一种带自修复功能的导电玻璃镀膜方法和装置

一种带自修复功能的导电玻璃镀膜方法和装置
1.本技术为分案申请，原申请的申请号为2021112202540，申请日为2021年10月20日，发明专利名称为：一种带自修复功能的导电玻璃镀膜装置。
技术领域
2.本发明涉及导电玻璃镀膜领域，具体涉及一种带自修复功能的导电玻璃镀膜方法和装置。


背景技术：

3.导电玻璃，是一种电阻小、能导电的玻璃。建筑中应用的导电玻璃是透明的。应用透明导电膜玻璃可以制作多种具有特殊功能的建筑玻璃，如液晶调光玻璃，太阳能电池板，电加热玻璃，防盗玻璃和电磁屏蔽玻璃等。
4.透明导电膜玻璃具有较高的透光率，膜层对光的透过率可以达到90％，将其用作建筑玻璃可以满足采光的基本要求。由于其导电的特性，在应用开发中可以围绕这一功能开发出多种产品，潜在的应用方向还有很多。透明导电膜可以采用多种方法制造，目前应用较广泛的是磁控真空溅射工艺方法。
5.溅射工艺是以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。溅射只能在一定的真空状态下进行。
6.磁控溅射是由二极溅射基础上发展而来，在靶材表面建立与电场正交磁场，解决了二极溅射沉积速率低，等离子体离化率低等问题，成为镀膜工业主要方法之一。磁控溅射与其它镀膜技术相比具有如下特点：可制备成靶的材料广，几乎所有金属，合金和陶瓷材料都可以制成靶材；在适当条件下多元靶材共溅射方式，可沉积配比精确恒定的合金；在溅射的放电气氛中加入氧、氮或其它活性气体，可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜；通过精确地控制溅射镀膜过程，容易获得均匀的高精度的膜厚；通过离子溅射靶材料物质由固态直接转变为等离子态，溅射靶的安装不受限制，适合于大容积镀膜室多靶布置设计；溅射镀膜速度快，膜层致密，附着性好等特点，很适合于大批量，高效率工业生产。
7.现有的导电玻璃大多都是采用磁控溅射，但现有的磁控溅射设备存在一些不足，首先在溅射过程中存在失败率的问题，也就是次品率，在次品的处理过程种均是采用锌粉加上酸性溶液，对溅射镀膜失败的玻璃表面进行去除，然后用清水洗净，擦拭干净，然后进行二次镀膜，而现有的设备未设置检测设备，都是在制作完成后，统一检测，然后挑出废品，再重新清洗制作，这样增加了检测以及回收这两道工序，增加了经济成本，因此，需要一种带有自检功能，且具备将废品清洗的镀膜方法和装置。


技术实现要素：

8.为了解决上述存在的问题，本发明提供一种带自修复功能的电致变色镀膜装置。
9.本发明是通过以下技术方案实现：
10.本发明是一种带自修复功能的导电玻璃镀膜装置，包括：底座；四支撑柱，其竖直固定在底座的角落处；安装座，其固定在同侧两支撑柱顶部；安装架，其固定在两安装座上；镀膜装置，其升降设置在安装架顶部；电动伸缩杆，其固定在底座上；置物台，其适于放置导电玻璃，并通过电动伸缩杆升降连接；烘干装置，其位于置物台、镀膜装置之间；清洗装置，其位于烘干装置、置物台之间；当导电玻璃置于置物台上，电动伸缩杆带动置物台上升并与镀膜装置密封连接进行镀膜；完成镀膜后下行，通过检测装置进行通电检测，若不合格，将置物台上升至清洗装置处，对导电玻璃进行清洗，随后上升至烘干装置处，对导电玻璃进行烘干，最后上升至与镀膜装置密封连接重新进行镀膜。
11.为了说明置物台的具体结构，本发明采用置物台包括：承载板，其固定在两电动伸缩杆的活动端；工作台，其固定在承载板上，其适于放置导电玻璃；
