一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置的制作方法

文档序号:31048922发布日期:2022-08-06 06:12阅读:249来源:国知局

1.本发明涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置。


背景技术:

2.目前在热场拆清时,需要对石英坩埚进行敲击,人工使用铁锤直接敲击石英坩埚,石英坩埚敲碎后与碳碳坩埚脱离,碳碳坩埚重复使用,但是,在敲击过程中,人工的敲击力难以控制,敲击点唯一,碳碳坩埚受到铁锤的间接或直接敲击,会导致碳碳埚帮受损,降低碳碳埚帮的使用寿命。


技术实现要素:

3.本发明目的就是为了解决现有石英坩埚敲击时易受损、工时长、效率低、费时费力和碳碳埚帮易受损的问题,提供了一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,节省人力和砸锅时间,减少拆清工时,增加碳碳埚帮使用寿命。
4.为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,包括相连的底座和安装架,安装架上连接一个竖直的升降气缸,升降气缸的下端连接一根竖直的伸缩杆,二者的轴线相互重合,以用于通过气缸带动伸缩杆上下移动;底座上固定一个导向座,导向座内设有一个竖直的导向孔,伸缩杆的下端正对着导向孔设置,二者的轴线相互重合,伸缩杆嵌入导向孔内,且伸缩杆与导向座之间设有一组调节弹簧,调节弹簧套设在伸缩杆的下部;伸缩杆的中部固定一组连接耳,连接耳沿着伸缩杆的周向均布,每个连接耳上均铰接一根支杆一,支杆一的一端铰接一根支杆二,支杆二的中部再铰接一根支杆三,导向座的外壁上固定一组斜杆,斜杆沿着导向座的轴向均布,且斜杆正对着连接耳的下方设置,支杆三的一端与斜杆铰接,以形成一个连杆机构;支杆二的端部均连接一个锤头,每个锤头的高度和角度均相同,锤头朝向石英坩埚的l角处设置,以用于对石英坩埚进行等角度、等高度地敲击。
5.进一步地,所述底座的下部设有一个接料装置,接料装置的顶部设有置放平台,置放平台的中部设有一个下料口,下料口正对着碳碳埚帮的下沿口设置,接料装置的一侧还设有一个出料口,以便于将敲碎后的石英坩埚掉落至接料装置内并排出。
6.进一步地,所述接料装置的内部设有接料仓,接料仓为弧形空腔,且其下部设有弹性材料组成的缓冲层,以用于对掉落的坩埚进行缓冲接料。
7.进一步地,所述接料装置的四周均布四个等高度的弹性紧固装置,弹性紧固装置包括水平伸缩缸、弹性导向件和弧形抱爪,水平伸缩缸通过支撑架连接在接料装置的侧壁上,水平伸缩缸的伸缩端通过弹性导向件与弧形抱爪相连,弧形抱爪的弧度与碳碳埚帮的外壁弧度相同,以用于通过气缸伸缩带动抱爪稳固埚帮。
8.进一步地,所述弹性导向件包括连接套筒、导向轴和缓冲弹簧,连接套筒的一端与水平伸缩缸的伸缩端相连、另一端套设在导向轴的端部且二者紧固相连,弧形抱爪的一侧设有导向孔,导向孔的上下侧设有同轴的导槽,导向轴伸入导向孔内,且导向轴的一端设有一对凸出的导块,导块连于导槽内,二者形成滑动导向配合,缓冲弹簧套设在弧形抱爪与连接套筒之间的导向轴上。
9.进一步地,所述弧形抱爪朝向碳碳埚帮的一侧连接一块防滑垫。
10.进一步地,所述支撑架包括一个水平的u型架,u型架的开口正对着碳碳埚帮设置,且二者的相连处固定一面弧形板,弧形板的弧度与碳碳埚帮的外壁弧度相同,u型架上连接一个垂直的三角架,三角架为等边三角形结构,且其顶部固定一面气缸安装板,以用于提高气缸安装的稳定性。
11.进一步地,所述连接套筒、导向轴、缓冲弹簧和导向孔的轴线相互重合。
12.进一步地,所述连接耳和斜杆均设为四个,锤头沿着石英坩埚的周向均布。进一步地,所述升降气缸通过气管与外部的空气压缩机相连,且接头处连有减压阀,以用于为升降气缸提供动力。本发明的技术方案中,通过空气压缩机作为气源装置,为此工装提供动力来源,空气压缩机将气体压力传给气缸,气缸将空气压力转换位机械能,通过升降使锤头等角度等高度地同时击打石英坩埚的l角处,并通过减压阀来控制压力大小,石英坩埚l角处碎裂后,从埚帮下沿口掉出,l角上部石英坩埚掉落,敲锅结束。本发明的装置减轻了石英坩埚敲击所需的人力消耗,减少了热场拆清工时,增加了碳碳埚帮使用寿命,降低了生产成本,提高了工作效率。
附图说明
13.图1为本发明的用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置结构图;图2为本发明的装置与坩埚的配合示意图;图3为本发明的装置与接料装置的配合示意图;图4为本发明的支撑架结构图;图5为本发明的弹性导向件爆炸图;图6为本发明的弹性导向件与户型抱爪的装配示意图。
