]此外，有如图1所公开的一种镀膜设备，包含一个用于进行沉积镀膜的制程腔91、一个卸除腔92、一个介于该制程腔91与该卸除腔92之间的缓冲腔93，及多个设置于所述腔体之间的闸阀94。借由该缓冲腔93的设置，虽然可以避免邻近该卸除腔92的闸阀94受到溢镀，以维持对该制程腔91的气密隔绝，但是所述腔体需要个别地连接一个负压源(图未示)以建构渐进式负压环境，因而增加了该镀膜设备的建置成本及占地面积。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种双重隔离以维持气密效果的双门闸阀装置。
[0005]本发明的双门闸阀装置，包含一个基座、两个闸门单元，及一个输送单元。
[0006]该基座包括一个环腔壁、一个位于该环腔壁一端且具有一个入阀口的入口端壁、一个位于该环腔壁另一端且具有一个出阀口的出口端壁、一个介于该入口端壁与该出口端壁之间且具有一个间阀口的间隔壁，及一个抽气孔。该环腔壁、该入口端壁与该间隔壁之间共同界定出一个缓冲腔。该环腔壁、该间隔壁与该出口端壁之间共同界定出一个衔接腔。该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm。该缓冲腔与该抽气孔相通。
[0007]所述闸门单元分别对应设置于该缓冲腔内与该衔接腔内，且分别用于启闭该入阀口与该间阀口。
[0008]该输送单元包括一支能枢转地设置于该缓冲腔内的输送滚轴。
[0009]较佳地，每一个闸门单元包括一支能枢转地安装于该基座的转动轴、一扇与该转动轴连动地结合的闸板，及一个安装于该基座并连结于该转动轴的驱动器。该驱动器能驱动该转动轴在一个封闭位置及一个开启位置之间转动。当设置于该缓冲腔的闸门单元的转动轴在该封闭位置时，该闸门单元的闸板封闭该入阀口。当该转动轴在该开启位置时，该闸板开启该入阀口。当设置于该衔接腔的闸门单元的转动轴在该封闭位置时，该闸门单元的闸板封闭该间阀口。当该转动轴在该开启位置时，该闸板开启该间阀口。
[0010]较佳地，该环腔壁具有一个壁本体、一片缓冲腔封板，及一片衔接腔封板。该壁本体包括一个连通该缓冲腔并受该缓冲腔封板封闭的缓冲腔维修口，及一个连通该衔接腔并受该衔接腔封板封闭的衔接腔维修口。
[0011]较佳地，每一个闸门单元的驱动器为一个压缸及一支连杆的组合。该压缸的一个缸体枢接于该基座。该连杆枢接于该转动轴与该压缸的一支活塞杆之间。
[0012]较佳地，该输送单元还包括一个用于带动该输送滚轴产生转动的马达。
[0013]本发明的另一个目的在于提供一种能精简设备而降低建置成本的具双门闸阀装置的镀膜设备。
[0014]本发明的具双门闸阀装置的镀膜设备，包含一个腔体单元、一个双门闸阀装置，及一组真空管路。
[0015]该腔体单元包括一个制程腔、一个与该制程腔间隔设置的卸除腔、一个使该制程腔保持负压的第一负压源，及一个使该卸除腔保持负压的第二负压源。
[0016]该双门闸阀装置包括一个基座、两个闸门单元，及一个输送单元。该基座具有一个环腔壁、一个位于该环腔壁一端且包括一个入阀口的入口端壁、一个位于该环腔壁另一端且包括一个出阀口的出口端壁、一个介于该入口端壁与该出口端壁之间且包括一个间阀口的间隔壁，及一个抽气孔。该环腔壁、该入口端壁与该间隔壁之间共同界定出一个缓冲腔。该环腔壁、该间隔壁与该出口端壁之间共同界定出一个衔接腔。该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm。该入口端壁气密地连接于该制程腔。该出口端壁气密地连接于该卸除腔。该缓冲腔与该抽气孔相通。所述闸门单元分别对应设置于该缓冲腔内与该衔接腔内，且分别用于启闭该入阀口与该间阀口。该输送单元具有一支能枢转地设置于该缓冲腔内的输送滚轴。
[0017]该真空管路一端连接于该抽气孔，另一端连接于该第二负压源。
[0018]较佳地，每一个闸门单元具有一支能枢转地安装于该基座的转动轴、一扇与该转动轴连动地结合的闸板，及一个安装于该基座并连结于该转动轴的驱动器。该驱动器能驱动该转动轴在一个封闭位置及一个开启位置之间转动。当设置于该缓冲腔的闸门单元的转动轴在该封闭位置时，该闸门单元的闸板封闭该入阀口。当该转动轴在该开启位置时，该闸板开启该入阀口。当设置于该衔接腔的闸门单元的转动轴在该封闭位置时，该闸门单元的闸板封闭该间阀口。当该转动轴在该开启位置时，该闸板开启该间阀口。