12.承载板与电动伸缩杆连接，带动电动伸缩杆做升降运动，导电玻璃放置在工作台上，并更随承载板的升降进行升降运动。
13.为了说明检测装置的具体结构，本发明采用检测装置包括：检测器，其内嵌在所述工作台内；预警灯，其固定在所述工作台底部；所述检测器的两端分别固定连接有连接线，每个所述连接线的另一端均固定连接有所述接触块，两个所述接触块分别嵌入在所述工作台的两侧内壁上；
14.当镀膜完成后的导电玻璃进行检测时，将导电玻璃放置在工作台上，检测器两侧连接有连接线，每一连接线上固定有接触块，通过两接触块与导电玻璃的接触，接触块释放的电流检测导电玻璃的导电率，若合格则进入下一工序，若不合格则预警灯响起。
15.为了说明清洗装置的具体结构，本发明采用清洗装置包括：
16.第三连接架，其两端分别与相对应的支撑柱侧壁固定连接，每个第三连接架上均设置有两个滑动槽，每个滑动槽内均滑动连接有滑动块，每个滑动槽的内顶面和内底面上均设置有限位槽，每个限位槽内均滑动连接有限位块，每个限位块上均螺接有螺纹杆，每两个相对设置的滑动块之间设置有渗液筒，每个渗液筒的外壁上均匀固定设置有多个渗液孔，每个渗液筒的外壁上均套接有海绵套，位于同一侧的两个滑动块侧壁上均固定安装有驱动电机，每个驱动电机的输出端上均固定连接有连接轴，每个连接轴的另一端均穿过滑动块并与相对应的渗液筒侧壁固定连接，每个渗液筒的另一端均固定连接有空心杆，每个空心杆均穿过位于另一侧的相对应的两个滑动块并与其旋转连接，位于另一侧的两个滑动块侧壁上均固定安装有箱体，每个箱体的顶端均固定连接有加液管，每个箱体的一侧内壁上均贴合设置有密封限位环，每个空心杆的一端均伸入相对应的箱体内并与其旋转连接，且每个空心杆伸入箱体内的一端均与相对应的密封限位环侧壁固定连接，其中两个支撑柱的侧壁上均固定安装有四个三相异步电机，每个三相异步电机的输出端均伸入相对应的限位槽内并与相对应的螺纹杆一端固定连接；
17.所述承载板的底端固定连接有第一连接架，所述第一连接架的底端固定安装有收集箱，所述收集箱的背部固定连接有排液管，所述承载板的顶端固定安装有排气箱，所述排气箱的顶端与外界相通，所述排气箱的底端两侧分别固定连接有排水管，每个排水管上均固定安装有阀门，每个排水管的底端均与排水管的顶端固定连接并相通，所述承载板的顶端固定安装有第一密封垫，所述排气箱的一侧底端固定连接有吸气管，所述排气箱的内底面上固定安装有两个隔水板，每个排水管均设置在相对应的隔水板与排气箱一侧内壁之
间，所述排气箱两侧内壁之间固定连接有所述工作台；
18.清洗装置分为清洗导电玻璃部分以及收集清洗废水部分；清洗导电玻璃部分包括沿滑动槽移动的渗液筒，此时渗液筒的移动由三相异步电机驱动螺纹杆转动，随后带动限位块在限位槽内移动，实现了渗液筒相对于滑动槽长度方向的移动，渗液筒的自转由驱动电机提供动力；清洗液从加液管加入至箱体内，随后通过空心杆进入至渗液筒内部，通过渗液筒上的渗液孔浸润至海绵套上，海绵套与导电玻璃滚动接触，实现对导电玻璃表面镀膜的清洗；
19.需要注意的时，在本方案中有两个渗液筒，位于下方的渗液筒内放置有酸性溶液与锌粉的混合溶液，对导电玻璃表面进行预清洗；位于上方的渗液筒内放置有清洗液，对导电玻璃表面的镀膜彻底进行清除。
20.清洗完成后的废液通过排气箱顶部的开口进入至排气箱内，随后通过排气管进入至收集箱内，实现对废液的收集；第一密封垫的作用是起到定位、固定排气箱的作用，此外也能在镀膜操作中，与密封框架底部密封，随后通过吸气管将密封框架与真空罩存在的气体抽真空。
