喷淋实验设备的制造方法

文档序号:10484146阅读:345来源:国知局
喷淋实验设备的制造方法
【专利摘要】本发明涉及喷淋实验设备,属于电子元器件蚀刻装置领域。包括:机架,设置于机架上的卡板槽,所述卡板槽上设置有可滑动的卡板,所述卡板的两侧对称的设置有喷淋装置,所述喷淋装置通过喷淋管路与泵体连接,所述泵体与药水储存装置相连。因此,本发明具有如下优点:1.设计合理,结构简单,安全性高且完全实用;2.腐蚀均匀并且腐蚀速度快,能显著提高生产效率。
【专利说明】
喷淋实验设备
技术领域
[0001 ]本发明涉及喷淋实验设备,属于电子元器件蚀刻装置领域。
【背景技术】
[0002]喷淋实验设备可以分为化学喷淋实验设备及电解喷淋实验设备两类,在化学喷淋中是使用化学溶液,经由化学反应达到蚀刻的目的。化学喷淋是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
[0003]喷淋实验设备主要应用于航空、机械、标牌工业中,喷淋实验设备技术广泛地被使用于减轻重量(WeightReduct 1n)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。也可对各种金属如:铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌版、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状,并能精确镂空。也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割,如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。
[0004]目前,市场上所见到的自动型化学喷淋实验设备是通过高压喷淋及被蚀刻直线运动形成连续不间断进料状态进行对工作腐蚀以提高生产效率,但腐蚀不均匀,合格率低,腐蚀速度慢。
[0005]另外,还有喷淋实验设备,一般采用人工或机械手将装有被腐蚀硅片的篮筐放入蚀刻槽中,人工或机械手将篮筐上下或左右的震动方式作业,也常造成腐蚀不均匀,合格率低,腐蚀速度慢、清洗不均匀的问题。

【发明内容】

[0006]本发明主要是解决现有技术所存在的上述的的技术问题,提供了喷淋实验设备。该喷淋实验设备设计合理,结构简单,安全性高且完全实用,腐蚀均匀并且腐蚀速度快,能显著提高生产效率。
[0007]本发明的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
[0008]喷淋实验设备,包括:机架,设置于机架上的卡板槽,所述卡板槽上设置有可滑动的卡板,所述卡板的两侧对称的设置有喷淋装置,所述喷淋装置通过喷淋管路与栗体连接,所述栗体与药水储存装置相连。
[0009]优化的,上述的喷淋实验设备,所述喷淋管路上设置有球阀压力调节装置以及压力表。
[0010]优化的,上述的喷淋实验设备,所述喷淋装置安装于喷淋架上,所述喷淋架上设置有用于控制喷淋架前后摆动的第一电机和用于控制喷淋架左右摆动的第二电机。
[0011]优化的,上述的喷淋实验设备,所述机架上设置有抽气管,所述抽气管上设置有冷凝盒。
[0012]优化的,上述的喷淋实验设备,所述栗体与药水储存装置相连的栗入口处设置有可拆卸的过滤网。
[0013]优化的,上述的喷淋实验设备,所述喷淋装置包括排成4列的24个喷嘴芯。
[0014]因此,本发明具有如下优点:1.设计合理,结构简单,安全性高且完全实用;2.腐蚀均匀并且腐蚀速度快,能显著提高生产效率。
【附图说明】
[0015]图1为本发明的结构示意图。
[0016]图2为图1的侧视结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面通过实施例,并结合附图,对本发明的技术方案作进一步具体的说明。
[0018]图中,机架1、卡板槽2、卡板3、喷淋装置4、喷淋管路5、栗体6、球阀压力调节装置7、压力表8、控制喷淋架9、第一电机10、第二电机11、抽气管12、冷凝盒13。
[0019]实施例:
[0020]喷淋实验设备,包括:机架I,设置于机架I上的卡板槽2,卡板槽2上设置有可滑动的卡板3,卡板3的两侧对称的设置有喷淋装置4,喷淋装置4通过喷淋管路5与栗体6连接,栗体6与药水储存装置相连。喷淋管路5上设置有球阀压力调节装置7以及压力表8。喷淋装置4安装于喷淋架9上,喷淋架9上设置有用于控制喷淋架9前后摆动的第一电机10和用于控制喷淋架9左右摆动的第二电机11。机架I上设置有抽气管12,抽气管12上设置有冷凝盒13。
[0021]本实施例的栗体6与药水储存装置相连的栗入口处设置有可拆卸的过滤网,喷淋装置4包括排成4列的24个喷嘴芯。
[0022]采用上述结构后,因此,本实施例具有如下优点:1.设计合理,结构简单,安全性高且完全实用;2.腐蚀均匀并且腐蚀速度快,能显著提高生产效率。
[0023]本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
[0024]尽管本文较多地使用了机架1、卡板槽2、卡板3、喷淋装置4、喷淋管路5、栗体6、球阀压力调节装置7、压力表8、控制喷淋架9、第一电机1、第二电机11、抽气管12、冷凝盒13等术语,但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质;把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。
【主权项】
1.喷淋实验设备,其特征在于,包括:机架(I),设置于机架(I)上的卡板槽(2),所述卡板槽(2)上设置有可滑动的卡板(3),所述卡板(3)的两侧对称的设置有喷淋装置(4),所述喷淋装置(4)通过喷淋管路(5)与栗体(6)连接,所述栗体(6)与药水储存装置相连。2.根据权利要求1所述的喷淋实验设备,其特征在于,所述喷淋管路(5)上设置有球阀压力调节装置(7)以及压力表(8)。3.根据权利要求1所述的喷淋实验设备,其特征在于,所述喷淋装置(4)安装于喷淋架(9)上,所述喷淋架(9)上设置有用于控制喷淋架(9)前后摆动的第一电机(10)和用于控制喷淋架(9)左右摆动的第二电机(11)。4.根据权利要求1所述的喷淋实验设备,其特征在于,所述机架(I)上设置有抽气管(12),所述抽气管(12)上设置有冷凝盒(13)。5.根据权利要求1所述的喷淋实验设备,其特征在于,所述栗体(6)与药水储存装置相连的栗入口处设置有可拆卸的过滤网。6.根据权利要求1所述的喷淋实验设备,其特征在于,所述喷淋装置(4)包括排成4列的24个喷嘴芯。
【文档编号】C23F1/08GK105839107SQ201610463902
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2016年6月22日
【发明人】盛明经, 陈兵
【申请人】武汉创新特科技有限公司
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