玻璃蚀刻装置和玻璃蚀刻方法与流程

本发明涉及玻璃蚀刻装置，更具体地，涉及容易根据区域来调节玻璃衬底的厚度的玻璃蚀刻装置。

背景技术

为了减小玻璃衬底的重量，或者为了改变玻璃衬底的设计形状或使表面变得光滑，可对玻璃衬底的厚度执行蚀刻工艺。

对于蚀刻工艺，最常用的方法有：将玻璃衬底浸泡在填充有蚀刻溶液的容器中进行蚀刻的浸渍(dipping)方式或将蚀刻溶液喷射至玻璃衬底的表面的喷射(spray)方式等。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供容易根据区域对玻璃衬底进行蚀刻的玻璃衬底蚀刻装置。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台、喷嘴部和至少一个第一加热单元，其中，台提供布置玻璃衬底的安置面，喷嘴部与台相对并且在朝向台的方向上喷射蚀刻溶液，其中玻璃衬底置于喷嘴部与台之间，并且至少一个第一加热单元对台的一部分进行加热，其中，台包括第一部分和第二部分，其中，第一部分具有第一平均温度，并且第二部分与第一部分连接并且具有低于第一平均温度的第二平均温度，其中，第一加热单元与第一部分重叠以对第一部分进行加热。

第一加热单元布置在第一部分的内部。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与垂直于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，第一加热单元的尺寸减小。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与垂直于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，第一加热单元与安置面之间的距离增加。

第二部分提供为多个并在一方向上与第一部分的两侧连接，第一加热单元提供为多个并在一方向上排列，在平面上限定有虚拟的中心线，中心线与平行于一方向的方向平行并且经过第一部分的中心，并且随着第一加热单元与中心线之间的距离增加，彼此相邻的第一加热单元之间的距离增加。

第一部分包括多个槽，多个槽从面对喷嘴部的安置面朝向内侧凹陷，并且第一加热单元插入到槽中。

槽和第一加热单元中的每个在一方向上延伸。

第一加热单元的外表面的一部分通过槽暴露，并且第一加热单元的外表面的暴露的部分布置在与安置面相同的平面上。

第一加热单元布置在台的与安置面相对的后表面上。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置还包括第二加热单元，第二加热单元与第二部分重叠以对第二部分进行加热。

第一加热单元布置在第一部分的内部，并且第二加热单元布置在台的后表面上。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置包括台和多个喷头，其中，台包括安置玻璃衬底的折叠区域的第一部分和安置玻璃衬底的非折叠区域的第二部分，并且多个喷头与台相对，其中玻璃衬底置于多个喷头与台之间，喷头包括至少一个第一喷头和第二喷头，其中至少一个第一喷头与第一部分重叠并且向第一部分喷射第一温度的蚀刻溶液，并且第二喷头与第二部分重叠并且向第二部分喷射第二温度的蚀刻溶液，其中，第二温度低于第一温度。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置还包括第一加热单元，第一加热单元布置于第一喷头并且将蚀刻溶液加热至第一温度。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置还包括第二加热单元，第二加热单元布置于第二喷头并且将蚀刻溶液加热至第二温度。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置还包括储存罐，储存罐与喷头连接并且向各个喷头供给蚀刻溶液。

储存罐包括第一储存部和至少一个第二储存部，其中，第一储存部与第一喷头连接并储存第一温度的蚀刻溶液，并且至少一个第二储存部与第二喷头连接并储存第二温度的蚀刻溶液。

第一储存部包括将蚀刻溶液加热至第一温度的第一加热单元，并且第二储存部包括将蚀刻溶液加热至第二温度的第二加热单元。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻方法包括以下步骤：将限定有折叠区域和非折叠区域的玻璃衬底提供到台上；以及向玻璃衬底提供蚀刻溶液以对玻璃衬底进行蚀刻，其中，玻璃衬底在折叠区域中被蚀刻的速度比玻璃衬底在非折叠区域中被蚀刻的速度快。

对玻璃衬底进行蚀刻的步骤包括以下步骤：将台的与上述折叠区域重叠的一部分加热至第一平均温度；以及通过喷嘴部向玻璃衬底喷射蚀刻溶液。

台包括第一部分和第二部分，其中，第一部分与折叠区域相对应并且布置有第一加热单元且具有第一平均温度，并且第二部分布置在第一部分的两侧并且具有低于第一平均温度的第二平均温度，以及其中，第一部分通过第一加热单元被加热至第一平均温度。

