本发明具体涉及一种双电源炉台半熔工艺。
背景技术：
传统多晶硅铸锭炉加热器分为顶部加热器和侧面加热器，通过控制加热器输出功率使得坩埚内熔融的硅液在纵向温度梯度的作用下定向凝固。由于顶部加热器与侧面加热器由一套温度控制系统控制功率输出，使得生产效率较低且无功热损失比较大。
技术实现要素：
发明目的：为了解决现有技术的不足，本发明提供了一种双电源炉台半熔工艺。
技术方案：一种双电源炉台半熔工艺，包括如下步骤：加热阶段——熔化阶段——退火阶段；
(1)所述加热阶段中：加大侧面加热器功率，侧面加热器辐射面积大，加热效率提高；
(2)所述熔化阶段中：熔化中后期减小侧面加热器功率，有助于形成一个接近水平形态的固液界面，使得长晶阶段晶相能够竖直生长，同时能起到确保边部籽晶不全熔完的作用，晶锭效率提升；
(3)所述退火阶段中：减小晶锭头尾温差，消除应力，双电源炉台在退火阶段减小顶部加热器功率，加大侧面加热器功率，能够缩短退火时间，提升产能，节能减排。
作为优化：所述双电源热场为双区加热系统，顶部加热器和侧面加热器分别通过单独的控制回路控制功率输出，采用两个独立的变压器及温控系统来控制加热器功率。
有益效果：本发明中的双电源热场是对传统的加热器控制方式进行优化，提出双区加热系统，顶部加热器和侧面加热器分别通过单独的控制回路控制功率输出，采用两个独立的变压器及温控系统来控制加热器功率。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以使本领域的技术人员能够更好的理解本发明的优点和特征，从而对本发明的保护范围做出更为清楚的界定。本发明所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例
一种双电源炉台半熔工艺，包括如下步骤：加热阶段——熔化阶段——退火阶段；
(1)所述加热阶段中：加大侧面加热器功率，侧面加热器辐射面积大，加热效率提高；
(2)所述熔化阶段中：熔化中后期减小侧面加热器功率，有助于形成一个接近水平形态的固液界面，使得长晶阶段晶相能够竖直生长，同时能起到确保边部籽晶不全熔完的作用，晶锭效率提升；
(3)所述退火阶段中：减小晶锭头尾温差，消除应力，双电源炉台在退火阶段减小顶部加热器功率，加大侧面加热器功率，能够缩短退火时间，提升产能，节能减排。
所述双电源热场为双区加热系统，顶部加热器和侧面加热器分别通过单独的控制回路控制功率输出，采用两个独立的变压器及温控系统来控制加热器功率。
本发明中的双电源热场是对传统的加热器控制方式进行优化，提出双区加热系统，顶部加热器和侧面加热器分别通过单独的控制回路控制功率输出，采用两个独立的变压器及温控系统来控制加热器功率。