1.本实用新型涉及石英管的技术领域，特别是涉及一种高温扩散炉用石英管。
背景技术：
2.在光伏行业，高温扩散炉与其内的石英管配合使用主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行掺杂，形成pn结，目前常规石英管设置在扩散炉的腔体内，通过加热扩散炉来加温，在扩散工艺过程中，待扩散的硅片置于石英管中央，扩散炉开始升温，对硅片进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。在热扩散的过程中需要进行化学试剂的进气、废液的排出以及温度的测量，需要进气管、排气管和热电偶进入石英管体内，进气管和排气管需要进行固定，以便工作过程中移动对产品进行移动，热电偶由于测量的特殊性需要与石英管体进行接触，但在石英管体水平放置时，由于硅片结构的设置，有不可与管体底部接触。现有的固定结构统一使用固定环进行固定，一方面热电偶与石英管体不接触测量不够准确，另一方面热电偶固定后难以测量多个方位的角度，存在一定的数据误差。
技术实现要素：
3.本实用新型目的是要提供一种高温扩散炉用石英管，解决了高温扩散炉用石英管中热电偶直接固定后测量数据不够准确的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.本实用新型提供了一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，所述石英管体，所述石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，所述进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管进入管内，所述进气管口和排气管口关于所述石英管体对称设置，所述热电偶管口设置在所述进气管口和排气管口之间，所述石英管体内设置有用于固定所述进气管和排气管的固定环，所述石英管体内还设置有定位件，所述定位件包括轴对称设置的第一部分和第二部分，所述热电偶管口的延伸路径在所述第一部分和第二部分之间。
6.优选地，所述固定环和定位件均通过柱状体和所述石英管体相连接。
7.优选地，所述石英管体封闭的一端还设置有中心进气管，所述中心进气管设置在所述石英管体一端的中心。
8.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
9.本实用新型的一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置，且连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气关口可用于插置进气管道，排气管口可用于插置排气管排出石英管内气体，热电偶管口用于插置热电偶，用于测量石英管内的温度，石英管体工作放置时，进气管口和排气管口设置在石英管体的两侧，热电偶关口设置在进气管口和排气管口正中间的下方，石英管体内设置有用于固定所述进气管和排气管的固定环，石英管体内还设置有定位件，定位件包括轴对称设置的第一部分
和第二部分，热电偶管口的延伸路径在第一部分和第二部分之间，第一部分和第二部分将热电偶的位置限定在石英管体的两壁部分，避免了热电偶与管体的底部相接触，一方面可以限定热偶管的位置，防止乱动，一方面使得热偶管紧贴石英管壁测量数据准确。避免干扰石英管体底部其他部件的安装。
附图说明
10.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
11.图1是本实用新型优选实施例的内部结构剖视图；
12.图2是图1内部结构截面图。
13.其中，附图标记说明如下：
14.1、石英管体；2、进气管口；4、热电偶管口；5、固定环；6、定位件；7、柱状体；8、中心进气管。
具体实施方式
15.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
17.参照图1所示，本实用新型包括石英管体1，石英管体1的一端开口设置，另一端封闭设置，封闭的一端连接有进气管口2、排气管口和热电偶管口4，进气管口2、排气管口和热电偶管口4分别用于进气管道、排气管道和热电偶的插入，进气管口2和排气管口对称设置，呈中心对称设置，热电偶管口4设置在进气管口和排气管口下方的中间，石英管体4内设置有用于固定进气管和排气管的固定环5，固定环5设置在进气管和排气管的延伸路径中，固定环5的数量取决于进气管和排气管延伸的长度，一般用于固定进气管和排气管的数量分别有两个。石英管体1内还设置有定位件6，定位件6包括对称设置的第一部分和第二部分，第一部分和第二部分在石英管体1正确放置时，位于石英管体1底部的两侧壁上，热电偶管口4的延伸路径在第一部分和第二部分之间，当热电偶从热电偶管口4插入时，由于热电偶在测量时尽量与石英管体1接触，所以未使用像固定环一样的固定方式，但可以在一定程度上限定热电偶的位置，同时使得热电偶与管壁接触，但又不与管底接触。可以增加热电偶测量数据的准确性，同时又可以使得管底的其他部件安装不受干扰。
18.如图2所示，固定环5和定位件6均通过柱状体7和石英管体1相连接，柱状体7和石英管体1的连接面积小于固定环5和定位件6与石英管体1的连接面积。固定环5和定位件6直接与石英管体1相连接，容易造成石英管体的炸裂。
19.石英管体1封闭的一端还设置有中心进气管8，中心进气管8设置在石英管体一端的中心，中心进气管8用于气体以非喷淋方式进入石英管体1的通道，在一定程度上可以使得硅片在石英管体1内的反应更加的充分。
20.具体使用时，进气管和排气管通过进气管口2和排气管口插入，通过固定环5进行固定，热电偶通过热电偶管口4进入时，可以紧靠石英管体1两侧壁上，由于定位件6的存在可以避免热电偶与管体底部接触，防止数据测量不准确。
21.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，其特征在于，所述石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，所述进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管进入管内，所述进气管口和排气管口轴对称设置，所述热电偶管口设置在所述进气管口和排气管口之间，所述石英管体内设置有用于固定所述进气管和排气管的固定环，所述石英管体内还设置有定位件，所述定位件包括轴对称设置的第一部分和第二部分，所述热电偶管口的延伸路径在所述第一部分和第二部分之间。2.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉用石英管，其特征在于：所述固定环和定位件均通过柱状体和所述石英管体相连接。3.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉用石英管，其特征在于：所述石英管体封闭的一端还设置有中心进气管，所述中心进气管设置在所述石英管体一端的中心。
技术总结
本实用新型涉及一种高温扩散炉用石英管，包括石英管体，石英管体的一端开口设置，另一端封闭设置并连接有进气管口、排气管口和热电偶管口，进气管口、排气管口和热电偶管口内可分别插置进气管、排气管和热电偶管进入管内，进气管口和排气管口关于石英管体对称设置，石英管体内设置有用于固定进气管和排气管的固定环和定位件，定位件包括轴对称设置的第一部分和第二部分，热电偶管口的延伸路径在第一部分和第二部分之间；第一部分和第二部分将热电偶的位置限定在石英管体的两壁部分，避免了热电偶与管体的底部相接触，一方面可以限定热偶管的位置，防止乱动，一方面使得热偶管紧贴石英管壁测量数据准确。避免干扰石英管体底部其他部件的安装。他部件的安装。他部件的安装。
技术研发人员：陈文
受保护的技术使用者：苏州安融石英有限公司
技术研发日：2021.04.23
技术公布日：2021/11/30