[0019]较佳地，该环腔壁包括一个壁本体、一片缓冲腔封板，及一片衔接腔封板。该壁本体包括一个连通该缓冲腔并受该缓冲腔封板封闭的缓冲腔维修口，及一个连通该衔接腔并受该衔接腔封板封闭的衔接腔维修口。
[0020]较佳地，每一个闸门单元的驱动器为一个压缸及一支连杆的组合。该压缸的一个缸体枢接于该基座。该连杆枢接于该转动轴与该压缸的一支活塞杆之间。
[0021]较佳地，该输送单元还具有一个用于带动该输送滚轴产生转动的马达。
[0022]本发明的有益效果在于:所述闸门单元分别启闭该入阀口与该间阀口，产生双重隔离以维持气密效果。另外，该入口端壁与该出口端壁的距离不大于500mm，使该镀膜设备的占地面积缩减，以及借由该缓冲腔共享该第二负压源以精简负压设备，使该镀膜设备的建置成本得以降低。
【附图说明】
[0023]本发明的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中:
[0024]图1是一个前视图，说明一个现有镀膜设备；
[0025]图2是一个前视图，说明本发明具双门闸阀装置的镀膜设备的一个实施例；
[0026]图3是一个剖视图，说明一个工件在该实施例中，由一个制程腔移至一个缓冲腔时，两个闸门单元的启闭状态；
[0027]图4是一个剖视图，说明该工件在该实施例中，由该缓冲腔移至一个卸除腔时，所述闸门单元的启闭状态；
[0028]图5是一个沿图2中的剖切线V-V的局部剖面图，说明本发明双门闸阀装置的一个实施例中的一个闸门单元及一个输送单元；
[0029]图6是一个沿图5中的剖切线V1-VI的局部剖面图，说明该实施例中的两个闸门单元分别安装于一个缓冲腔内及一个衔接腔内；
[0030]图7是一个沿图5中的剖切线VI1-VII的剖面图，说明该实施例。
【具体实施方式】
[0031]参阅图5与图7，本发明双门闸阀装置2的一个实施例包含一个基座3、两个闸门单元4，及一个输送单元5。
[0032]参阅图7，该基座3包括一个环腔壁31、一个位于该环腔壁31 —端且具有一个入阀口 321的入口端壁32、一个位于该环腔壁31另一端且具有一个出阀口 331的出口端壁
33、一个介于该入口端壁32与该出口端壁33之间且具有一个间阀口 341的间隔壁34，及一个抽气孔35。该入口端壁32与该出口端壁33的距离不大于500mm。该环腔壁31、该入口端壁32与该间隔壁34之间共同界定出一个缓冲腔71。该环腔壁31、该间隔壁34与该出口端壁33之间共同界定出一个衔接腔72。该环腔壁31具有一个壁本体311、一片缓冲腔封板312，及一片衔接腔封板313。该壁本体311包括一个连通该缓冲腔71并受该缓冲腔封板312封闭的缓冲腔维修口 314，及一个连通该衔接腔72并受该衔接腔封板313封闭的衔接腔维修口 315。该缓冲腔71与该抽气孔35相通。
[0033]参阅图2与图6，所述闸门单元4分别对应设置于该缓冲腔71内与该衔接腔72内，且分别用于启闭该入阀口 321与该间阀口 341。每一个闸门单元4包括一支能枢转地安装于该基座3的转动轴41、一扇与该转动轴41连动地结合的闸板42，及一个安装于该基座3并连结于该转动轴41的驱动器43。每一个闸门单元4的驱动器43为一个压缸431及一支连杆432的组合。该压缸431的一个缸体433枢接于该基座3，而该连杆432枢接于该转动轴41与该压缸431的一支活塞杆434之间。该驱动器43能驱动该转动轴41在一个封闭位置及一个开启位置之间转动。
[0034]参阅图5，该输送单元5包括一支能枢转地设置于该缓冲腔71内的输送滚轴51，及一个用于带动该输送滚轴51产生转动的马达52。
[0035]借此，当设置于该缓冲腔71的闸门单元4的活塞杆434收回该缸体433时，枢接于该活塞杆434的连杆432连带转动该转动轴41至该封闭位置，使该闸门单元4的闸板42封闭