对玻璃衬底进行蚀刻的步骤包括以下步骤：将具有第一温度的蚀刻溶液提供到台的与上述折叠区域对应的区域；以及将具有低于第一温度的第二温度的蚀刻溶液提供到台的与非折叠区域对应的区域。

蚀刻溶液通过多个喷头提供到玻璃衬底，并且喷头中与上述折叠区域对应的喷头布置有第一加热单元。

提供玻璃衬底的步骤包括以下步骤：将折叠区域加热至第一平均温度；以及将经加热的玻璃衬底安置在台上。

根据本发明实施方式，能够容易根据区域对玻璃衬底进行蚀刻。

附图说明

图1是根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图2是示出从上方查看图1中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

图3是根据本发明实施方式的玻璃蚀刻方法的顺序图。

图4是完成蚀刻的玻璃衬底的立体图。

图5a至图5c是根据本发明另一实施方式的第一部分的剖视图。

图6是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图7是示出从上方查看图6中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

图8是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图9是示出从上方查看图8中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

图10是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图11是示出从上方查看图10中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

图12是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图13是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻方法的顺序图。

图14是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图15是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图16是示出从上方查看的图15中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

图17是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

图18是示出从上方查看图17中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

具体实施方式

参照在下文中结合附图详细描述的实施方式，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得明确。然而，本发明并不限于下文中所公开的实施方式，而是可实现为彼此不同的各种形态，另外，本实施方式仅仅为了使本发明的公开完整并且将发明的范围完整地告知给本发明所属技术领域的普通技术人员而提供，且本发明仅由权利要求书的范围来限定。在整篇说明书中，相同的附图标记指示相同的构成要素。

器件(element)或层被称为位于其他器件或层“上(on)”或“上方(on)”时，其不仅包括该器件或层直接位于其他器件或层上的情况，而且也包括中间插置有其他层或其他器件的情况。相反，器件被称为“直接位于…上(directlyon)”或“位于…正上方”是表示不存在插置于中间的其他器件或层。“和/或”包括所提及项中的每个和一个以上的所有组合。

如图中所示，“下方(below)”、“之下(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等空间相对用语可用于容易地记载一个器件或构成要素与其他器件或构成要素的相关关系。空间相对用语应理解为包括图中所示的方向以及器件在使用时或操作时的彼此不同的方向的用语。在整篇说明书中，相同的附图标记指示相同的构成要素。

虽然使用了第一、第二等用语来描述各种器件、构成要素和/或段，但是这些器件、构成要素和/或段并不受限于这些用语。这些用语仅出于将一个器件、构成要素或段与其他器件、构成要素或段区分开的目的使用。因此，下文中所提及的第一器件、第一构成要素或第一段在本发明的技术思想范围内也可以是第二器件、第二构成要素或第二段。

本说明书中所记载的实施方式将参照作为本发明的理想化示意图的平面图和剖视图进行说明。因此，示例图的形态可根据制造技术和/或容许误差等发生改变。因此，本发明实施方式并不限于所示的特定形态，而是也包括根据制造工艺产生的形态的变化。因此，图中所例示的区域具有概括的属性，并且图中所例示的区域的形态用于示例性地示出器件的区域的特定形态，而不是限制发明的范畴。

下文中，参照附图对本发明的优选实施方式进行更加详细的说明。

图1是根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图2是示出从上方查看图1中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

参照图1和图2，根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置1000包括台100、喷嘴部200、第一加热单元hw1和储存罐300。

台100具有板形状。在本实施方式中，台100具有包括在第一方向dr1上延伸的长边和在与第一方向dr1相交的第二方向dr2上延伸的短边的板形状。在本实施方式中，第二方向dr2与待后述的上部方向和下部方向平行。

台100包括第一部分110和第二部分120。在本实施方式中，第二部分120可提供为多个。多个第二部分120在第一方向dr1上与第一部分110的两侧连接。即，第一部分110可布置在两个第二部分120之间。第一部分110和第二部分120彼此结合以具有呈一体的板形状。在本发明中，第一部分110和第二部分120各自的数量和布置关系并不限于任何一个实施方式。

