1.一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，包括泵端载台、导轨、密封装置底座，所述导轨固定在载台上表面，所述密封装置底座底部设有导轨滑块，所述导轨滑块活动安装在导轨上，所述导轨滑块可以沿导轨滑动，其特征在于，导轨一端的载台上设有定位挡板，所述导轨另外一端的载台上设有限位板；所述定位挡板同侧的泵端载台上设有防变形弹性件，所述防变形弹性件包括导杆、弹簧、固定底座，所述固定底座活动安装在泵端载台上，所述导杆间隙穿过固定底座，所述弹簧套设在导杆上，所述导杆与所述密封装置底座位于同一水平高度。
2.根据权利要求1所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述固定底座上设有滑套，所述滑套呈圆筒状，所述导杆间隙穿过所述滑套内。
3.根据权利要求1所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述导杆一端设有限位块，所述弹簧置于限位块和固定底座之间。
4.根据权利要求1所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述固定底座呈l型，所述固定底座底部设有腰形孔，所述固定底座通过紧固件穿过腰形孔固定在泵端载台上。
5.根据权利要求3所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述导杆另外一端设有用以防止导杆脱离滑套的止位挡圈。
6.根据权利要求1所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述固定底座上还设有加强撑板。
7.根据权利要求1所述的一种用于pcvd沉积车床的基管防变形装置，其特征在于，所述弹簧压缩时的最大回复力大于等于所述导轨和导轨滑块之间的最大静摩擦力，且该回复力大小和最大静摩擦力大小的差值不超过最大静摩擦力大小的50％。