21.为了实现载物板在清洗或烘干或镀膜工序中停止运动，本发明采用承载板的两侧壁上均固定嵌入有红外线感应器，位于同一侧的两个支撑柱之间均固定连接有多个第二连接架，多个第二连接架的侧壁上由下到上依次固定安装有混合液红外线感应器、清洗液红外线感应器和烘干红外线感应器；当所述红外线感应器与混合液红外线感应器或清洗液红外线感应器或烘干红外线感应器感应时，所述电动伸缩杆停止运动；
22.这样一来，红外线感应器与混合液红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行预清洗；红外线感应器与清洗液红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行彻底；红外线感应器与烘干红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行烘干处理，去除导电玻璃表面清洗液。
23.为了实现对整体镀膜装置高度的调整，本发明采用所述安装架顶部通过液压缸连接有升降架，所述升降架底部固定有所述镀膜装置；
24.通过液压缸的升降实现了升降架的升降，通过升降架的升降带动镀膜装置的升降，从而能够将镀膜装置调整至合适高度。
25.为了说明镀膜装置的具体结构，本发明采用镀膜装置包括：真空罩，其顶部与所述升降架固定连接；密封框架，其固定在两对应所述安装座内侧；所述密封框架的内壁上固定安装有第二密封垫，所述真空罩底端伸入密封框架内并与密封框架内壁上设置的第二密封垫紧密贴合设置；所述密封框架的两侧内壁上均固定安装有与所述排气箱顶部密封的l型密封块，所述密封框架的一侧内壁内设置有活性气体腔体，所述活性气体腔体的一侧壁上固定设置有多个第二排气孔，且多个第二排气孔位于侧壁的顶部，另一侧安装座顶端固定安装有活性气体输送泵，所述活性气体输送泵的输出端与活性气体腔体相通；
26.所述真空罩的两侧壁上分别固定安装有两组密封圈，每组密封圈为两个，每组密封圈之间共同插接有旋转连接的靶材，每个靶材呈圆筒状，每个靶材的一端均固定连接有从动齿轮，所述真空罩的顶端固定安装有慢速电机，所述慢速电机的输出端固定安装有主动齿轮，所述主动齿轮分别与两个从动齿轮啮合设置，每个靶材的另一端均贴合设置有绝缘板，每个绝缘板与靶材的贴合处侧壁上均设置有燕尾槽，每个燕尾槽呈环形状，每个燕尾
槽内均滑动连接有燕尾环，每个靶材的一端均与相对应的燕尾环侧壁固定连接，每个绝缘板上均固定安装有高压电连接件，且每个绝缘板上均固定安装有多个磁条，所述真空罩的背部固定安装有第四连接架，所述第四连接架的底端固定安装有冷却水箱，所述冷却水箱的一侧固定连接有两组回水管和进水管，每组回水管和进水管的另一端分别与相对应的绝缘板固定连接并相通。
27.当电动伸缩杆带动导电玻璃上升的同时，吸气管通过排气箱的开口将真空罩、密封框架、承载板形成一密封的真空空间，随后l型密封块堵住排气箱的开口处，随后进行镀膜操作；
28.在镀膜过程中，从动齿轮在慢速电机、主动齿轮的传动下进行慢速转动，从而使得两个靶材始终处于慢速旋转的状态，启动高压电连接件，使得靶材通电启动活性气体输送泵，通过活性气体腔体顶部处的第二排气孔释放活性气体，活性气体在磁条产生的磁场作用下，与靶材产生撞击，从而使得靶材上的粒子落在玻璃上，形成镀膜，从而完成工作。在镀膜的过程中，会产生大量的热量，通过底端固定安装冷却水箱58的进水管56为安装靶材53的阴极提供冷却水，带走热量从通过回水管55返回冷却水箱。
29.为了说明烘干装置的具体结构，本发明采用烘干装置包括：密封框架的一侧内壁内设置有活性气体腔体；通风腔体的一侧壁上固定设置有多个第一排气孔，且多个第一排气孔位于侧壁的底部，其中一个安装座顶端固定安装有吹风机，吹风机的输出端与通风腔体相通；工作台固定安装有加热板，加热板的顶端固定安装有导热板，导热板上适于导电玻璃进行加热烘干；
