保温筒排气结构和单晶硅炉的制作方法

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种保温筒排气结构和单晶硅炉。

背景技术：

在单晶硅的生产工艺中，需要向单晶硅炉中通入氩气进行冷却，并带走拉单晶过程中产生的废气。传统的保温筒的排气孔开设在筒体的侧壁上，并且，排气孔与筒体的底壁之间具有一定的间隔，氩气和废气的混合气体与保温筒的底壁相互接触后，会出现反冲的情况，使得单晶硅炉内的氧化严重，并且出现了气流旋涡，使得单晶炉内的温度变化不稳定，从而影响了拉晶的速度和质量。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种保温筒排气结构和单晶硅炉，主要目的是提供一种能够使保温筒排气顺畅的保温筒排气结构。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供了一种保温筒排气结构，包括：

筒体，所述筒体具有底壁和侧壁，所述侧壁上设置至少两个凹槽，所述底壁上设置至少两个排气孔，每个所述凹槽的具有底面和第一侧面，所述底面位于所述侧壁上，所述第一侧面位于所述底壁上，所述排气孔设置在所述第一侧面。

进一步的，所述凹槽沿所述筒体的径向设置，至少两个所述凹槽以所述筒体的轴线为中心对称分布。

进一步的，所述凹槽的纵向截面的形状为长方形。

进一步的，排气管，所述排气管至少为两个，每个所述排气管设置在其中一个所述排气孔上，用于排出气体。

进一步的，所述凹槽还具有第二侧面和第三侧面，所述第二侧面和所述第三侧面相对设置，所述第二侧面和所述第三侧面均为弧面。

进一步的，所述排气孔具有第一边缘，所述第一边缘设置在所述排气孔靠近所述凹槽的一端，所述第一边缘为圆角弧面。

进一步的，所述排气孔远离所述凹槽的一端具有螺纹，所述排气管螺纹连接于所述排气孔。

进一步的，所述筒体的材料为碳-碳复合材料。

另一方面，本实用新型实施例还提供一种单晶硅炉，包括：

炉体和上述的保温筒排气结构，其中，所述炉体设置在所述保温筒排气结构的所述筒体内。

与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：

本实用新型实施例提供的技术方案中，筒体的作用是对单晶硅炉进行保温，筒体具有底壁和侧壁，侧壁上设置至少两个凹槽，底壁上设置至少两个排气孔，每个凹槽的具有底面和第一侧面，底面位于侧壁上，第一侧面位于底壁上，排气孔设置在第一侧面，相对于现有技术，将保温筒的排气孔开设在筒体的侧壁上，并且，排气孔与筒体的底壁之间具有一定的间隔，氩气和废气的混合气体与保温筒的底壁相互接触后，会出现反冲的情况，使得单晶硅炉内的氧化严重，并且出现了气流旋涡，使得单晶炉内的温度变化不稳定，从而影响了拉晶的速度和质量，本技术方案中，通过在侧壁上设置至少两个凹槽，然后在凹槽的第一侧面上设置排气孔，并且，第一侧面位于底壁上，使得凹槽与底壁相互贴合，混合气体接触底壁后，能够依次通过凹槽和排气孔排出，使得保温筒的排气更为顺畅，消除了气流反冲的问题，从而减少了炉体内的氧化，提高了拉晶的速度和质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种温筒排气结构的结构示意图；

图2为图1中a-a处的剖视结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

一方面，如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种保温筒排气结构，包括：

筒体，筒体具有底壁11和侧壁12，侧壁12上设置至少两个凹槽13，底壁11上设置至少两个排气孔14，每个凹槽13的具有底面131和第一侧面132，底面131位于侧壁12上，第一侧面132位于底壁11上，排气孔14设置在第一侧面132。

本实用新型实施例提供的技术方案中，筒体的作用是对单晶硅炉进行保温，筒体具有底壁11和侧壁12，侧壁12上设置至少两个凹槽13，底壁11上设置至少两个排气孔14，每个凹槽13的具有底面131和第一侧面132，底面131位于侧壁12上，第一侧面132位于底壁11上，排气孔14设置在第一侧面132，相对于现有技术，将保温筒的排气孔14开设在筒体的侧壁12上，并且，排气孔14与筒体的底壁11之间具有一定的间隔，氩气和废气的混合气体与保温筒的底壁11相互接触后，会出现反冲的情况，使得单晶硅炉内的氧化严重，并且出现了气流旋涡，使得单晶炉内的温度变化不稳定，从而影响了拉晶的速度和质量，本技术方案中，通过在侧壁12上设置至少两个凹槽13，然后在凹槽13的第一侧面132上设置排气孔14，并且，第一侧面132位于底壁11上，使得凹槽13与底壁11相互贴合，混合气体接触底壁11后，能够依次通过凹槽13和排气孔14排出，使得保温筒的排气更为顺畅，消除了气流反冲的问题，从而减少了炉体内的氧化，提高了拉晶的速度和质量。

