一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构的制作方法

文档序号:12416671阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:其包括:

外延生长室(10),其由感应加热材料制成,该外延生长室(10)中形成有一矩形腔室(100),且该外延生长室(10)于矩形腔室(100)中设置有承载槽(101),藉由该承载槽(101)承载用于装载SiC晶片的8英寸的托盘(102),该外延生长室(10)两侧分别设置有贯通矩形腔室(100)的进气口(103)和出气口(104);

一硬质保温层(5),其紧密包裹在所述的外延生长室(10)的外围,以对外延生长室(10)保温,及减少外延生长室(10)的热辐射;

一导气管连接器(6),其设于外延生长室(10)的进气口(103)处,并伸出于硬质保温层(5)外;

一用于引导反应气体在进入外延生长室(10)之前呈层流状态的上游导气管(7),其套接于导气管连接器(6)上;

一用于引导尾气排出的下游导气管(8),其设于外延生长室(10)的出气口(104)处,并伸出于硬质保温层(5)外。

2.根据权利要求1所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述外延生长室(10)其包括感应加热材料制成的上盖(1)、底盘(2)、左侧板(3)和右侧板(4),该左侧板(3)和右侧板(4)分别设置于上盖(1)和底盘(2)左右两侧,并围成一前后通透的所述的矩形腔室(100),且该左侧板(3)和右侧板(4)上分别设置有贯通矩形腔室(100)的所述的出气口(104)和进气口(103)。

3.根据权利要求2所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述上盖(1)呈矩形,该上盖(1)内部设置有第一矩形腔道(11),且其四周壁厚度相等。

4.根据权利要求3所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述底盘(2)的结构及形状和尺寸大小均与上盖(1)相当,且该底盘(2)及上盖(1)为对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述底盘(2)两侧上端均设置有第一卡槽(21);所述上盖(1)两侧下端均设置有第二卡槽(12),该第一卡槽(21)及第二卡槽(12)分别卡合左侧板(3)和右侧板(4)的上下两端。

6.根据权利要求1所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述的上游导气管(7)呈矩形,该上游导气管(7)具有第二矩形腔道(71),该第二矩形腔道(71)的截面形状及面积与所述外延生长室(10)中矩形腔室(100)的截面形状及面积均相同。

7.根据权利要求1所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述的下游导气管(8)呈矩形,该下游导气管(8)具有第三矩形腔道(81),该第三矩形腔道(81)的截面面积大于所述外延生长室(10)中矩形腔室(100)的截面面积。

8.根据权利要求1所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述导气管连接器(6)前后两端分别成型有第一、第二接口(61、62),该第一接口(61)与所述外延生长室(10)的进气口(103)对接,该第二接口(62)与上游导气管(7)对接,且该导气管连接器(6)内形成有第四矩形腔道(63),该第四矩形腔道(63)的截面形状及面积与所述外延生长室(10)中矩形腔室(100)的截面形状及面积均相同。

9.根据权利要求2所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述左侧板(3)和右侧板(4)均呈长方形板条,且其形状和尺寸完全相同。

10.根据权利要求2所述的一种8英寸单片高温碳化硅外延生长室结构,其特征在于:所述硬质保温层(5)对应所述外延生长室(10)的进气口(103)及出气口(104)处分别设置有第一、第二通孔,该第一通孔的尺寸小于进气口(103)的尺寸,该第二通孔的尺寸小于出气口(104)的尺寸。

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