30.在本方案中，烘干通过吹风以及加热的方式来实现，吹风机通过通风腔室对导电玻璃进行吹风，以及导热板对导电玻璃进行烘干。
31.为了将水在进水管、回水管之间形成循环，本发明采用冷却水箱内固定安装有循环水泵，循环水泵的输入端与回水管固定连接并相通，循环水泵通过线路与外界电源电性连接。
32.为了使得高压电连接件得电，本发明采用靶材与高压电连接件电性连接，高压电连接件通过线路与外界电源电性连接。
33.为了实现吹风机与通风腔室连通以及气体输送泵与第二通管连通，本发明采用吹风机的输出端处固定连接有第一通管，第一通管的另一端与通风腔体相通，活性气体输送泵的输出端处固定连接有第二通管，第二通管的另一端与活性气体腔体相通。
34.为了便于观察导电玻璃的实时状态，本发明采用排气箱的侧壁上固定安装有观察窗，观察窗为透明材料制成。
35.为了便于吸气管的开启或者关闭，本发明采用吸气管上固定安装有阀门，所述吸气管的另一端与外界真空机的输入端固定连接并相通；
36.通过阀门控制吸气管的开启或者关闭。
37.为了实现箱体和空心杆之间的密封，本发明采用空心杆与箱体的贴合连接处设置有密封圈，密封圈固定安装在箱体侧壁上。
38.与现有的技术相比，本发明的有益效果是：当导电玻璃置于置物台上，电动伸缩杆带动置物台上升并与镀膜装置密封连接进行镀膜；完成镀膜后下行，通过检测装置进行通电检测，若不合格，将置物台上升至清洗工位，对导电玻璃进行清洗，随后上升至烘干工位，
对导电玻璃进行烘干，最后上升至与镀膜装置密封连接进行镀膜，从而达到清洗失败镀膜的效果，使玻璃重新进行镀膜，从而保证成品率，减少后续的回收工序，降低了经济成本。
附图说明
39.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
40.图1是本发明所述结构的示意图；
41.图2是本发明所述结构图1的a-a截面图；
42.图3是本发明所述结构图2的b-b截面图；
43.图4是本发明所述结构图1中靶材的侧剖视图；
44.图5是本发明所述结构图1中真空罩的主视图。
45.图中：底座1、支撑柱2、安装座3、电动伸缩杆4、承载板5、第一连接架6、收集箱7、排气箱8、第一密封垫9、红外线感应器10、吸气管11、隔水板12、排水管13、工作台14、检测器15、预警灯16、连接线17、接触块18、加热板19、导热板20、第二连接架21、清洗液红外线感应器22、混合液红外线感应器23、烘干红外线感应器24、第三连接架25、滑动槽26、滑动块27、渗液筒28、三相异步电机29、渗液孔30、海绵套31、驱动电机32、连接轴33、空心杆34、密封限位环35、箱体36、限位槽37、限位块38、螺纹杆39、加液管40、u型安装架41、u型升降架42、液压缸43、真空罩44、密封框架45、第二密封垫46、通风腔体47、活性气体腔体48、活性气体输送泵49、吹风机50、l型密封块51、密封圈52、靶材53、磁条54、回水管55、进水管56、第四连接架57、冷却水箱58、高压电连接件59、绝缘板60、燕尾槽61、燕尾环62、从动齿轮63、主动齿轮64、慢速电机65。
具体实施方式
46.现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
