本实用新型涉及净化提纯系统领域，尤其涉及低温吸附再生式气回流系统。
背景技术：
随着环保意识的不断提高，人们开始关注垃圾的处理，特别是工业垃圾，也就是传统的“三废”问题，当然现在对于三废的处理一般是先进行净化处理，净化处理之后再进行排放或二次利用。而本发明主要针对的是“废气”的回收净化，在工业生产中，大多数情况下是在高温或高压条件下生产的，而这种条件下，废气中会存在大量的杂质成分。
现有的氦气提纯系统仅能对含氦废气进行初次提纯，或是直接将其排放，难以达到国家对于高纯氦气的指标，易造成环境的污染；同时在氦气提纯的过程中，大多仅使用单个吸附桶进行，当吸附剂使用时间过长时，需要对吸附剂进行还原后才能继续使用，不仅浪费时间且耗费成本。
技术实现要素：
为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种，能够将经粗净化提纯后的粗氦气进入低温净化系统进一步净化提纯，同时提高净化效率的低温吸附再生式气回流系统。
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种低温吸附再生式气回流系统，包括若干个吸附桶，若干个所述吸附桶的进气口均与含氦废气罐连接，每个所述吸附桶上均设置有净化管道与再生回收管道，且能通过所述净化管道与净化系统的进气管道、出气管道并联，通过所述再生回收管道与高纯氦气回收装置的回收管道、再生气装置的再生管道并联，所述净化系统包括通过管道依次连接的转化机构、收集装置、压缩装置和纯化机构，所述转化机构包括并联的净化阀门和真空泵，所述回收管道、再生管道、进气管道和出气管道上均设置有阀门。
本实用新型提供的低温吸附再生式气回流系统，其有益效果是：利用转化机构中的真空泵实现对已经过一次净化系统的粗氦气进行进一步净化提纯，将残留的氧氮氩等组分进一步脱除，最终产品达到国家高纯氦气指标；同时若干个吸附桶均能通过其本身设置有的再生回收管道与高纯氦气回收装置、再生气装置并联，当一个吸附桶进行吸附剂的降温再生时，其余吸附桶能够继续进行氦气的提纯净化至高纯氦气回收装置内，实现氦气净化提纯的效率。
进一步地，所述收集装置与压缩装置之间设置有低压缓冲罐，所述低压缓冲罐的进气口通过管道与收集装置连接，所述低压缓冲罐的出气口通过管道与压缩装置连接，保持收集装置与压缩装置之间的气流平稳性。
进一步地，所述压缩装置与纯化机构之间设置有中压缓冲罐，所述中压缓冲罐的进气口通过管道与压缩装置连接，所述中压缓冲罐的出气口通过管道与纯化机构连接，保持压缩装置与纯化机构之间的气流平稳性，并进行冷凝除水。
进一步地，所述收集装置为废气储罐，所述废气储罐的罐口与管道连接，实现对气体的收集。
进一步地，所述压缩装置为压缩机，所述压缩机包括外壳和设置在外壳内的压缩机元件，所述外壳上设置有压缩进气口和压缩出气口，所述压缩进气口和压缩出气口上均设置有管道，经压缩机将氦气压缩到工艺压力。
进一步地，所述吸附桶上设置有放空支管，对吸附桶里的废气进行放空。
进一步地，所述吸附桶内的吸附材质为活性氧化铝或分子筛或活性炭，实现有效吸附。
附图说明
图1为本实用新型的剖面结构示意图。
图中：
1-吸附桶；2-净化管道；3-再生回收管道；4-进气管道；5-出气管道；6-高纯氦气回收装置；61-回收管道；7-再生气装置；71-再生管道；8-净化阀门；9-真空泵；10-管道；11-阀门；12-收集装置；13-压缩装置；14-低压缓冲罐；15-中压缓冲罐；16-放空支管。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1所示，一种低温吸附再生式气回流系统，其特征在于：包括若干个吸附桶1，吸附桶1内的吸附材质为活性氧化铝或分子筛或活性炭，吸附桶1上设置有放空支管16，若干个吸附桶1的进气口均与含氦废气罐连接，每个吸附桶1上均设置有净化管道2与再生回收管道3，且能通过净化管道2与净化系统的进气管道4、出气管道5并联，通过再生回收管道3与高纯氦气回收装置6的回收管道61、再生气装置7的再生管道71并联，净化系统包括通过管道10依次连接的转化机构、收集装置12、压缩装置13和纯化机构，收集装置12与压缩装置13之间设置有低压缓冲罐14，低压缓冲罐14的进气口通过管道10与收集装置12连接，低压缓冲罐14的出气口通过管道10与压缩装置13连接，压缩装置13与纯化机构之间设置有中压缓冲罐15，中压缓冲罐15的进气口通过管道10与压缩装置13连接，中压缓冲罐15的出气口通过管道10与纯化机构连接，收集装置12为废气储罐，废气储罐的罐口与管道10连接，压缩装置13为压缩机，压缩机包括外壳和设置在外壳内的压缩机元件，外壳上设置有压缩进气口和压缩出气口，压缩进气口和压缩出气口上均设置有管道10，转化机构包括并联的净化阀门8和真空泵9，回收管道61、再生管道71、进气管道4和出气管道5上均设置有阀门11。
具体工作过程：含氦废气进入吸附桶1内后，进气管道4上的阀门11打开，同时出气管道5上的阀门11关闭、净化阀门8打开，氦气经进气管道4进入净化系统中，并经管道10依次经过收集装置12、低压缓冲罐14、压缩装置13、中压缓冲罐15和纯化机构，此时进气管道4上的阀门11关闭，出气管道5上的阀门11打开，经过粗净化提纯后的粗氦气回到吸附桶1内后，进气管道4上的阀门11打开，同时出气管道5上的阀门11关闭、净化阀门8关闭，粗氦气经进气管道4进入净化系统中，此时因粗氦气的压力因经过依次净化提纯而达到-1至0公斤，需经过真空泵9后再依次经过收集装置12、低压缓冲罐14、压缩装置13、中压缓冲罐15和纯化机构进行净化提纯，此时进气管道4上的阀门11关闭，出气管道5上的阀门11打开，进一步脱除残留气体的氦气进入吸附桶1内后，回收管道61上的阀门11打开，再生管道71上的阀门11关闭，高纯氦气通过再生回收管道3及回收管道61后进入高纯氦气回收装置6内，实现对高纯氦气的回收；
当吸附桶1内的吸附剂使用时间过长时，需要对吸附剂还原后才能继续使用，此时回收管道61上的阀门11关闭，再生管道71上的阀门11打开，再生气装置7将通过再生管道71和再生回收管道3对吸附桶1进行降温复热，由于多个吸附桶1的净化管道2均与净化系统的进气管道4、出气管道5并联，此时将处于再生气中吸附桶1进气管道4上的阀门11、出气管道5上的阀门11均关闭，同时开启未处于再生气中吸附桶1进气管道4上的阀门11、出气管道5上的阀门11，从而实现氦气净化提纯的效率。
利用转化机构中的真空泵9实现对已经过一次净化系统的粗氦气进行进一步净化提纯，将残留的氧氮氩等组分进一步脱除，最终产品达到国家高纯氦气指标；同时若干个吸附桶1均能通过其本身设置有的再生回收管道3与高纯氦气回收装置6、再生气装置7并联，当一个吸附桶1进行吸附剂的降温再生时，其余吸附桶1能够继续进行氦气的提纯净化至高纯氦气回收装置6内，实现氦气净化提纯的效率。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。