拉晶炉用取晶笼装置的制作方法

文档序号:17303480发布日期:2019-04-05 19:11阅读:566来源:国知局
拉晶炉用取晶笼装置的制作方法

本实用新型涉及单晶棒生产辅助设备技术领域,尤其涉及一种拉晶炉用取晶笼装置。



背景技术:

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉用取晶笼装置的作用如下:在硅单晶拉制完成后,将晶棒放入取晶笼内,采用取晶笼装置可将晶棒取出、搬运到工作平台上,从而降低晶棒搬运损坏的风险。目前市面上很多单晶炉都采用简易的取晶笼,容易造成晶棒取出困难,移动不方便、晶棒易掉落损坏等现象。



技术实现要素:

有必要提出一种方便取放和移动的拉晶炉用取晶笼装置。

一种拉晶炉用取晶笼装置,包括第一半体、第二半体、第一支撑体、第二支撑体,第一半体和第二半体相对设置,以形成用于放置晶棒的空心圆柱体,第一半体和第二半体的一侧具有铰接件,另一侧具有开合件,第一支撑体和第二支撑体沿着晶棒长度方向活动设置于第一半体的下方,用于支撑第一半体和第二半体。

优选的,所述第一半体和第二半体具有相同结构,第一半体包括若干轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆,若干轴向拉杆沿着晶棒长度方向等间距设置,若干弧形撑杆沿着晶棒径向方向等间距设置,轴向拉杆和径向弧形拉杆相对固定连接,以形成放置晶棒的空心半圆柱体,收口弧形拉杆设置与若干轴向拉杆的端部,收口弧形拉杆的长度小于径向弧形拉杆的长度,且收口弧形拉杆向空心半圆柱体内部缩进,以使收口弧形拉杆与端部的径向弧形拉杆之间形成容纳晶棒尖端的空间。

优选的,分别在位于最外侧的第一半体的两个轴向拉杆上设置铰接件和开合件,分别在位于最外侧的第二半体的两个轴向拉杆上设置铰接件和开合件,第一半体的铰接件与第二半体的铰接件铰接,第一半体的开合件与第二半体的开合件插接。

优选的,所述第一支撑体和第二支撑体具有相同结构,第一支撑体包括弧形撑杆、竖向撑杆、横向撑杆,弧形撑杆、竖向撑杆、横向撑杆依次首尾连接形成支撑框架,所述弧形撑杆的形状与第一半体的外壁形状匹配,用于放置第一半体。

优选的,还在所述第一支撑体和第二支撑体的底部设置滚轮,以实现活动移动。

优选的,还在所述第一半体的轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆的外表面以及第二半体的轴向拉杆、径向弧形拉杆、收口弧形拉杆的外表面设置柔性保护层,避免晶棒被机械损伤。

优选的,所述拉晶炉用取晶笼装置还第三支撑体,第三支撑体为刚性框架,所述刚性框架沿着第一半体和第二半体的径向方向设置于其外壁上,第三支撑体的下表面与第一半体和第二半体的轴向拉杆垂直,以将所述拉晶炉用取晶笼装置支撑于外部二层平台上。

相对开合设置的第一半体和第二半体,不仅形成了放置晶棒的空心容纳体,而且通过相对打开的方向方便了晶棒的取放,第一支撑体和第二支撑体形成了水平支撑件,晶棒水平放置能够增加其放置稳定性,还能使晶棒保持与地面较高的距离,避免地面热量和杂质的污染,而且相对活动设置的支撑体能够满足取晶笼随意水平放置或竖直放置的需求。

附图说明

图1为拉晶炉用取晶笼装置的结构示意图。

图2为拉晶炉用取晶笼装置的另一角度的结构示意图。

图3为所述第一支撑体的结构示意图。

图4为拉晶炉用取晶笼装置的使用状态的示意图。

图5为拉晶炉用取晶笼装置放置于二层平台上时的示意图。

图中:第一半体10、轴向拉杆11、径向弧形拉杆12、收口弧形拉杆13、第二半体20、第一支撑体30、弧形撑杆31、竖向撑杆32、横向撑杆33、滚轮34、第二支撑体40、第三支撑体50、铰接件60、开合件70、晶棒100、二层平台200。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

参见图1至图5,本实用新型实施例提供了一种拉晶炉用取晶笼装置,包括第一半体10、第二半体20、第一支撑体30、第二支撑体40,第一半体10和第二半体20相对设置,以形成用于放置晶棒100的空心圆柱体,第一半体10和第二半体20的一侧具有铰接件60,另一侧具有开合件70,第一支撑体30和第二支撑体40沿着晶棒100长度方向活动设置于第一半体10的下方,用于支撑第一半体10和第二半体20。

进一步,所述第一半体10和第二半体20具有相同结构,第一半体10包括若干轴向拉杆11、径向弧形拉杆12、收口弧形拉杆13,若干轴向拉杆11沿着晶棒100长度方向等间距设置,若干弧形撑杆31沿着晶棒100径向方向等间距设置,轴向拉杆11和径向弧形拉杆12相对固定连接,以形成放置晶棒100的空心半圆柱体,收口弧形拉杆13设置与若干轴向拉杆11的端部,收口弧形拉杆13的长度小于径向弧形拉杆12的长度,且收口弧形拉杆13向空心半圆柱体内部缩进,以使收口弧形拉杆13与端部的径向弧形拉杆12之间形成容纳晶棒100尖端的空间。

进一步,分别在位于最外侧的第一半体10的两个轴向拉杆11上设置铰接件60和开合件70,分别在位于最外侧的第二半体20的两个轴向拉杆11上设置铰接件60和开合件70,第一半体10的铰接件60与第二半体20的铰接件60铰接,第一半体10的开合件70与第二半体20的开合件70插接。

进一步,所述第一支撑体30和第二支撑体40具有相同结构,第一支撑体30包括弧形撑杆31、竖向撑杆32、横向撑杆33,弧形撑杆31、竖向撑杆32、横向撑杆33依次首尾连接形成支撑框架,所述弧形撑杆31的形状与第一半体10的外壁形状匹配,用于放置第一半体10。

进一步,还在所述第一支撑体30和第二支撑体40的底部设置滚轮34,以实现活动移动。

进一步,还在所述第一半体10的轴向拉杆11、径向弧形拉杆12、收口弧形拉杆13的外表面以及第二半体20的轴向拉杆11、径向弧形拉杆12、收口弧形拉杆13的外表面设置柔性保护层,避免晶棒100被机械损伤。

进一步,所述拉晶炉用取晶笼装置还第三支撑体50,第三支撑体50为刚性框架,所述刚性框架沿着第一半体10和第二半体20的径向方向设置于其外壁上,第三支撑体50的下表面与第一半体10和第二半体20的轴向拉杆11垂直,以将所述拉晶炉用取晶笼装置支撑于外部二层平台200上。

本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。

以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。

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