光纤母材的制造方法与流程

本发明涉及一种使用有机硅作为原料的光纤母材的制造方法。

背景技术：

光纤用预型件(光纤母材)例如通过VAD法等使SiO₂烟灰堆积在靶上并对其进行烧结而制造。有作为SiO₂烟灰的原料，使用有机硅代替以往的SiCl₄，使用燃烧器等使有机硅在氢氧火焰中(反应场)燃烧，由此生成SiO₂烟灰的技术(例如，参照专利文献1～3)。通过使用有机硅，与SiCl₄时相比具有不会产生有害的盐酸，并且，需要的氢比以往少等优点。

在此，为了提高SiO₂烟灰的生成速度，需要大量供给有机硅原料。但是，大量的有机硅(高浓度的有机硅气体)难以完全燃烧。因此，在上述反应场中，有机硅的反应变得不充分，杂质凝胶或杂质微粒等附着于燃烧器，或者碳附着于烟灰，或者在烟灰上形成缺陷。因此，通过预先将有机硅与氧气预混合来提高有机硅的反应性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2000－63126号公报(2000年2月29日公开)”

专利文献2：日本国公表专利公报“日本特表2014－520747号公报(2014年8月25日公表)”

专利文献3：日本公开专利公报“日本特开2013－177297号公报(2013年9月9日公报)”

技术实现要素：

然而，在如上所述的现有技术中，存在如下所述的问题。即，含有有机硅的气体的温度有可能因与较低温的氧气的预混合而下降。在形成SiO₂烟灰的反应之前含有有机硅的气体的温度下降则有机硅由于蒸汽压低而液化。如此地有机硅液化则在点火状态下液滴有时可能从燃烧器飞出，因此较为危险。另外，起因于因附着于燃烧器的喷嘴的液滴而发生的气流紊乱，反应后的玻璃微粒在烟灰上未均匀地堆积，光纤母材的品质变差。而且，在最坏的情况下，大量的液滴临时遮挡喷嘴，从而阻碍气体的流出，火焰在燃烧器管内逆行，有可能在燃烧器内部引起爆炸的问题。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于抑制有机硅在形成SiO₂烟灰的反应前液化，进而提高反应的安全性和稳定性地制造光纤母材。

本发明的光纤母材的制造方法包括：预混合工序，在含有气态或雾状的有机硅的含原料气体中预混合氧气；以及，烟灰生成工序，将在所述含原料气体中预混合有所述氧气的预混合原料气体与燃烧用气体分别供给于燃烧器，使其在火焰中反应而生成SiO₂烟灰，其特征在于，在所述预混合工序中，将根据所述预混合原料气体中的所述有机硅的量而确定的所述有机硅的液化温度以上的温度的所述氧气进行预混合。

根据本发明，可抑制有机硅在形成SiO₂烟灰的反应前液化，提高反应的安全性和稳定性地制造光纤母材。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的光纤母材制造用的SiO₂烟灰生成装置的构成的概略图。

图2是表示上述SiO₂烟灰生成装置所具备的燃烧器的出口附近的立体图。

图3是表示为了将OMCTS气化所需的预混合原料气体中所含的OMCTS以外的气体的流量的表。

图4是表示OMCTS的温度与蒸汽压的关系的图。

[符号的说明]

2a 含原料气体

5a 预混合用氧气

7a 预混合原料气体

20 燃烧器

22a 密封气体

30 反应场

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式详细地说明。

＜SiO₂烟灰的生成装置＞

在本实施方式中，使SiO₂烟灰堆积在靶上而制造光纤母材。因此，首先，基于图1和图2对SiO₂烟灰的生成装置的构成的一个例子进行说明。图1是表示本实施方式中的SiO₂烟灰生成装置100的构成的概略图。图2是表示SiO₂烟灰生成装置100所具备的燃烧器20的立体图。

SiO₂烟灰生成装置100如图1所示，具备原料气体调制部10和燃烧器20。

原料气体调制部10具备液体原料罐1、气化器2、载气供给部3、第1配管4、氧气供给部5、第2配管6、预混合室7和第3配管8。

液体原料罐1中储存有液体的有机硅1a。作为本实施方式中使用的有机硅1a，例如可以举出环状硅氧烷、聚甲基硅氧烷等有机硅氧烷。在有机硅的选择中，考虑原料的保存性和输送性、沸点以及反应性等。即，有机硅原料优选在常温下为液态、沸点低、反应性高。作为本实施方式中使用的有机硅，优选八甲基环四硅氧烷(OMCTS)或六甲基二硅氧烷(HMDSO)。在以下的说明中，对使用OMCTS作为有机硅的情况进行说明，但也可以使用其它有机硅氧烷，还可以使用其它有机硅。

