技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于离子交换玻璃基底薄膜沉积方法，包括如下步骤：(1)将含有钠离子的碱硅酸盐玻璃浸入含有钾离子的碱金属熔融盐中，进行离子交换处理；(2)将离子交换后的碱硅酸盐玻璃置于真空镀膜系统中，室温条件下沉积三氧化二铝薄膜阻挡层；(3)于25‑350℃条件下，在三氧化二铝薄膜阻挡层上沉积介质薄膜。本发明在离子交换玻璃基底和薄膜之间加入三氧化二铝薄膜阻挡层，避免了物理气相沉积过程离子交换玻璃基底强度下降；本发明的离子交换玻璃广泛有效地应用于光电触摸显示器件。
技术研发人员：张文杰;赵志敏;刘振鲁;李琳
受保护的技术使用者：南京航空航天大学
技术研发日：2019.06.19
技术公布日：2019.10.15