一种用于多晶硅坩埚的护板的制作方法

文档序号:11041586阅读:679来源:国知局
一种用于多晶硅坩埚的护板的制造方法与工艺

本实用新型涉及多晶铸锭技术领域,具体讲是一种用于多晶硅坩埚的护板。



背景技术:

目前,随着多晶铸锭技术的发展,一部分厂家的铸锭炉热场结构从G5热场结构时代走向G6热场结构时代,但是由于热场结构技改的成本问题,一部分厂家仍然使用G5热场结构,一部分厂家更换为G6热场结构。而坩埚的四周边均布置有护板,坩埚在高温下为熔融状态,护板用于对坩埚进行固形。然而,G5热场结构与G6热场结构由于坩埚尺寸不同,对于同时使用G5和G6热场结构的厂家来说,G5坩埚护板和G6坩埚护板的不通用导致其互换性和利用率都降低。目前,G5热场所使用的坩埚尺寸为1050*560mm,相应的护板的尺寸也1050*560mm ,G6热场所使用的坩埚尺寸为1080*590mm,相应的护板尺寸也为1080*590mm。

为了解决上述技术问题,本案由此而生。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于:提供一种可提高互换性和利用率的用于多晶硅坩埚的护板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于多晶硅坩埚的护板,包括护板,还包括由底补边和侧补边组成的L形补边,L形补边由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板上,其中底补边与护板的底边紧密贴合,侧补边与护板的其中一侧边紧密贴合,安装上L形补边后护板由适用于G5热场结构的坩埚转换成适用于G6热场结构的坩埚。

进一步地,所述L形补边通过石墨螺栓可拆卸式地紧固在护板上,石墨螺栓沿着底补边和侧补边的长度方向等间距分布,且当石墨螺栓紧固住L形补边时,石墨螺栓完全嵌入至L形补边内。

进一步地,所述护板上与侧补边相对的另一端开设有一列贯穿护板厚度方向的螺栓孔一,护板与侧补边贴合的端面上以及侧补边的外端面上分别开设有一列螺栓孔二,螺栓孔一与螺栓孔二一一对应设置,且护板上的螺栓孔一与安装在坩埚上相邻护板上的螺栓孔二组成了完整的螺栓孔。

本实用新型与现有技术相比,具有以下优点:本实用新型用于多晶硅坩埚的护板,通过增设可拆卸安装在护板上的L形补边,使得护板即可适用于G5热场结构的坩埚,又可适用于G6热场结构的坩埚,互换性和利用率高;采用碳纤维制作L形补边,在保证保温效果的前提下,强度更高,不易折断,稳定性更好。

附图说明

图1是本实用新型中L形补边安装在护板上时的结构示意图。

图2是本实用新型中L形补边与护板分离时的结构示意图。

图中所示:1、护板 2、L形补边 21、底补边 22、侧补边 3、石墨螺栓 4、螺栓孔一5、螺栓孔二。

具体实施方式

下面通过附图和实施例对本实用新型作进一步详细阐述。

如图1和图2所示:一种用于多晶硅坩埚的护板,包括护板1。还包括由底补边21和侧补边22组成的L形补边2。L形补边2由碳纤维一体成型,且可拆卸式地安装于护板1上。其中底补边21与护板1的底边紧密贴合,侧补边22与护板1的其中一侧边紧密贴合。当护板1未安装L形补边2时,其尺寸符合G5热场结构的坩埚(具体尺寸如图2所示);当护板1安装L形补边2后,其尺寸正好符合G6热场结构的坩埚(具体尺寸如图1所示)。也就是说,本实用新型用于多晶硅坩埚的护板,可通过安装拆卸L形补边2,使得护板1在适用于G5热场结构的坩埚与适用于G6热场结构的坩埚之间切换,可提高互换性和利用率。

本实施例中,L形补边2通过石墨螺栓3可拆卸式地紧固在护板1上,石墨螺栓3沿着底补边21和侧补边22的长度方向等间距分布。通过底补边21上的石墨螺栓3将底补边21紧密贴合在护板1的底边上,通过侧补边22上的石墨螺栓3将侧补边22紧密贴合在护板1的侧边上。且当石墨螺栓3紧固住L形补边2时,石墨螺栓3完全嵌入至L形补边2内,如此不会对相邻两块护板1的安装连接造成任何影响。

本实施例中,护板1上与侧补边22相对的另一端开设有一列贯穿护板1厚度方向的螺栓孔一4,护板1与侧补边22贴合的端面上以及侧补边22的外端面上分别开设有一列螺栓孔二5,螺栓孔一4与螺栓孔二5一一对应设置,且护板1上的螺栓孔一4与安装在坩埚上相邻护板1上的螺栓孔二5组成了完整的螺栓孔。当护板1安装到坩埚外侧面上时,用螺栓同时穿过螺栓孔一4以及相邻护板1上相应的螺栓孔二5,并紧固,如此将螺栓一一安装到相应的螺栓孔中,以此将相邻两块护板1固定起来,结构简单,安装方便。

以上所述依据实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其保护的范围。

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