气化器2为对从液体原料罐1供给的液体的有机硅1a进行加热，使其为气态或雾状的装置。以下，也有时将气态或雾状的有机硅1a称为有机硅气体1a或者原料气体1a。另外，气体也可以包含一部分雾状。

另外，气化器2中从载气供给部3供给载气3a，对载气也进行加热。载气3a可以以气体的状态供给，也可以以液体的状态供给。载气3a为不与有机硅反应的气体，例如为氩(惰性气体)、氮(惰性气体)、氧或氦(惰性气体)等气体。或者，也可以为将它们混合而成的气体。另外，载气3a优选为氩与氧的混合气体、氮与氧的混合气体或氧。通过使用氩与氧的混合气体、氮与氧的混合气体作为载气3a，可以更安全地运送原料气体。另外，若可通过其它理由确保安全性，则也可以使用氧作为载气3a。若使用氧作为载气，则能更高效地使原料气体燃烧。

在此，供给于气化器2的液体的有机硅1a和载气3a的供给量可使用未图示的质量流量控制器等控制。另外，供给量的控制也可以使用其它的流量控制装置。

气化器2在本实施方式中将有机硅1a与载气3a加热至200℃。气化器2中的加热温度只要基于有机硅1a的沸点、量等各种条件确定即可，并不限于200℃。以下将混合有有机硅气体1a与载气3a的气体称为含原料气体2a。从气化器2经由第1配管4向预混合室7供给200℃的含原料气体2a。在此，第1配管4以加热在管内流动的气体的方式构成，防止含原料气体2a的温度降低，具体而言防止成为200℃以下。第1配管4中的加热通过在第1配管4配置加热器(例如，缠绕加热带)或者由热管形成第1配管4来进行。也可以利用这些以外的装置对管内的气体进行加热。对于以下说明的在第2配管6、第3配管8、第4配管22b和燃烧器20内流动的气体的加热也同样地使用加热器、热管或者其它装置进行。

预混合室7是在含原料气体2a中将预混合用氧气5a进行预混合。预混合用氧气5a从氧气供给部5经由第2配管6向预混合室7供给。在此，第2配管6以加热在管内流动的气体的方式构成，将预混合用氧气5a在加热的状态下进行预混合。对于该加热，在后面详细地说明。以下将预混合有预混合用氧气5a的含原料气体2a称为预混合原料气体7a。预混合原料气体7a从预混合室7通过第3配管8送至燃烧器20。第3配管8以加热在管内流动的气体的方式构成，防止预混合原料气体7a的温度降低。

燃烧器20为光纤母材制造用的燃烧器，如图1和图2所示为多管燃烧器。在本实施方式中，将燃烧器20作为多管燃烧器进行说明，但并不限于多管燃烧器，例如也可以为具有多个喷嘴的多喷嘴燃烧器等。

燃烧器20从中心依次具备与第3配管8连接的使预混合原料气体7a流动的原料气体管21、使密封气体22a流动的密封气体管22、使燃烧用氧气(燃烧用气体)23a流动的氧气管23和使氢气(燃烧用气体)24a流动的氢气管24。另外，氧气管23与氢气管24可以为彼此相反的配置。另外，原料气体管21可以不设置于燃烧器20的中心部而设置于其它位置。燃烧用氧气23a和氢气24a是在有机硅气体1a反应而形成SiO₂烟灰的反应场30中形成火焰(氢氧火焰)的原料。另外，本实施方式中的反应场30为氢氧火焰中，但并不限于此。

密封气体22a是用于隔开预混合原料气体7a与燃烧用氧气23a和氢气24a的气体。即，密封气体22a防止预混合原料气体7a中的有机硅气体1a在燃烧器20的出口附近反应。由此，可以防止有机硅气体1a反应而在燃烧器20的出口附近堆积SiO₂烟灰，堵塞该出口。发生有机硅气体1a的反应的位置可以通过改变密封气体22a的流速来控制。在本实施方式中，由于密封气体22a，有机硅气体1a的反应在从燃烧器20的出口离开的位置发生。

