单晶炉气体供应系统的制作方法

本发明涉及单晶炉生产技术领域，特别是一种单晶炉气体供应系统。

背景技术：

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期，一定要根据生长设备，配置出最合理的热场，从而保证生产出来的单晶的品质。

技术实现要素：

本发明需要解决的技术问题是提供一种控制精度高的单晶炉气体供应系统。

为解决上述的技术问题，本发明的单晶炉气体供应系统，包括plc控制器，还包括传感器单元，所述传感器单元与plc控制器输入端相连接，所述plc控制器输出端分别与电磁阀、供气泵和报警器相连接；所述plc控制器由电源供电，所述plc控制器的输出端还连接有显示灯，所述plc控制器输入端还连接有起/停按钮。

进一步的，所述传感器单元包括流量传感器和压强传感器，所述压强传感器与plc控制器输入端相连接，所述流量传感器通过a/d转换器与plc控制器输入端相连接。

进一步的，所述plc控制器通过rs232接口与上位管理机相连接。

进一步的，所述电源与plc控制器之间连接有手/自动切换模块。

更进一步的，所述手/自动切换模块包括手/自动切换按钮，所述手/自动切换按钮与继电器控制端相连接；所述继电器输出端与电源相连接，所述电源与继电器之间连接有电磁阀和供气泵的并联电路，所述电磁阀支路上设置有电磁阀开关，所述供气泵支路上设置有供气泵开关。

更进一步的，所述手/自动切换按钮与手动指示灯相串联，所述电磁阀与电磁阀指示灯相串联，所述供气泵与供气泵指示灯相串联。

采用上述结构后，本发明可以通过plc控制器根据传感数据自动实现对单晶炉的恒压供气，也可以切换到手动模式，自主的对单晶炉进行供气，这样手/自动配合提升了供气效率，也满足了不同单晶炉拉晶的差异需求。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明单晶炉气体供应系统的结构框图。

图2为本发明手/自动切换模块的电路原理图。

图中：1为plc控制器，2为流量传感器，3为压强传感器，4为起/停按钮，5为a/d转换器，6为电磁阀，7为供气泵，8为报警器，9为rs232接口，10为上位管理机，11为电源，12为手/自动切换模块，13为显示灯，14为继电器，15为手/自动切换按钮，16为手动指示灯，17为电磁阀指示灯，18为电磁阀开关，19为供气阀指示灯，20为供气泵开关

具体实施方式

如图1所示，本发明的单晶炉气体供应系统，包括plc控制器1，还包括传感器单元，所述传感器单元与plc控制器1输入端相连接，所述plc控制器1输出端分别与电磁阀6、供气泵7和报警器8相连接。所述plc控制器1由电源11供电，所述plc控制器1的输出端还连接有显示灯13，所述plc控制器输入端还连接有起/停按钮4。

进一步的，所述传感器单元包括流量传感器2和压强传感器3，所述压强传感器3与plc控制器1输入端相连接，所述流量传感器2通过a/d转换器5与plc控制器输入端相连接。

进一步的，为了便于管理和上传数据，所述plc控制器1通过rs232接口9与上位管理机10相连接。

进一步的，所述电源11与plc控制器1之间连接有手/自动切换模块12。如图2所示，所述手/自动切换模块12包括手/自动切换按钮15，所述手/自动切换按钮15与继电器14控制端相连接；所述继电器14输出端与电源相连接，所述电源11与继电器14之间连接有电磁阀6和供气泵7的并联电路，所述电磁阀支路上设置有电磁阀开关18，所述供气泵支路上设置有供气泵开关20。

更进一步的，为了能够更好的指示系统手/自动工作状态，所述手/自动切换按钮15与手动指示灯16相串联；同样，为了能够更好的指示电磁阀、供气泵工作状态，所述电磁阀6与电磁阀指示灯17相串联，所述供气泵7与供气泵指示灯19相串联。

虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域熟练技术人员应当理解，这些仅是举例说明，可以对本实施方式作出多种变更或修改，而不背离本发明的原理和实质，本发明的保护范围仅由所附权利要求书限定。

技术特征：

技术总结
本发明涉及单晶炉生产技术领域，特别是一种单晶炉气体供应系统，包括PLC控制器，还包括传感器单元，所述传感器单元与PLC控制器输入端相连接，所述PLC控制器输出端分别与电磁阀、供气泵和报警器相连接；所述PLC控制器由电源供电，所述PLC控制器的输出端还连接有显示灯，所述PLC控制器输入端还连接有起/停按钮。采用上述结构后，本发明可以通过PLC控制器根据传感数据自动实现对单晶炉的恒压供气，也可以切换到手动模式，自主的对单晶炉进行供气，这样手/自动配合提升了供气效率，也满足了不同单晶炉拉晶的差异需求。

技术研发人员：张兆民
受保护的技术使用者：张兆民
技术研发日：2017.06.26
技术公布日：2017.09.29