用于除膜设备的移动定位机构的制作方法

文档序号:11974260阅读:来源:国知局

技术特征:

1.用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:包括X向移动台和Y向移动台,所述的X向移动台与Y向移动台相连,X向移动台上设有高速振镜系统;Y向移动台两端各设有一Y向直线电机,Y向移动台两端在Y向直线电机作用下沿Y向直线电机导轨同步移动;在Y向移动台上设有X向直线电机,X向移动台在X向直线电机作用下沿X向直线电机导轨移动。

2.根据权利要求1所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:还包括Z向移动台,Z向移动台连接X向移动台,所述的高速振镜系统设置在Z向移动台上。

3.根据权利要求2所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:Z向移动台与一个驱动机构连接,所述的驱动机构均由丝杆螺母副和伺服电机连接构成,任意一个所述的伺服电机均与一个控制器连接。

4.根据权利要求2所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:所述的高速振镜系统包括高速振镜、反射镜与激光源,激光源发出的激光经反射镜偏转至高速振镜,高速振镜的激光出射方向与Z向移动台的运动轨迹平行。

5.根据权利要求1所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:包括至少两个X向移动台,在Y向移动台上并排设有至少两个X向直线电机,每个X向直线电机对应驱动一个X向移动台。

6.根据权利要求1所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:包括至少两个X向移动台,在Y向移动台上设有一个X向直线电机,所述的X向移动台均由同一个X向直线电机进行驱动。

7.根据权利要求1所述的用于除膜设备的移动定位机构,其特征是:两个Y向直线电机分别设置在一玻璃输送平台的两侧。

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