二容器2底部的起振装置31可改善“沟流现象”。
[0024]利用上述本实用新型提供的一种MO源瓶，在实际生产时的使用方法如下:
[0025]首先，启动控制装置3，根据MO源饱和蒸汽压的不同，设定恒温槽7温度为20~30°C，液态物质4经由进水管22和出水管23在第二容器2与恒温槽7内循环流动，手动在控制装置3内输入第一容器I中MO源的质量数值，开启第一手动阀111，载气!12/^2通过第一流量计112进入第一容器I底部，同时开启第二手动阀121，运载有MO源的载气通过出气管12及其上的第二流量计122进入MOCVD反应腔内，以进行外延结构的生长，于MOCVD每次待机时，控制装置3通过质量测量装置32测量的第一容器I质量计算MO源总消耗量。
[0026]当MO源5总消耗量大于50%时，控制装置3调控起振装置31开始第一次起振，起振装置31发出的超声波通过液态物质4水传播至第一容器I内，对MO源5产生震荡，以填平MO源5内部形成的“沟流”，改善MO源5使用时的“沟流现象”。起振装置31的工作功率为100W，发出的超声波频率为40kHz，震荡时间约10~60秒，起振装置31可持续提供超声波，也可间歇式的提供超声波，为了提高起振装置31的使用寿命以及节省电力，本实施例优选起振装置31间歇式的提供超声波。起振装置31的间歇时间以MO源的消耗增加量计算，本实施优选间歇时间为MO源的消耗增加量为3%。
[0027]MO源瓶还包括一报警装置33，当MO源总消耗量大于50%时，报警装置33发出警报，控制装置3控制起振装置31第一次启动，并设定此后MO源消耗量每增加3%时，起振装置31起振一次；当MO源总消耗量大于85%时，报警装置33发出持续警报，工作人员更改控制装置3中的震荡参数，并设定此后MO源消耗量每增加1%时，起振装置31起振一次，以提高MO源使用效率或提示人员更换MO源，当MO源总消耗量大于95%时，报警装置33再次发出持续警报，警示工作人员MO源达到更换周期。
[0028]实施例2
[0029]本实施例与实施例1的区别在于，本实施例中固态源5以二茂镁(Cp2Mg)作为镁源，由于镁源质量密度较小，随着载气的通入，二茂镁在流出过程中因发生“扬起”而附着在第一容器I内壁。此外，镁源在MOCVD反应中每炉消耗量较少，约0.012g。因此，参看附图2，将起振装置31位于第二容器2内侧壁上，质量测量装置32放置于第二容器2底部，第一容器I置于质量测量装置32上，控制装置3分别调控起振装置31和质量测量装置32的运作。控制装置3控制起振装置31于镁源总消耗量大于50%时起振装置第一次起振，并调控镁源消耗量每增加0.5%时起振装置起振一次，当镁源总消耗量大于95%时，工作人员更改控制装置3中的震荡参数，并设定此后镁源消耗量每增加0.2%时，起振装置31起振一次。
[0030]位于第二容器2内侧壁上的起振装置31产生的超声波可通过液态物质4的传播对第一容器I侧壁产生震荡作用，使附着于第一容器I内壁上的镁源回落至第一容器I的底部，进而提高镁源使用效率。
[0031]实施例3
[0032]本实施例与实施例1/实施例2的区别在于，在第二容器2的下方安装多个滑动结构8，滑动结构8的数目大于或等于3个。本实施例优选4个滑动结构8设置于第二容器2底部(参看附图3)，滑动结构8通过固定件82将滚轮81固定于第二容器2底部，需移动MO源瓶时将滑动结构8放置于地面，节省MO源瓶在移动过程中的人力，提高人员工作效率，当MO源瓶运输至指定地点后，将滑动结构8收起置于MO源瓶侧壁，增加MO源瓶放置稳定性。
[0033]应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于:所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。
2.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述第一容器为带有密封盖的密封性容器，所述密封盖上部设有进气管和出气管，以及分别位于进气管和出气管上的手动阀和流量计。
3.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述第二容器外部还具有位于不同侧的液体进、出口，所述液体进、出口与液体进、出管路连接。
4.根据权利要求3所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述液体进、出管路与一恒温槽连接，所述恒温槽内盛装有供第二容器使用的液态物质，以稳定所述第二容器内腔室温度。
5.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述第二容器内壁置有一保温层O
6.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述第二容器下方安装有便于移动第二容器的多个滑动结构。
7.根据权利要求6所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述滑动结构的个数等于或大于3。
8.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述起振装置置于所述第二容器的底部或内侧壁上。
9.根据权利要求1所述的一种MO源瓶，其特征在于:所述MO源瓶还包括与所述控制装置连接的报警装置。
【专利摘要】一种MO源瓶，包括盛放固态MO源的第一容器、盛放液态物质的第二容器，所述第一容器放置于所述第二容器内，共用一个封面，其特征在于：所述MO源瓶还包括称量第一容器重量的质量测量装置、产生超声波的起振装置、以及调控所述质量测量装置、起振装置的控制装置；所述质量测量装置置于所述第二容器底部，所述第一容器置于所述质量测量装置上；所述起振装置置于所述第二容器的液态物质内。本实用新型通过质量测量装置测量MO源消耗量，控制装置通过MO源消耗量调控起振装置起振，从而改善固态MO源在使用过程中产生的“沟流或扬起现象”。
【IPC分类】C23C16-18, C23C16-448
【公开号】CN204529977
【申请号】CN201520195230
【发明人】周圣伟, 郭晃亨, 张家宏, 林兓兓
【申请人】安徽三安光电有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年4月2日