台100的外表面包括前表面fs和后表面rs。前表面fs和后表面rs在与第一方向dr1和第二方向dr2相交的第三方向dr3上彼此相对。第三方向dr3限定为台100的厚度方向。

玻璃衬底sub可安置在台100的前表面fs上。即，台100的前表面fs可以是安置面。

在包括第一方向dr1和第二方向dr2的平面上，第一区域ar1和第二区域ar2可被限定在玻璃衬底sub上。在上述平面上，玻璃衬底sub的第一区域ar1与台100的第一部分110重叠，并且第二区域ar2与台100的第二部分120重叠。

玻璃衬底sub的第一区域ar1和第二区域ar2各自的数量和布置关系可与台100的第一部分110和第二部分120各自的数量和布置关系对应地改变。示例性地，在台100的第一部分110提供为多个的情况下，可在玻璃衬底sub上限定多个第一区域ar1。

喷嘴部200在第三方向dr3上与台100相对。玻璃衬底sub可布置在喷嘴部200与台100之间。

喷嘴部200可在第一方向dr1上排列，并且可包括在第二方向dr2上延伸的多个喷头210、220。各喷头210、220包括多个喷射喷嘴enl。喷射喷嘴enl在朝向台100的方向上喷射蚀刻溶液el。喷射喷嘴enl在各喷头210、220的外表面上在第二方向dr2上排列。

喷头210、220包括第一喷头210和第二喷头220。在本实施方式中，第二喷头220提供为多个。在平面上，第一喷头210与台100的第一部分110重叠，并且第二喷头220与台100的第二部分120。

本发明不受限于喷头210、220的数量。示例性地，第一喷头210和第二喷头220的数量可根据第一部分110和第二部分120各自的面积、喷头210、220的尺寸或喷头210、220与台100之间的间距而改变。

第一加热单元hw1布置于台100的第一部分110。在本实施方式中，第一加热单元hw1可布置在第一部分110的内部。第一加热单元hw1可提供为多个，并且分别具有在第二方向dr2上延伸的杆形状。示例性地，第一加热单元hw1可包括多个加热线。然而，本发明并不受限于第一加热单元hw1的形状。在本发明另一实施方式中，各第一加热单元hw1可以是曲线形态的杆形状，并且在又一实施方式中，第一加热单元hw1可具有按钮形状、片形状等。

另外，在本实施方式中，在由第一方向dr1和第三方向dr3限定的平面上，第一加热单元hw1的截面可以是圆形状。然而，本发明并不受限于第一加热单元hw1的截面形状。

第一加热单元hw1将第一部分110加热至第一平均温度et1。在第二部分120具有第二平均温度et2的情况下，第一平均温度et1可高于第二平均温度et2。经加热的第一部分110可将第一平均温度et1的热提供至玻璃衬底sub的安置在第一部分110上的第一区域ar1。

储存罐300储存蚀刻溶液el。储存罐300与喷嘴部200连接以向喷嘴部200提供蚀刻溶液el。在本实施方式中，蚀刻溶液el可包括氢氟酸(hf)。

虽然在图1和图2中储存罐300布置成在第三方向dr3上与台100相对，且其中喷嘴部200置于储存罐300与台100之间，但是本发明并不对储存罐300的位置进行特别限定。

虽然未示出，但是储存罐300可包括蚀刻溶液混合部(未示出)、浓度调节部(未示出)和温度控制部(未示出)。

蚀刻溶液混合部(未示出)包括蚀刻原液供给部(未示出)和di供给部(未示出)。蚀刻溶液混合部(未示出)与预设浓度对应地将蚀刻原液供给部(未示出)的蚀刻原液与di供给部(未示出)的去离子水(deionizedwater，di)进行混合。

浓度测量部(未示出)测量蚀刻溶液的浓度。浓度测量部(未示出)可将测量出的浓度信息提供到蚀刻溶液混合部(未示出)。

温度控制部(未示出)调节蚀刻溶液的温度。在本实施方式中，蚀刻溶液的温度可以是恒定的。

根据本发明实施方式的玻璃蚀刻装置1000还可包括连接部cnp。连接部cnp在第三方向dr3上延伸，以连接储存罐300与喷嘴部200。在本实施方式中，连接部cnp提供为多个，并与喷头210、220一一对应地连接。

