一种引弧气缸限位机构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及真空镀膜设备，具体涉及一种引弧气缸限位机构。
【背景技术】
[0002]随着社会发展，科技进步人们对各种材料的应用也有了各种各样的要求。所以在基材表面涂上一层保护性涂层是提高材料表面性能的一种经济实用的有效途径，保护性涂层作为机械功能膜的一个重要分支，在工业领域中应用广泛。多弧离子镀作为镀膜行业的一个重要分支应用也越来越广泛。多弧离子镀蒸发源是由水冷阴极、磁场和引弧电级等组成。弧源工作需先引弧，引弧机构作为一个重要组成部分要保证引弧稳定，密封性好，维护方便。目前大部分厂家都使用气缸来实现这一功能，应用气缸实现了引弧后马上脱开的要求有效的防止了粘弧现象的产生。
[0003]目前可选的引弧气缸主要有导向气缸、旋转气缸和普通气缸。
[0004]1、导向气缸可以保证引弧位置一致性，引弧稳定问题少。但使用该气缸在维护弧源拆卸靶材时不方便。
[0005]2.旋转气缸位置不方便控制。
[0006]3.普通气缸引弧过程中弧针会动，影响再次引弧。
【发明内容】
[0007]针对现有技术存在的不足，本发明提供了一种引弧气缸限位机构，该机构解决了普通气缸引弧时弧针位置不确定的问题，同时应用该机构也不影响弧源清理以及靶材拆卸更换。
[0008]为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种引弧气缸限位机构，包括气缸和座，所述气缸与座之间通过内六角螺钉连接，所述座顶部设有压板，所述压板通过十字槽螺钉与座相连，所述座内置有限位柱，所述限位柱两内侧设有弹簧，所述限位柱与活塞杆的加工表面接触，所述活塞杆一端穿过气缸和座，所述活塞杆的另一端与靶材连接，所述靶材的顶部与引弧针相连。
[0009]进一步，所述弹簧均镶嵌在座上，所述弹簧顶端紧顶压板，所述弹簧底端紧顶活塞杆。
[0010]进一步，所述弹簧的弹簧力为锁紧力，当外部作用力大于弹簧锁紧力时活塞杆将转动。
[0011]进一步，所述限位柱与座上孔配合，所述限位柱材质为黄铜。
[0012]进一步，所述气缸与弧源连接。
[0013]本实用新型的有益效果是:该机构结构简单、小巧不影响外观；拆卸方便；价格合理；依靠弹簧力使引弧气缸活塞杆限位保证引弧稳定；由于是弹簧力该机构又保证了气缸杆的灵活性因此应用该机构还方便了弧源清理及换靶材工作。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型整体结构示意图；
[0015]图中:1、座，2、压板，3、限位柱，4、弹簧，5、十字槽螺钉，6、气缸，7、引弧针，8、内六角螺钉，9、活塞杆，10、靶材。
【具体实施方式】
[0016]为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合【具体实施方式】，进一步阐述本实用新型。
[0017]如图1所示:一种引弧气缸限位机构，包括气缸和座，所述气缸6与座I之间通过内六角螺钉8连接，所述座I顶部设有压板2，所述压板2通过十字槽螺钉5与座I相连，所述座I内置有限位柱3，所述限位柱3两侧设有弹簧4，所述限位柱3与活塞杆9的加工表面接触，所述活塞杆9 一端穿过气缸6和座1，所述活塞杆9的另一端与靶材10连接，所述靶材10的顶部与引弧针7相连。所述弹簧4均镶嵌在座I上，所述弹簧4顶端紧顶压板2，所述弹簧4底部紧顶活塞杆9 ;所述弹簧4的弹簧力为锁紧力，当外部作用力大于弹簧锁紧力时活塞杆9将转动；所述限位柱3与座I上孔配合，所述限位柱3材质为黄铜；所述气缸(6)与弧源连接。
[0018]气缸6与座I通过内六角螺钉8连接，使他们紧密连接在一起；座I顶部设有压板2，且压板2压紧弹簧4通过十字槽螺钉5与座I相连，给弹簧4很大的压力并使弹簧4底部顶紧限位柱3 ;弹簧4均镶嵌在座I上，弹簧4顶端紧顶压板2，弹簧4底部紧顶活塞杆9，使限位柱3靠在活塞杆9铣扁平面上从而起到防转限位作用并给限位柱3提供弹簧力；弹簧4的弹簧力为锁紧力，当外部作用力大于弹簧锁紧力时活塞杆9将转动，从而方便工作人员对弧源进行维护；限位柱3与座I上孔配合，限位柱3材质为黄铜，当气缸6工作时减少活塞杆9的磨损。
[0019]具体工作原理:当气缸6动作引弧时，活塞杆9向后移动，由于限位柱3端面与活塞杆9所加工平面接触，防转活塞杆9转动从而保证引弧一致性。当对弧源进行维护，拆卸靶材10时引弧针7会影响靶材10拆卸，此时用力旋转弧针7，活塞杆9将克服限位柱3的弹簧力旋转从而解决拆卸靶材10干涉问题。
[0020]采购气缸6时无需做大的改动，只需将气缸6的活塞杆9后端露出部分加工一个相应长度的工艺扁，座I与气缸6连接连接尺寸按气缸配做。
[0021]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种引弧气缸限位机构，包括气缸(6)和座(I )，其特征在于:所述气缸(6)与座(I)之间通过内六角螺钉(8)连接，所述座(I)顶部设有压板(2)，所述压板(2)通过十字槽螺钉(5)与座(10)相连，所述座(I)内置有限位柱(3)，所述限位柱(3)两侧设有弹簧(4)，所述限位柱(3)与活塞杆(9)的加工表面接触，所述活塞杆(9) 一端穿过气缸(6)和座(1)，所述活塞杆(9)的另一端与靶材(10)连接，所述靶材(10)的顶部与引弧针(7)相连。
2.根据权利要求1所述的一种引弧气缸限位机构，其特征在于:所述弹簧(4)均镶嵌在座(I)上，所述弹簧(4)顶端紧顶压板(2)，所述弹簧(4)底端紧顶活塞杆(9)。
3.根据权利要求2所述的一种引弧气缸限位机构，其特征在于:所述弹簧(4)的弹簧力为锁紧力，当外部作用力大于弹簧锁紧力时活塞杆(9)将转动。
4.根据权利要求2所述的一种引弧气缸限位机构，其特征在于:所述限位柱(3)与座(I)上孔配合，且材质为黄铜。
5.根据权利要求1所述的一种引弧气缸限位机构，其特征在于:所述气缸(6)与弧源连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种引弧气缸限位机构，包括气缸和座，所述气缸与座之间通过内六角螺钉连接，所述座顶部设有压板，所述压板通过十字槽螺钉与座相连，所述座内置有限位柱，所述限位柱两侧设有弹簧，所述限位柱与活塞杆的加工表面接触，所述活塞杆一端穿过气缸和座，所述活塞杆的另一端与靶材连接，所述靶材的顶部与引弧针相连。本实用新型的有益效果是：该机构结构简单、小巧不影响外观；拆卸方便；价格合理；依靠弹簧力使引弧气缸活塞杆限位保证引弧稳定；由于是弹簧力该机构又保证了气缸杆的灵活性因此应用该机构还方便了弧源清理及换靶材工作。
【IPC分类】C23C14-32, F15B15-24
【公开号】CN204281847
【申请号】CN201420755204
【发明人】王宝林, 龚健
【申请人】大连维钛克科技股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月5日