47.如图1-5所示，本发明是一种带自修复功能的导电玻璃镀膜装置，包括：底座1；四支撑柱2，其竖直固定在底座1的角落处；安装座3，其固定在同侧两支撑柱2顶部；安装架41，其固定在两安装座3上；镀膜装置，其升降设置在安装架41顶部；电动伸缩杆4，其固定在底座1上；置物台，其适于放置导电玻璃，并通过电动伸缩杆4升降连接；烘干装置，其位于置物台、镀膜装置之间；清洗装置，其位于烘干装置、置物台之间；当导电玻璃置于置物台上，电动伸缩杆4带动置物台上升并与镀膜装置密封连接进行镀膜；完成镀膜后下行，通过检测装置进行通电检测，若不合格，将置物台上升至清洗装置处，对导电玻璃进行清洗，随后上升至烘干装置处，对导电玻璃进行烘干，最后上升至与镀膜装置密封连接重新进行镀膜。
48.为了说明置物台的具体结构，本发明采用置物台包括：承载板5，其固定在两电动伸缩杆4的活动端；工作台14，其固定在承载板5上，其适于放置导电玻璃；
49.承载板与电动伸缩杆连接，带动电动伸缩杆做升降运动，导电玻璃放置在工作台上，并更随承载板的升降进行升降运动。
50.为了说明检测装置的具体结构，本发明采用检测装置包括：检测器15，其内嵌在所述工作台14内；预警灯16，其固定在所述工作台14底部；所述检测器15的两端分别固定连接有连接线17，每个所述连接线17的另一端均固定连接有所述接触块18，两个所述接触块18
分别嵌入在所述工作台14的两侧内壁上；
51.当镀膜完成后的导电玻璃进行检测时，将导电玻璃放置在工作台上，检测器两侧连接有连接线，每一连接线上固定有接触块，通过两接触块与导电玻璃的接触，接触块释放的电流检测导电玻璃的导电率，若合格则进入下一工序，若不合格则预警灯响起。
52.为了说明清洗装置的具体结构，本发明采用清洗装置包括：
53.第三连接架25，其两端分别与相对应的支撑柱2侧壁固定连接，每个第三连接架25上均设置有两个滑动槽26，每个滑动槽26内均滑动连接有滑动块27，每个滑动槽26的内顶面和内底面上均设置有限位槽37，每个限位槽37内均滑动连接有限位块38，每个限位块38上均螺接有螺纹杆39，每两个相对设置的滑动块27之间设置有渗液筒28，每个渗液筒28的外壁上均匀固定设置有多个渗液孔30，每个渗液筒28的外壁上均套接有海绵套31，位于同一侧的两个滑动块27侧壁上均固定安装有驱动电机32，每个驱动电机32的输出端上均固定连接有连接轴33，每个连接轴33的另一端均穿过滑动块27并与相对应的渗液筒28侧壁固定连接，每个渗液筒28的另一端均固定连接有空心杆34，每个空心杆34均穿过位于另一侧的相对应的两个滑动块27并与其旋转连接，位于另一侧的两个滑动块27侧壁上均固定安装有箱体36，每个箱体36的顶端均固定连接有加液管40，每个箱体36的一侧内壁上均贴合设置有密封限位环35，每个空心杆34的一端均伸入相对应的箱体36内并与其旋转连接，且每个空心杆34伸入箱体36内的一端均与相对应的密封限位环35侧壁固定连接，其中两个支撑柱2的侧壁上均固定安装有四个三相异步电机29，每个三相异步电机29的输出端均伸入相对应的限位槽37内并与相对应的螺纹杆39一端固定连接；
54.所述承载板5的底端固定连接有第一连接架6，所述第一连接架6的底端固定安装有收集箱7，所述收集箱7的背部固定连接有排液管，所述承载板5的顶端固定安装有排气箱8，所述排气箱8的顶端与外界相通，所述排气箱8的底端两侧分别固定连接有排水管13，每个排水管13上均固定安装有阀门，每个排水管13的底端均与排水管13的顶端固定连接并相通，所述承载板5的顶端固定安装有第一密封垫9，所述排气箱8的一侧底端固定连接有吸气管11，所述排气箱8的内底面上固定安装有两个隔水板12，每个排水管13均设置在相对应的隔水板12与排气箱8一侧内壁之间，所述排气箱8两侧内壁之间固定连接有所述工作台14；