在本实施方式中，连接部cnp可以是管道或软管。此外，根据本发明另一实施方式，连接部cnp可被省略。具体地，喷嘴部200可从储存罐300的一表面延伸。即，喷嘴部200可具有与储存罐300呈一体的形状。

虽然未示出，但是玻璃蚀刻装置1000还可包括洗涤部(未示出)和干燥部(未示出)。洗涤部(未示出)去除残留在完成蚀刻的玻璃衬底sub上的蚀刻原液和杂质。示例性地，洗涤部(未示出)可以是蒸馏水洗涤机或超声波洗涤机。干燥部(未示出)对完成洗涤的玻璃衬底sub进行干燥。

图3是根据本发明实施方式的玻璃蚀刻方法的顺序图。

结合图1和图2来参照图3，将玻璃衬底sub安置在台100上(s1)。被安置的玻璃衬底sub的第一区域ar1与台100的第一部分110重叠，并且第二区域ar2与台100的第二部分120重叠。

驱动第一加热单元hw1以将第一部分110加热至第一平均温度et1(s2)。经加热的第一部分110将第一平均温度et1的热传递到玻璃衬底sub的第一区域ar1。第一平均温度et1高于第二区域ar2所具有的第二平均温度et2。

虽然未示出，但是根据本发明另一实施方式，也可在对第一部分110进行加热(s2)之后，将玻璃衬底sub安置在台100上(s1)。此外，根据本发明又一实施方式，可在通过不同于第一加热单元hw1的其他加热部件将第一区域ar1直接加热至第一平均温度et1之后，将玻璃衬底sub安置在台100上。

然后，利用喷嘴部200将蚀刻溶液el喷射到玻璃衬底sub上(s3)。随着蚀刻溶液el通过喷嘴部200喷射到玻璃衬底sub上，玻璃衬底sub被蚀刻。

如上所述，根据本实施方式，由于玻璃衬底sub的第一区域ar1的温度高于第二区域ar2的温度，因此第一区域ar1被蚀刻的速度可能比第二区域ar2被蚀刻的速度快。

图4是完成蚀刻的玻璃衬底的立体图。

参照图4，完成蚀刻的玻璃衬底sub的第一区域ar1的厚度可大于第二区域ar2的厚度。具体地，玻璃衬底sub被蚀刻的蚀刻面具有在第一区域ar1中向内侧凹陷的曲面形状。在本实施方式中，在第一方向dr1上，第一区域ar1的中央部的厚度d1大于第二区域ar2的厚度d2。因此，完成蚀刻的玻璃衬底sub能够易于以第一区域ar1为中心进行折叠。

其结果，根据本实施方式的玻璃蚀刻装置1000可蚀刻成使得玻璃衬底sub的厚度根据区域而不同。即，根据本实施方式的玻璃蚀刻装置1000能够容易地对玻璃衬底sub进行蚀刻。

图5a至图5c是根据本发明另一实施方式的第一部分的剖视图。

根据本发明另一实施方式，布置在第一部分110a、110b、110c的内部的第一加热单元hw1可排列成各种形态。具体地，与第三方向dr3平行且经过第一部分110a、110b、110c的中心的虚拟线被限定为中心线cl。第一加热单元hw1可以以中心线cl为基准对称地排列。

示例性地，如图5a中所示，随着各第一加热单元hw1在第一部分110a内布置成逐渐远离中心线cl，第一加热单元hw1与安置面fs之间的距离可以变远。因此，安置在安置面fs上的玻璃衬底sub可在第一区域ar1内具有彼此不同的温度。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl处被加热至最高的温度，并且越远离中心线cl，加热的温度越低。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl附近被加热至高于第一平均温度et1的温度，并且第一区域ar1的在第一方向dr1上的两端被加热至低于第一平均温度et1的温度。玻璃衬底sub的第一区域ar1平均地具有第一平均温度et1。

作为又一实施方式，如图5b中所示，随着各第一加热单元hw1在第一部分110b内布置成逐渐远离中心线cl，各第一加热单元hw1的尺寸可以减小。因此，安置在安置面fs上的玻璃衬底sub可在第一区域ar1内具有彼此不同的温度。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl处被加热至最高的温度，并且越远离中心线cl，加热的温度越低。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl附近被加热至高于第一平均温度et1的温度，并且第一区域ar1的在第一方向dr1上的两端被加热至低于第一平均温度et1的温度。玻璃衬底sub的第一区域ar1平均地具有第一平均温度et1。