因此，作为密封气体22a，只要为对于有机硅气体1a的反应惰性的气体即可，可使用例如氦、氮或者氩的气体或将它们混合而成的气体。另外，也可以为在此未例示的气体。

密封气体22a通过第4配管22b导入于燃烧器20，送至密封气体管22。在此，第4配管22b以加热在管内流动的气体的方式构成，密封气体22a在被加热的状态下导入于燃烧器20。对于该加热，在后面详细地说明。另外，燃烧器20以加热在燃烧器20内流动的气体的方式构成，防止在燃烧器20内流动的气体的温度降低。

(预混合氧和密封气体的加热)

例如在预混合用氧气5a为常温时，在预混合室7中向含原料气体2a预混合预混合用氧气5a，则混合后的预混合原料气体7a的温度降低。另外，密封气体22a流动的密封气体管22以包围原料气体管21的方式形成。因此，例如在常温的密封气体22a在密封气体管22内流动时，会吸取在其内侧的原料气体管21中流动的预混合原料气体7a的温度。由此，若预混合原料气体7a的温度成为其中所含的有机硅1a的液化温度以下，则预混合原料气体7a中的有机硅1a发生液化。

因此，在SiO₂烟灰生成装置100中，以预混合用氧气5a的温度和密封气体22a的温度成为根据预混合原料气体7a中的有机硅1a的量而被确定的有机硅1a的液化温度以上的方式对预混合用氧气5a和密封气体22a进行加热。

另外，在本实施方式的SiO₂烟灰生成装置100中，在将燃烧用氧气23a和氢气24a送出至燃烧器20之前未加热，但也可以为进行加热的构成。

(有机硅的液化温度)

接着，基于图3对预混合原料气体7a中的有机硅气体1a的液化温度进行说明。图3是表示属于有机硅1a的OMCTS的各供给量和预混合原料气体7a的各温度下的将该OMCTS完全气化所需的预混合原料气体7a中的OMCTS以外的气体(以下称为其它气体)的流量的表。

供给于气化器2的液体的有机硅1a的流量和载气3a的流量可通过质量流量控制器等控制。另外，供给于预混合室7的预混合用氧气5a的流量也可通过质量流量控制器等控制。因此，可控制预混合原料气体7a中所含的有机硅气体1a与其它气体的比例。在此，“比例”本质上是指摩尔比。然而，进行控制的“比例”和表示为“比例”的参数也可以为液体、气体的质量流量或者体积流量。

若预混合原料气体7a中的上述“比例”被确定，则有机硅1a的液化温度如下求出。

有机硅1a的分压Pp可以由预混合原料气体7a中的有机硅1a的体积与其它气体的体积之比求出。该分压Pp是指有机硅1a完全气化时的分压。

在此，预混合原料气体7a中的有机硅1a的液化温度为有机硅1a的蒸汽压与上述分压Pp变相等的温度。例如，本实施方式的作为有机硅1a的OMCTS在某温度下的蒸汽压为图4所示的值。如图4所示，OMCTS为100℃时，蒸汽压成为0.087atm。即，预混合原料气体7a中的有机硅1a的分压为0.087atm时，有机硅原料的液化温度为100℃。因此，预混合原料气体7a中的有机硅1a的分压为0.087atm时，若预混合原料气体7a的温度为100℃以下，则有机硅1a液化。

＜光纤母材的制造方法＞

本实施方式的光纤母材的制造方法如下所述。

首先，在含有气态或雾状的有机硅的含原料气体2a中将预混合用氧气5a进行预混合(预混合工序)。接着，将在含原料气体2a中预混合有预混合用氧气5a的预混合原料气体7a、密封气体22a、燃烧用氧气23a和氢气24a供给于燃烧器20，然后，使预混合原料气体7a中的有机硅1a在氢氧火焰中反应而生成SiO₂烟灰(烟灰生成工序)。

在烟灰生成工序后，对SiO₂烟灰进行用于透明化的加热(加热工序)，制造光纤母材。另外，加热工序可以使用公知的技术。

在此，在预混合工序中，将根据预混合原料气体7a中的有机硅1a的量而确定的有机硅的液化温度以上的温度的预混合用氧气5a预混合。如此，通过使预混合用氧气5a的温度为根据预混合原料气体7a中的有机硅1a的量而确定的有机硅1a的液化温度以上，获得以下效果：可以抑制因使预混合用氧气5a进行预混合所致的预混合原料气体7a的温度下降，可以抑制预混合原料气体7a中的有机硅1a成为比液化温度低的温度而发生液化。因此，可以防止因有机硅1a液化所致的不良情况。