具体实施方式
14.实施例1为使本发明更加清楚明白,下面结合附图对本发明的一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置进一步说明,此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明,并不用于限定本发明。
15.参见图1和图2,一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置,包括相连的底座1和安装架2,其特征在于:安装架2上连接一个竖直的升降气缸3,升降气缸3的下端连接一根竖直的伸缩杆4,二者的轴线相互重合,以用于通过气缸带动伸缩杆上下移动;底座1上固定一个导向座5,导向座5内设有一个竖直的导向孔5a,伸缩杆4的下端
正对着导向孔5a设置,二者的轴线相互重合,伸缩杆4嵌入导向孔5a内,且伸缩杆4与导向座5之间设有一组调节弹簧6,调节弹簧6套设在伸缩杆4的下部;伸缩杆4的中部固定四个连接耳7,连接耳7沿着伸缩杆4的周向均布,每个连接耳7上均铰接一根支杆一8,支杆一8的一端铰接一根支杆二9,支杆二9的中部再铰接一根支杆三10,导向座5的外壁上固定四根斜杆11,斜杆11沿着导向座5的轴向均布,且斜杆11正对着连接耳7的下方设置,支杆三10的一端与斜杆11铰接,以形成一个连杆机构;支杆二9的端部均连接一个锤头12,每个锤头12的高度和角度均相同,锤头12朝向石英坩埚13的l角处设置,以用于对石英坩埚进行等角度、等高度地敲击;参见图3,底座1的下部设有一个接料装置15,接料装置15的顶部设有置放平台15a,置放平台15a的中部设有一个下料口15b,下料口15b正对着碳碳埚帮14的下沿口设置,接料装置14的一侧还设有一个出料口15c,以便于将敲碎后的石英坩埚掉落至接料装置内并排出;接料装置15的内部设有接料仓151d,接料仓15d为弧形空腔,且其下部设有弹性材料组成的缓冲层15e,以用于对掉落的坩埚进行缓冲接料;参见图3和图4,接料装置15的四周均布四个等高度的弹性紧固装置16,弹性紧固装置16包括水平伸缩缸161、弹性导向件162和弧形抱爪163,水平伸缩缸161通过支撑架17连接在接料装置15的侧壁上,水平伸缩缸161的伸缩端通过弹性导向件162与弧形抱爪163相连,弧形抱爪163的弧度与碳碳埚帮14的外壁弧度相同,且弧形抱爪162朝向碳碳埚帮14的一侧连接一块防滑垫18,以用于通过气缸伸缩带动抱爪稳固埚帮;支撑架17包括一个水平的u型架171,u型架171的开口正对着碳碳埚帮14设置,且二者的相连处固定一面弧形板172,弧形板172的弧度与碳碳埚帮14的外壁弧度相同,u型架171上连接一个垂直的三角架173,三角架173为等边三角形结构,且其顶部固定一面气缸安装板174,以用于提高气缸安装的稳定性;参见图3、图5和图6,弹性导向件162包括连接套筒1621、导向轴1622和缓冲弹簧1623,连接套筒1621的一端与水平伸缩缸161的伸缩端相连、另一端套设在导向轴1622的端部且二者紧固相连,弧形抱爪163的一侧设有导向孔163a,导向孔163a的上下侧设有同轴的导槽163b,导向轴1622伸入导向孔163a内,且导向轴1622的一端设有一对凸出的导块1622a,导块1622a连于导槽163b内,二者形成滑动导向配合,缓冲弹簧1623套设在弧形抱爪163与连接套筒1621之间的导向轴1622上;连接套筒1621、导向轴1622、缓冲弹簧1623和导向孔163a的轴线相互重合。
16.本实施例中,升降气缸3通过气管与外部的空气压缩机相连,且接头处连有减压阀,以用于为升降气缸提供动力。
17.拆清热场后,敲石英坩埚13时使用本发明的敲锅气动工装,四个锤头12等角度、等高度放置,敲击时,同时击打l角处,重复使用3~5次,石英坩埚13的l角处碎裂,从埚帮下沿口掉出,l角上部石英坩埚掉落,敲锅结束。此过程中,空气压缩机作为气源装置,为此工装提供动力来源,空气压缩机通过气管与工装连接,接头处安装有减压阀,减压阀与气缸连接,空气压缩机将气体压力传给气缸,气缸将空气压力转换位机械能,并完成动作,通过减压阀来控制压力大小,从而控制气缸动作,完成敲埚作业。
18.本发明的装置不仅减轻了石英坩埚敲击所需的人力消耗,减少了热场拆清工时,
而且减弱了敲击时对外部埚帮的损害程度,增加了碳碳埚帮使用寿命,降低了生产成本,提高了工作效率。
19.除上述实施例外,本发明还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本发明要求的保护范围。
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