新型v字型沉积槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种沉积槽，尤其是一种新型V字型沉积槽。
【背景技术】
[0002]由于在PECVD沉积槽的顶部表面覆盖有能够污染物与沉积槽本体之间的粘合力的喷砂层与等离子层，因此，当沉积槽本体表面粘合的污染物过多时，其污染物会慢慢对喷砂层与等离子层进行腐蚀，从而渗透至沉积槽本体的表面，对其进行腐蚀。
[0003]另外，由于V字型沉积槽本体的底部为尖端部，因此，还具有不便于安装、且通用性差的缺陷。
【发明内容】
[0004]针对上述问题中存在的不足之处，本实用新型提供一种具有良好防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀，并且便于安装、且通用性强的新型V字型沉积槽。
[0005]为实现上述目的，本实用新型提供一种新型V字型沉积槽，包括沉积槽本体(I)、以及覆盖在其顶部表面上的喷砂层(3)与电镀层(4)，在所述沉积槽本体(I)与所述喷砂层
(3)之间还设有防腐层(2)，所述防腐层(2)由环氧富锌涂层(21)、聚脲弹性材料层(22)与密封胶泥层(23)复合构成；
[0006]所述沉积槽本体(I)的底部表面为平面结构。
[0007]上述的新型V字型沉积槽，其中，所述环氧富锌涂层(21)的厚度为50um。
[0008]上述的新型V字型沉积槽，其中，所述聚脲弹性材料层(22)的厚度为70um。
[0009]上述的新型V字型沉积槽，其中，所述沉积槽本体(I)为不锈钢板槽，其厚度为1.2mm0
[0010]与现有技术相比，本实用新型具有以下优点:
[0011]1、本实用新型通过在其顶部表面增加防腐层，从而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀，其中，通过密封胶泥层可将聚脲弹性材料层表面的不规则处进行很好塑形，从而通过喷砂机更好的形成喷砂层；在防腐层中选用聚脲弹性材料，在喷涂时不需要配合任何溶剂，具有附着力好，强度高，抗老化，耐腐蚀，耐冲击性能优良的特占.V，
[0012]2、由于将沉积槽本体的形状由现有的U型结构优化为底部为平面的V字型结构，因此，具有便于安装、且通用性强的特点。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的主视图；
[0014]图2为图1中A部分的放大图。
[0015]主要附图标记说明如下:
[0016]1-沉积槽本体；2_防腐层；21_环氧富锌涂层；22_聚脲弹性材料层；23_密封胶泥层；3-喷砂层；4-电镀层。
【具体实施方式】
[0017]如图1与图2所示，本实用新型包括沉积槽本体1、以及覆盖在其顶部表面上的喷砂层3与电镀层4，其中，沉积槽本体I为不锈钢板槽，其厚度为1.2mm，其底部表面为平面结构。
[0018]在沉积槽本体I与喷砂层3之间还设有防腐层2，防腐层2由环氧富锌涂层21、聚脲弹性材料层22与密封胶泥层23复合构成。其中，环氧富锌涂层21的厚度为50um，聚脲弹性材料层22的厚度为70um。
[0019]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，对发明而言仅仅是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在发明权利要求所限定的精神和范围内可对其进行许多改变，修改，甚至等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种新型V字型沉积槽，包括沉积槽本体(I)、以及覆盖在其顶部表面上的喷砂层(3)与电镀层(4)，其特征在于，在所述沉积槽本体(I)与所述喷砂层(3)之间还设有防腐层(2)，所述防腐层(2)由环氧富锌涂层(21)、聚脲弹性材料层(22)与密封胶泥层(23)复合构成； 所述沉积槽本体(I)的底部表面为平面结构。
2.根据权利要求1所述的新型V字型沉积槽，其特征在于，所述环氧富锌涂层(21)的厚度为50um。
3.根据权利要求2所述的新型V字型沉积槽，其特征在于，所述聚脲弹性材料层(22)的厚度为70um。
4.根据权利要求1至3中任一所述的新型V字型沉积槽，其特征在于，所述沉积槽本体(I)为不锈钢板槽，其厚度为1.2mm。
【专利摘要】本实用新型提供一种新型V字型沉积槽，包括沉积槽本体、以及覆盖在其顶部表面上的喷砂层与电镀层，在沉积槽本体与喷砂层之间还设有防腐层，防腐层由环氧富锌涂层、聚脲弹性材料层与密封胶泥层复合构成；沉积槽本体的底部表面为平面结构。本实用新型通过在其顶部表面增加防腐层，从而使其具有良好的防腐效果，以避免污染物对沉积槽进行腐蚀；由于将沉积槽本体的形状由现有的U型结构优化为底部为平面的V字型结构，因此，具有便于安装、且通用性强的特点。
【IPC分类】C23C16-44
【公开号】CN204529975
【申请号】CN201520031813
【发明人】雷晓宏, 曹海涛
【申请人】北京通嘉宏盛科技有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年1月16日