1.一种臭氧发生装置,包括:
圆筒形的罐状容器;
多个电极管和放电管,所述多个电极管以长度方向沿着该罐状容器的轴向的状态,并排配置在所述罐状容器内,所述放电管设置在这些电极管内,分别形成放电间隙;
一对端板,分别以贯通状态保持所述多个电极管的两端部;
冷却空间,由该一对端板和在该一对端板之间划分而成的所述罐状容器的内表面形成;
冷却介质入口,形成在该冷却空间的一端侧的下部;
冷却介质出口,形成在所述冷却空间的另一端侧的上部;
原料气体入口,设置在所述罐状容器的轴向端部侧,导入原料气体,使所述原料气体从所述放电管的另一端侧送气到所述放电间隙;以及
臭氧气体出口,设置在所述罐状容器的轴向相反一侧,是通过所述放电间隙中的无声放电而从原料气体生成的臭氧气体的出口,
在所述多个电极管中的、因所述无声放电而周围的冷却介质会成为规定温度以上的电极管内不配置所述放电管。
2.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,不配置所述放电管的电极管的至少一端被封闭。
3.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,不配置所述放电管的电极管配置在所述罐状容器的在高度方向上距离下方70%~80%的高度位置上。
4.根据权利要求2所述的臭氧发生装置,不配置所述放电管的所述电极管配置在所述罐状容器的在高度方向上距离下方70%~80%的高度位置上。
5.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,在所述电极管间的内周面形成突起,来保持所述放电管和所述电极之间所形成的放电间隙长。
6.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,在所述冷却介质入口和所述电极管之间设置有缓冲板。
7.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,在所述冷却介质入口设置有在所述一对端板间延伸的供冷却介质通过的多孔板。
8.根据权利要求7所述的臭氧发生装置,所述多孔板是在板材上形成多个细孔而构成的。
9.根据权利要求1所述的臭氧发生装置,在所述冷却介质入口和所述冷却介质出口分别设置有在所述一对端板间延伸的供冷却介质通过的多孔板。
10.根据权利要求7所述的臭氧发生装置,所述多孔板使流经所述电极管的冷却介质在与所述电极管正交的方向上流动。