55.清洗装置分为清洗导电玻璃部分以及收集清洗废水部分；清洗导电玻璃部分包括沿滑动槽移动的渗液筒，此时渗液筒的移动由三相异步电机驱动螺纹杆转动，随后带动限位块在限位槽内移动，实现了渗液筒相对于滑动槽长度方向的移动，渗液筒的自转由驱动电机提供动力；清洗液从加液管加入至箱体内，随后通过空心杆进入至渗液筒内部，通过渗液筒上的渗液孔浸润至海绵套上，海绵套与导电玻璃滚动接触，实现对导电玻璃表面镀膜的清洗；
56.需要注意的时，在本方案中有两个渗液筒，位于下方的渗液筒内放置有酸性溶液与锌粉的混合溶液，对导电玻璃表面进行预清洗；位于上方的渗液筒内放置有清洗液，对导电玻璃表面的镀膜彻底进行清除。
57.清洗完成后的废液通过排气箱顶部的开口进入至排气箱内，随后通过排气管进入至收集箱内，实现对废液的收集；第一密封垫的作用是起到定位、固定排气箱的作用，此外也能在镀膜操作中，与密封框架底部密封，随后通过吸气管将密封框架与真空罩存在的气体抽真空。
58.为了实现载物板在清洗或烘干或镀膜工序中停止运动，本发明采用承载板5的两侧壁上均固定嵌入有红外线感应器10，位于同一侧的两个支撑柱2之间均固定连接有多个第二连接架21，多个第二连接架21的侧壁上由下到上依次固定安装有混合液红外线感应器23、清洗液红外线感应器22和烘干红外线感应器24；当所述红外线感应器10与混合液红外线感应器23或清洗液红外线感应器22或烘干红外线感应器24感应时，所述电动伸缩杆4停止运动；
59.这样一来，红外线感应器与混合液红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行预清洗；红外线感应器与清洗液红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行彻底；红外线感应器与烘干红外线感应器感应时，电动伸缩杆停止运动，此时对导电玻璃进行烘干处理，去除导电玻璃表面清洗液。
60.为了实现对整体镀膜装置高度的调整，本发明采用所述安装架41顶部通过液压缸43连接有升降架42，所述升降架42底部固定有所述镀膜装置；
61.通过液压缸的升降实现了升降架的升降，通过升降架的升降带动镀膜装置的升降，从而能够将镀膜装置调整至合适高度。
62.为了说明镀膜装置的具体结构，本发明采用镀膜装置包括：真空罩44，其顶部与所述升降架42固定连接；密封框架45，其固定在两对应所述安装座3内侧；所述密封框架45的内壁上固定安装有第二密封垫46，所述真空罩44底端伸入密封框架45内并与密封框架45内壁上设置的第二密封垫46紧密贴合设置；所述密封框架45的两侧内壁上均固定安装有与所述排气箱8顶部密封的l型密封块51，所述密封框架45的一侧内壁内设置有活性气体腔体48，所述活性气体腔体48的一侧壁上固定设置有多个第二排气孔，且多个第二排气孔位于侧壁的顶部，另一侧安装座3顶端固定安装有活性气体输送泵49，所述活性气体输送泵49的输出端与活性气体腔体48相通；
63.所述真空罩44的两侧壁上分别固定安装有两组密封圈52，每组密封圈52为两个，每组密封圈52之间共同插接有旋转连接的靶材53，每个靶材53呈圆筒状，每个靶材53的一端均固定连接有从动齿轮63，所述真空罩44的顶端固定安装有慢速电机65，所述慢速电机65的输出端固定安装有主动齿轮64，所述主动齿轮64分别与两个从动齿轮63啮合设置，每个靶材53的另一端均贴合设置有绝缘板60，每个绝缘板60与靶材53的贴合处侧壁上均设置有燕尾槽61，每个燕尾槽61呈环形状，每个燕尾槽61内均滑动连接有燕尾环62，每个靶材53的一端均与相对应的燕尾环62侧壁固定连接，每个绝缘板60上均固定安装有高压电连接件59，且每个绝缘板60上均固定安装有多个磁条54，所述真空罩44的背部固定安装有第四连接架57，所述第四连接架57的底端固定安装有冷却水箱58，所述冷却水箱58的一侧固定连接有两组回水管55和进水管56，每组回水管55和进水管56的另一端分别与相对应的绝缘板60固定连接并相通。
