技术特征：
1.一种双周期多层tac/hfc超高温陶瓷抗烧蚀涂层，其特征在于：内过渡层sic涂层，选用tac，在≥1800℃的烧蚀环境下产生了熔融态的ta2o5，自愈合裂纹并与hfo2反应生成致密的氧化层，tac/hfchfc涂层。2.根据权利要求1所述双周期多层tac/hfc超高温陶瓷抗烧蚀涂层，其特征在于：所述内过渡层sic涂层的厚度为6-10μm。3.根据权利要求1所述双周期多层tac/hfc超高温陶瓷抗烧蚀涂层，其特征在于：所述tac涂层和hfc涂层的单层厚度分别为6-8μm。4.根据权利要求1所述双周期多层tac/hfc超高温陶瓷抗烧蚀涂层，其特征在于：所述tac/hfc涂层总厚度为50-110μm。5.一种制备权利要求1～4任一项所述双周期多层tac/hfc超高温陶瓷抗烧蚀涂层的方法，其特征在于步骤如下：步骤1：在送粉器中分别加入100-300g的hfcl4和tacl5粉体，然后将送粉器与沉积炉相连接；步骤2：将碳基材料打磨、清洗和烘干后用钼丝捆绑，并悬挂于带有螺旋送粉器的沉积炉内；步骤3：打开真空泵，将沉积炉内压力抽至5-10kpa，并进行保压，检查沉积炉气密性；步骤4：通入ar，流量为300ml/min下，将以沉积炉7-10℃/min的速度升温至1200-1400℃后，通入流量分别为5-20ml/min和2-4l/min的mts和h2，沉积1-3h后关闭h2和mts，获得内过渡层sic涂层；步骤5：将ar流量调至2-4l/min，进行沉积炉清洗，保持0.5-2h；步骤6：将ar流量调至200-800ml/min并通入流量分别为50-600ml/min和100-800ml/min的h2和ch4，打开装有tacl5的螺旋送粉器将转速设置为50-1000r/min，沉积1-3h后关闭h2和ch4，获得tac涂层；重复步骤5；步骤6：将ar流量调至200-800ml/min并通入流量分别为100-1000ml/min和60-800ml/min的h2和ch4，打开装有hfcl4的螺旋送粉器将转速设置为50-1000r/min，沉积1-3h后关闭h2和ch4，生成致密的氧化层即tac/hfchfc涂层。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述送粉器清洗后，在70℃的烘箱中烘干。7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述碳基材料为的碳基材料。
技术总结
本发明涉及一种双周期多层TaC/HfC超高温陶瓷抗烧蚀涂层及制备方法，目的为了提高现有超高温陶瓷涂层的抗烧蚀性能。技术方案是采用低压化学气相沉积(LPCVD)技术一步可在碳/碳复合材料表面制备出多层交替的TaC/HfC超高温陶瓷抗烧蚀涂层。TaC和HfC双周期多层结构不仅可以抑制裂纹的萌生和扩展；烧蚀过程中还可形成一种具有致密结构的Hf-Ta-O的固溶氧化层。与单层结构相比，所制备出的双周期多层TaC/HfC涂层在氧乙炔烧蚀环境下具有更加优异的抗烧蚀性能。烧蚀性能。烧蚀性能。
技术研发人员：张雨雷 张建 陈慧 陈睿聪
受保护的技术使用者：西北工业大学
技术研发日：2022.03.10
技术公布日：2022/6/28