技术总结
包括：圆筒形的罐状容器；多个电极管和放电管，所述多个电极管以长度方向沿着罐状容器的轴向的状态，并排配置在该罐状容器内，所述放电管设置在这些电极管内，分别形成放电间隙；一对端板，分别以贯通状态保持所述多个电极管的两端部；冷却空间，由该一对端板和在该一对端板之间划分而成的所述罐状容器的内表面形成；冷却介质入口，形成在该冷却空间的一端侧的下部；冷却介质出口，形成在所述冷却空间的另一端侧的上部；原料气体入口，设置在所述罐状容器的轴向端部侧，导入原料气体，使所述原料气体从所述放电管的另一端侧送气到所述放电间隙；以及臭氧气体出口，设置在所述罐状容器的轴向相反一侧，是通过所述放电间隙中的无声放电而从原料气体生成的臭氧气体的出口，在所述多个电极管中的、因所述无声放电而周围的冷却介质会成为规定温度以上的电极管内不配置所述放电管。
技术研发人员：纳田和彦;村田隆昭;高桥良一;久保贵惠
受保护的技术使用者：株式会社东芝
文档号码：201580030278
技术研发日：2015.03.13
技术公布日：2017.02.22