特别是在预混合工序中，优选预混合110℃以上的预混合用氧气5a。含原料气体2a如上所述在200℃下被气化，因此，通过预混合110℃以上的预混合用氧气5a，预混合原料气体7a至少成为110℃以上。在此，在要增加进行反应的有机硅1a时，若预混合原料气体7a小于110℃，则在送出至燃烧器20时需要大量预混合原料气体7a中的其它气体，不现实。但是若预混合110℃以上的预混合用氧气5a，预混合原料气体7a至少成为110℃以上，则其它气体成为在现实中可实现的提供量。

另外，在有机硅1a为OMCTS时，根据图4推定110℃的蒸汽压为0.129atm。因此，在预混合原料气体7a中的OMCTS的分压为0.129atm以下时，通过预混合110℃以上的预混合用氧气5a，能够可靠地防止因预混合氧所致的有机硅的液化。

而且，在供给烟灰生成工序中的密封气体之际，将密封气体以根据预混合原料气体7a中的有机硅1a的量而确定的有机硅1a的液化温度以上的温度供给于燃烧器20。如此，通过使供给于燃烧器20的密封气体22a的温度为根据预混合原料气体7a中的有机硅的量而确定的有机硅1a的液化温度以上，获得以下效果：可以抑制因将密封气体供给于燃烧器所致的预混合原料气体7a的温度的下降，与上述同样地可以抑制预混合原料气体7a中所含的有机硅的液化，可以防止因有机硅液化所致的不良情况。

因此，通过使用本实施方式的光纤母材的制造方法，可以抑制有机硅在形成SiO₂烟灰的反应前液化，能够提高反应的安全性和稳定性而制造光纤母材。另外，由于有机硅以气态或雾状供于反应，因此，反应性高，可以提高SiO₂烟灰的品质。因此，可以使用通过本实施方式的光纤母材的制造方法制造的光纤母材安全且有效地生产高品质的光纤。

特别是在供给密封气体时，优选将预混合用氧气5a的温度以上的温度的密封气体22a供给于燃烧器20。若密封气体22a的温度小于预混合原料气体7a的温度，则会吸取在燃烧器20内流动的预混合原料气体7a的温度。但是，若使密封气体22a的温度与预混合用氧气5a(有机硅1a的液化温度以上的温度)相同，则可以防止在燃烧器20内流动的预混合原料气体7a的降低，可以防止预混合原料气体7a中的有机硅1a的液化。

另外，上述中，燃烧用氧气23a和氢气24a在供给于燃烧器20时未被加热，但也可以加热。

本实施方式的光纤母材的制造方法例如可利用于VAD法、ST法、OVD法等。

光纤可以将如上制造的光纤母材拉丝(拉丝工序)而制造。拉丝工序可以使用公知的技术。

[实施例]

使用上述说明的SiO₂烟灰生成装置100，如下验证了生成SiO₂烟灰时的有机硅1a液化的防止。

(实施例1)

使用OMCTS作为有机硅1a、使用氩作为载气3a和密封气体22a。将22g/min的质量流量的液体OMCTS(有机硅1a)和2.5slm的载气3a供给于气化器2。将OMCTS和载气3a用气化器2加热至200℃，作为由气化的OMCTS和载气3a构成的含原料气体2a。

将加热至150℃的预混合用氧气5a以9slm预混合于含原料气体2a，由此形成预混合原料气体7a，将预混合原料气体7a送入燃烧器20。

此时，气体的OMCTS换算为流量时约为1.66slm，预混合原料气体7a中的OMCTS以外的气体(以下，称为其它气体)为11.5slm。因此，若使燃烧器内的压力为1atm，则预混合原料气体7a中的OMCTS的分压约为0.126atm。OMCTS的蒸汽压成为0.126atm的温度约为109℃。即，此时的预混合原料气体7a中的OMCTS的液化温度约为109℃。