此外，如图5c中所示，随着各第一加热单元hw1在第一部分110c内布置成逐渐远离中心线cl，彼此相邻的第一加热单元hw1之间的距离可增加。即，越远离中心线cl，第一加热单元hw1的密度可减小。因此，安置在安置面fs上的玻璃衬底sub可在第一区域ar1内具有彼此不同的温度。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl处被加热至最高的温度，并且越远离中心线cl，加热的温度越低。即，玻璃衬底sub的第一区域ar1在中心线cl附近被加热至高于第一平均温度et1的温度，并且第一区域ar1的在第一方向dr1上的两端被加热至低于第一平均温度et1的温度。玻璃衬底sub的第一区域ar1平均地具有第一平均温度et1。

图6是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图7是示出从上方查看图6中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图6和图7，根据本发明另一实施方式的第一加热单元hw1-1布置在台100-1的后表面rs上。因此，第一加热单元hw1-1可暴露至外部。虽然未示出，但是玻璃蚀刻装置1000-1还可包括对第一加热单元hw1-1的加热温度进行调节的加热调节部(未示出)。加热调节部(未示出)可与第一加热单元hw1-1电连接。

图8是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图9是示出从上方查看图8中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图8和图9，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-2还包括第二加热单元hw2-2。

第二加热单元hw2-2布置于台100的第二部分120。在本实施方式中，第二加热单元hw2-2可布置在第二部分120的内部。第二加热单元hw2-2可提供为多个，并且分别具有在第二方向dr2上延伸的杆形状。

第一加热单元hw1-2将第一部分110加热至第一平均温度et1，并且第二加热单元hw2-2将第二部分120加热至第二平均温度et2。第二平均温度et2低于第一平均温度et1。

图10是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图11是示出从上方查看的图10中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图10和图11，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-3还可包括第二加热单元hw2-3。

在本实施方式中，第二加热单元hw2-3可提供为多个。第二加热单元hw2-3布置于台100的第二部分120。在本实施方式中，第一加热单元hw1-3可布置在第一部分110的内部，并且第二加热单元hw2-3可布置在台100的后表面rs上。第二加热单元hw2-3可暴露至外部。根据本实施方式，第一加热单元hw1-3与安置面fs之间的距离可小于第二加热单元hw2-3与安置面fs之间的距离。因此，第一部分110可比第二部分120先达到预设的加热温度。即，第一区域ar1的蚀刻速度可比第二区域ar2的蚀刻速度快。因此，根据本实施方式，能够更容易地进行玻璃衬底sub的根据区域的蚀刻工艺。

图12是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图13是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻方法的顺序图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图12和图13，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-4的第一加热单元hw1-4可布置于第一喷头210。第一加热单元hw1-4可具有在第二方向dr2上延伸的杆形状。在本实施方式中，第一加热单元hw1-4可以是加热线。然而，本发明并不限于此。示例性地，第一加热单元hw1-4可具有曲线形状。此外，第一加热单元hw1-4可具有加热按钮或片形状。

虽然在图12中第一加热单元hw1-4布置于第一喷头210的在第三方向dr3上与喷射喷嘴enl相对的外表面，但是本发明并不限于此。根据本发明又一实施方式，第一加热单元hw1-4可布置成围绕第一喷头210的外表面的形态。此外，根据本发明又一实施方式，第一加热单元hw1-4可布置在第一喷头210的内部。

第一加热单元hw1-4将第一喷头210加热至第一温度t1。在第二喷头220具有第二温度t2的情况下，第一温度t1可高于第二温度t2。经加热的第一喷头210可将第一温度t1的热提供至第一喷头210内部的第一蚀刻溶液。

当衬底被安置在台100上(s1′)时，加热至第一温度t1的第一喷头210内部的第一蚀刻溶液从第一喷头210经由喷射喷嘴enl朝向玻璃衬底sub被喷射(s2′)。

各第二喷头220内部的第二蚀刻溶液具有第二温度t2，并且经由喷射喷嘴enl朝向玻璃衬底sub被喷射(s3′)。

第一喷头210中的第一蚀刻溶液和第二喷头220中的第二蚀刻溶液可被同时喷射。然而，本发明并不受限于喷头210、220的喷射顺序。

玻璃衬底sub的第一区域ar1通过从第一喷头210喷射的第一蚀刻溶液被蚀刻，并且第二区域ar2通过从第二喷头220喷射的第二蚀刻溶液被蚀刻。

由于第一蚀刻溶液的第一温度t1高于第二蚀刻溶液的第二温度t2，玻璃衬底sub的第一区域ar1的蚀刻速度可比第二区域ar2的蚀刻速度快。

图14是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图14，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-5还包括第二加热单元hw2-5。