上述筒体的作用是对单晶硅炉进行保温，筒体具有底壁11和侧壁12，侧壁12上设置至少两个凹槽13，底壁11上设置至少两个排气孔14，每个凹槽13的具有底面131和第一侧面132，底面131位于侧壁12上，第一侧面132位于底壁11上，排气孔14设置在第一侧面132，筒体采用碳-碳复合材料制成，碳-碳复合材料是碳纤维及其织物增强的碳基体复合材料。具有低密度、高强度、高比模量、高导热性、低膨胀系数、摩擦性能好，以及抗热冲击性能好、尺寸稳定性高等优点，采用碳-碳复合材料制成的筒体能够有效的增加保温筒的使用寿命，筒体的侧壁12上设置至少两个凹槽13，也就是说，凹槽13设置在侧壁12的内侧，并且没有贯穿筒体的侧壁12，每个凹槽13的底面131位于侧壁12上，每个凹槽13具有第一侧面132，第一侧面132位于底壁11上，排气孔14位于第一侧面132，也就是说，每个凹槽13设置在侧壁12靠近底壁11的边缘，当混合气体接触底壁11后，会沿着底壁11流向凹槽13内，相对于现有的保温筒的排气孔14设置在侧壁12的中间位置，本实施例中，将凹槽13设置在侧壁12靠近底壁11的一端，使得混合气体在与底壁11接触后，会沿着底壁11朝向底壁11的边缘位置流动，然后依次流入凹槽13和排气孔14内，从而达到方便排气的技术效果。

进一步的，如图1和图2所示，凹槽13沿筒体的径向设置，至少两个凹槽13以筒体的轴线为中心对称分布。本实施例中，进一步限定了凹槽13，凹槽13沿筒体的径向设置，也就是说，凹槽13的开口朝向筒体的轴线方向，为了提高排气的效果，将凹槽13设置为多个，多个凹槽13以筒体的轴线为中心对称分布，混合气体在接触底壁11后会沿着底壁11的延伸方向朝向侧壁12的方向流动，直至流入凹槽13内，从而提高了排气效果。

进一步的，如图1和图2所示，凹槽13的纵向截面的形状为长方形。本实施例中，进一步限定了凹槽13，凹槽13的纵向截面的形状为长方形，能够有效的增加排气的速度，并且，能够降低混合气体接触侧壁12后造成的反冲情况，从而提高了拉晶的速度和效率。

进一步的，如图1和图2所示，增加了排气管2，排气管2至少为两个，每个排气管2设置在其中一个排气孔14上，用于排出气体。本实施例中，增加了排气管2，排气管2的作用是将混合气体导出保温筒，因此，排气管2的数量与排气孔14的数量相同，排气管2和排气孔14之间采用螺纹连接的方式进行连接，排气孔14远离凹槽13的一端具有螺纹，排气管2螺纹连接于排气孔14，使得排气管2能够方便拆卸和安装，排气管2的另一端连接有真空泵，混合气体依次通过凹槽13、排气孔14和排气管2进入真空泵中，从而达到方便排气的技术效果。

进一步的，如图1和图2所示，凹槽13还具有第二侧面133和第三侧面134，第二侧面133和第三侧面134相对设置，第二侧面133和第三侧面134均为弧面。本实施例中，进一步限定了凹槽13，凹槽13的第二侧面133和第三侧面134分别位于侧壁12上，第二侧面133和第三侧面134分别垂直于底壁11，将第二侧面133和第三侧面134均设置为弧面，目的是消除凹槽13与侧壁12之间的直角拐角，通过将第二侧面133和第三侧面134均设置为弧面，凹槽13与侧壁12之间的直角拐角变为圆弧角，从而方便混合气体进入凹槽13内，同时降低了混合气体接触侧壁12后造成的反冲情况，从而提高了拉晶的速度和效率。

进一步的，如图1和图2所示，排气孔14具有第一边缘141，第一边缘141设置在排气孔14靠近凹槽13的一端，第一边缘141为圆角弧面。本实施例中，进一步限定了排气孔14，排气孔14靠近凹槽13的一端为第一边缘141，第一边缘141采用圆角弧面的设置方式，从而使凹槽13的第一侧面132与底壁11之间的直角拐角改变为圆弧角，从而方便混合气体通过排气孔14。

另一方面，本实用新型实施例还提供一种单晶硅炉，包括：

炉体和上述的保温筒排气结构，其中，炉体设置在保温筒排气结构的筒体内。

本实用新型实施例提供了一种单晶硅炉，用于使保温筒排气顺畅，筒体的作用是对单晶硅炉进行保温，筒体具有底壁11和侧壁12，侧壁12上设置至少两个凹槽13，底壁11上设置至少两个排气孔14，每个凹槽13的具有底面131和第一侧面132，底面131位于侧壁12上，第一侧面132位于底壁11上，排气孔14设置在第一侧面132，相对于现有技术，将保温筒的排气孔14开设在筒体的侧壁12上，并且，排气孔14与筒体的底壁11之间具有一定的间隔，氩气和废气的混合气体与保温筒的底壁11相互接触后，会出现反冲的情况，使得单晶硅炉内的氧化严重，并且出现了气流旋涡，使得单晶炉内的温度变化不稳定，从而影响了拉晶的速度和质量，本技术方案中，通过在侧壁12上设置至少两个凹槽13，然后在凹槽13的第一侧面132上设置排气孔14，并且，第一侧面132位于底壁11上，使得凹槽13与底壁11相互贴合，混合气体接触底壁11后，能够依次通过凹槽13和排气孔14排出，使得保温筒的排气更为顺畅，消除了气流反冲的问题，从而减少了炉体内的氧化，提高了拉晶的速度和质量。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。