1.一种超高纯氮空分设备，包括空压机(1)、吸附机和膜过滤机(6)，其特征在于，所述空压机(1)通过管道连接空气罐(2)，所述空气罐(2)通过管道连接气水分离器(11)，所述气水分离器(11)通过管道连接冷干机(3)，所述冷干机(3)通过管道连接除油机(4)，所述除油机(4)通过管道连接分离管道(18)，所述分离管道(18)通过管道连接吸附机一(9)，所述吸附机一(9)的一侧设有吸附机二(8)，所述吸附机一(9)和吸附机二(8)的上方和下方均设有分离管道(18)，所述吸附机一(9)通过管道连接吸附机二(8)，所述分离管道(18)通过管道连接缓冲罐(7)，所述缓冲罐(7)通过管连接膜过滤机(6)，所述吸附机二(8)和吸附机一(9)内部设有孔板(12)，所述孔板(12)下方设有缓冲层(14)，所述缓冲层(14)下方设有球型气流分布器(15)，所述球型气流分布器(15)固定在吸附机上，所述孔板(12)和缓冲层(14)之间充满碳分子筛(13)。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯氮空分设备，其特征在于：所述冷干机(3)和除油机(4)之间的管道上连通有过滤器(10)。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯氮空分设备，其特征在于：所述分离管道(18)分为三层，分离管道(18)上固定设有电动阀门(17)，分离管道(18)通过管道连接放气罐(19)。
4.根据权利要求1所述的一种超高纯氮空分设备，其特征在于：所述缓冲罐(7)和膜过滤机(6)之间设有纯度检测器(5)，纯度检测器(5)上设有检测探头，检测探头连通管道。
5.根据权利要求1所述的一种超高纯氮空分设备，其特征在于：所述膜过滤机(6)设有三个进出气口，膜过滤机(6)内部填充有中控纤维膜(16)。