第二加热单元hw2-5可提供为多个，并且布置于第二喷头220。由于第二加热单元hw2-5的形状与前述的第一加热单元hw1-4的形状相同，因此将省略其说明。

第二加热单元hw2-5将第二喷头220加热至第二温度t2。经加热的第二喷头220可将第二温度t2的热提供至第二喷头220的内部的蚀刻溶液。

图15是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图16是示出从上方查看图15中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图15和图16，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-6的储存罐300-6包括第一储存部310和第二储存部320。

第一储存部310储存第一蚀刻溶液el1。第一储存部310与第一喷头210连接以向第一喷头210提供第一蚀刻溶液el1。

第二储存部320储存第二蚀刻溶液el2。第二储存部320与第二喷头220连接以向第二喷头220提供第二蚀刻溶液el2。

在本实施方式中，第二储存部320提供为多个。第二储存部320在第一方向dr1上中间隔着第一储存部310相对。然而，本发明并不受限于第二储存部320的数量。根据本发明另一实施方式，可提供仅一个第二储存部320。

第一加热单元hw1-6布置于第一储存部310。第一加热单元hw1-6将储存在第一储存部310中的第一蚀刻溶液el1加热至第一温度t1。

第二加热单元hw2-6布置于第二储存部320。第二加热单元hw2-6将储存在第二储存部320中的第二蚀刻溶液el2加热至第二温度t2。

在本实施方式中，第一加热单元hw1-6和第二加热单元hw2-6可具有块形状并布置在第一储存部310和第二储存部320的下方。然而，本发明并不特别受限于第一加热单元hw1-6和第二加热单元hw2-6的形状和布置关系。

图17是根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置的立体图，并且图18是示出从上方查看图17中所示的玻璃蚀刻装置的形态的视图。

出于说明的便利，主要针对与本发明一实施方式不同之处进行说明，并且被省略的部分参照本发明一实施方式。此外，对于上文中所描述的构成要素赋予相同的附图标记，并且省略对上述构成要素的重复说明。

参照图17和图18，根据本发明另一实施方式的玻璃蚀刻装置1000-7的第一部分110可包括多个槽g。各个槽g可具有从第一部分110的安置面fs在第三方向dr3上向内凹陷的形态。

在本实施方式中，槽g的内侧面可包括曲面。示例性地，在包括第一方向dr1和第三方向dr3的平面上所查看的各个槽g的截面形状可呈半圆形状。然而，本发明并不受限于槽g的截面形状。示例性地，根据本发明另一实施方式，槽g的截面可以是四边形或其他多边形。

根据本实施方式，第一加热单元hw1-7一一对应地插入到槽g中。各第一加热单元hw1-7可具有与槽g对应的形状。示例性地，在包括第一方向dr1和第三方向dr3的平面上，各第一加热单元hw1-7截面可呈半圆形状。

第一加热单元hw1-7和槽g在第二方向dr2上延伸。

根据本实施方式，第一加热单元hw1-7的外表面的一部分可通过槽g暴露至外部。经暴露的上述第一加热单元hw1-7的外表面可布置在与台100的前表面fs相同的平面上。

虽然在上文中已参照附图进行了说明，但是本发明所属技术领域的技术人员可理解，在不脱离随附的权利要求书所记载的本发明的思想和领域的范围内，可对本发明进行各种修改和改变。此外，本发明中所公开的实施方式并非用于限定本发明的技术思想，而应解释为落入随附的权利要求书及其等同的范围内的所有技术思想均包括在本发明的权利范围内。

附图标记说明

1000：玻璃蚀刻装置sub：玻璃衬底

100：台110：第一部分

120：第二部分200：喷嘴部

210：第一喷头220：第二喷头

enl：喷射喷嘴300：储存罐

310：第一储存部320：第二储存部

cnp：连接部hw1：第一加热单元

el：蚀刻溶液cl：中心线