另外，将加热至150℃的密封气体22a导入于密封气体管22。

在以上的条件下在氢氧焰中生成SiO₂烟灰，结果预混合原料气体7a中的OMCTS在氢氧焰中反应之前未发生液化。可以得出结论这是因为预混合用氧气5a和密封气体为150℃，因此，预混合原料气体7a中的OMCTS即使受到预混合用氧气5a的温度或者密封气体22a的温度的影响也不会小于此时的液化温度(约109℃)。

(比较例1)

使预混合用氧气5a和密封气体22a的温度为100℃，除此以外，在与实施例1同样的条件下生成SiO₂烟灰。

在该比较例1中，预混合原料气体7a中的OMCTS在氢氧焰中反应之前发生液化。可以得出结论这是因为预混合用氧气5a的温度和密封气体22a的温度为100℃，由此预混合原料气体7a中的OMCTS受到预混合用氧气5a的温度或者密封气体22a的温度的影响而变得低于此时的液化温度(约109℃)。

(实施例2)

以下的条件以外，与实施例1同样的条件下生成SiO₂烟灰。使用24.5g/min的质量流量(＝1.85slm)的OMCTS。在预混合原料气体7a中，以其它气体的流量为12.7slm的方式混合载气3a和预混合用氧气5a。使密封气体22a和预混合用氧气5a的温度分别为110℃。

此时的预混合原料气体7a中的OMCTS的分压为0.127atm，液化温度约为109℃。

在以上的条件下生成SiO₂烟灰，结果预混合原料气体7a中的OMCTS在氢氧焰中反应之前未发生液化。可以得出结论这是因为预混合用氧气5a的温度和密封气体22a的温度为110℃，因此，预混合原料气体7a中的OMCTS即使受到预混合用氧气5a的温度或者密封气体22a的温度的影响也不会小于此时的液化温度。

(实施例3)

以下的条件以外，与实施例1同样的条件下生成SiO₂烟灰。使用20.1g/min的质量流量(＝1.52slm)的OMCTS。在预混合原料气体7a中，以其它气体的流量为10.5slm的方式混合载气3a和预混合用氧气5a。另外，使密封气体22a和预混合用氧气5a的温度分别为110℃。

此时的预混合原料气体7a中的OMCTS的分压为0.126atm，液化温度约为109℃。

在以上的条件下生成SiO₂烟灰，结果预混合原料气体7a中的OMCTS在反应场30中反应之前未发生液化。可以得出结论这是因为预混合用氧气5a的温度和密封气体22a的温度为110℃，因此，预混合原料气体7a中的OMCTS的温度即使受到预混合用氧气5a的温度或者密封气体22a的温度的影响也不会小于此时的液化温度。

由实施例1～3和比较例1的结果可以确认，有机硅1a的液化温度基于有机硅1a(例如OMCTS)的供给量和预混合原料气体7a中的其它气体的供给量确定，即，根据预混合原料气体7a中的有机硅1a的量而确定，通过将预混合用氧气5a和密封气体22a加热至有机硅1a的液化温度以上，可以防止预混合原料气体7a中的有机硅1a的液化。

〔总结〕

本发明的光纤母材的制造方法的构成为包含：预混合工序，在含有气态或雾状的有机硅的含原料气体中预混合氧气而生成预混合原料气体；以及，烟灰生成工序，将上述预混合原料气体与燃烧用气体供给于燃烧器，使有机硅在火焰中反应而生成SiO₂烟灰；其中，预混合工序是将根据上述预混合原料气体中的上述有机硅的量而确定的上述有机硅的液化温度以上的温度的上述氧气进行预混合。

根据上述方法，含有有机硅的含原料气体与预混合的氧气的温度成为根据预混合原料气体中的有机硅的量而确定的有机硅的液化温度以上。因此，可以抑制因预混合氧所致的预混合原料气体的温度的下降，可以抑制预混合原料气体中的有机硅成为比液化温度低的温度而发生液化这样的现象。因此，可以防止因有机硅液化所致的不良情况。

因此，根据上述方法，可以抑制有机硅在形成SiO₂烟灰的反应前液化，可提高反应的安全性和稳定性地制造光纤母材。另外，有机硅以气态或雾状供于反应，因此，反应性高，可以提高SiO₂烟灰的品质。因此，可以使用通过上述方法制造的光纤母材安全且有效地生产高品质的光纤。

另外，上述的光纤母材的制造方法优选将隔开上述预混合原料气体与上述燃烧用气体的密封气体以上述有机硅的上述液化温度以上的温度供给于上述燃烧器。

通过使用密封气体，可以防止有机硅在燃烧器端面(出口)反应而生成烟灰，可以控制发生反应的位置。在此，若供给于燃烧器的密封气体为常温左右，则供给于相同燃烧器的预混合原料气体的温度降低，有机硅有可能液化。但是，根据上述方法，供给于燃烧器的密封气体的温度成为根据预混合原料气体中的有机硅的量而确定的有机硅的液化温度以上。因此，可以抑制因将密封气体供给于燃烧器所致的预混合原料气体的温度的降低，可以抑制预混合原料气体中所含的有机硅成为比液化温度低的温度而液化这样的现象。因此，可以防止因有机硅液化所致的不良情况。

如此，根据上述方法，可以更可靠地抑制有机硅在形成SiO₂烟灰的反应前液化，提高反应的安全性和稳定性而制造光纤母材。

另外，上述的光纤母材的制造方法优选在上述预混合工序中将110℃以上的上述氧气预混合。

通常含原料气体例如在200℃这样的高温下被气化，因此，通过将110℃以上的氧气预混合，预混合原料气体至少成为110℃以上。在此，若要增加反应的有机硅时，预混合原料气体低于110℃，则在送出至燃烧器时需要大量预混合原料气体中的有机硅以外的气体(其它气体)，不现实。但是，通过上述方法，若预混合110℃以上的氧气而预混合原料气体至少为110℃以上，则其它气体成为现实中可实现的提供量。因此，可以方便地制造光纤母材。

另外，在有机硅为八甲基环四硅氧烷时，可推定110℃的蒸汽压为0.129atm。因此，在预混合原料气体中的八甲基环四硅氧烷的分压为0.129atm以下时，通过预混合110℃以上的氧气，可以可靠地防止因预混合所致的有机硅的液化。

另外，优选将预混合的上述氧气的温度以上的温度的上述密封气体供给于上述燃烧器。

在此，若密封气体的温度小于预混合原料气体的温度，则会吸取在相同燃烧器内流动的预混合原料气体的温度。但是，通过上述方法，若使密封气体的温度与预混合的氧气(有机硅的液化温度以上的温度)相同，则可以防止在燃烧器内流动的预混合原料气体的降低，可以防止预混合原料气体中的有机硅的液化。

另外，在上述的光纤母材的制造方法中，对上述含原料气体而言，作为载气，优选为氩与氧的混合气体、氮与氧的混合气体或含有氧的气体。

根据上述构成，作为运送有机硅的载气，可以使用氩与氧的混合气体、氮与氧的混合气体或者氧。

与配管的粗细相比，有机硅(原料气体)的供给量少时，流速慢(所送体积小)，因此，供给变得不稳定，即，有时难以控制。因此，即使稀释原料气体也使体积增大，从而在原料气体中混合载气以便稳定地供给原料气体。

通过使用氩或氮作为载气，可以安全地运送原料气体。但是，另一方面，预混合原料气体中不太期望过度增加与反应没有关系的氩或氮的比例。因此，优选在载气中混合作为载气所需的气体流量之内的不会产生回火(火焰在燃烧器内逆流的现象)程度的氧(其余为氩或氮)。不产生回火的氧量由燃烧界限浓度、配管内的原料流量(流速)等确定。

因此，根据上述构成，通过使用氩与氧的混合气体、氮与氧的混合气体作为载气，可以更安全地运送原料气体。另外，若可通过其它理由确保安全性，则也可以使用氧作为载气。若使用氧作为载气，则可更高效地使原料气体燃烧。

另外，在上述的光纤母材的制造方法中，上述密封气体优选为氩。

氩为作为密封气体通常所使用的惰性气体，由于容易获得，因此，可容易地制造光纤母材。

另外，在上述的光纤母材的制造方法中，可使用具有多个喷嘴的多喷嘴燃烧器、多管燃烧器作为上述燃烧器。

另外，在上述的光纤母材的制造方法中，例如可以使用八甲基环四硅氧烷、六甲基二硅氧烷作为上述有机硅。

另外，使用上述的光纤母材的制造方法制造的光纤母材、使用上述的光纤母材的制造方法的光纤的制造方法、使用该光纤的制造方法制造的光纤也包含在本发明的范畴中。

本发明并不限定于上述的实施方式和各实施例，可以在权利要求所示的范围内进行各种变更，将实施方式或各实施例中分别公开的技术手段适当组合而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围中。