64.当电动伸缩杆带动导电玻璃上升的同时，吸气管通过排气箱的开口将真空罩、密封框架、承载板形成一密封的真空空间，随后l型密封块堵住排气箱的开口处，随后进行镀膜操作；
65.在镀膜过程中，从动齿轮在慢速电机、主动齿轮的传动下进行慢速转动，从而使得两个靶材始终处于慢速旋转的状态，启动高压电连接件，使得靶材通电启动活性气体输送泵，通过活性气体腔体顶部处的第二排气孔释放活性气体，活性气体在磁条产生的磁场作
用下，与靶材产生撞击，从而使得靶材上的粒子落在玻璃上，形成镀膜，从而完成工作。在镀膜的过程中，会产生大量的热量，通过底端固定安装冷却水箱58的进水管56为安装靶材53的阴极提供冷却水，带走热量从通过回水管55返回冷却水箱。
66.为了说明烘干装置的具体结构，本发明采用烘干装置包括：密封框架45的一侧内壁内设置有活性气体腔体48；通风腔体48的一侧壁上固定设置有多个第一排气孔，且多个第一排气孔位于侧壁的底部，其中一个安装座3顶端固定安装有吹风机50，吹风机50的输出端与通风腔体47相通；工作台14固定安装有加热板19，加热板19的顶端固定安装有导热板20，导热板20上适于导电玻璃进行加热烘干；
67.在本方案中，烘干通过吹风以及加热的方式来实现，吹风机通过通风腔室对导电玻璃进行吹风，以及导热板对导电玻璃进行烘干。
68.为了将水在进水管、回水管之间形成循环，本发明采用冷却水箱58内固定安装有循环水泵，循环水泵的输入端与回水管55固定连接并相通，循环水泵通过线路与外界电源电性连接。
69.为了使得高压电连接件得电，本发明采用靶材与高压电连接件电性连接，高压电连接件通过线路与外界电源电性连接。
70.为了实现吹风机与通风腔室连通以及气体输送泵与第二通管连通，本发明采用吹风机50的输出端处固定连接有第一通管，第一通管的另一端与通风腔体47相通，活性气体输送泵49的输出端处固定连接有第二通管，第二通管的另一端与活性气体腔体48相通。
71.为了便于观察导电玻璃的实时状态，本发明采用排气箱8的侧壁上固定安装有观察窗，观察窗为透明材料制成。
72.为了便于吸气管的开启或者关闭，本发明采用吸气管11上固定安装有阀门，所述吸气管11的另一端与外界真空机的输入端固定连接并相通；
73.通过阀门控制吸气管的开启或者关闭。
74.为了实现箱体和空心杆之间的密封，本发明采用空心杆34与箱体36的贴合连接处设置有密封圈，密封圈固定安装在箱体36侧壁上。
75.与现有的技术相比，本发明的有益效果是：在工作台内设置有检测器、连接线和接触块，释放电流通过镀膜后的玻璃，通过预警灯来判断镀膜是否合格，设置有滑动槽、滑动块、渗液筒、三相异步电机、渗液孔、海绵套、驱动电机、连接轴、空心杆、密封限位环和箱体，通过清洗液红外线感应器、混合液红外线感应器和烘干红外线感应器的配合使用下，从而达到清洗失败镀膜的效果，使玻璃重新进行镀膜，从而保证成品率，减少后续的回收工序，降低了经济成本。
76.工作原理：使用时，装置放置在工作区域，接通装置中各驱动的电源，使其处于待机状态，这样装置即可正常进行使用。
77.将玻璃放置在工作台14处，也就是导热板20的顶部，然后启动电动伸缩杆4上升，这样将玻璃托送至密封框架45内，形成密封的空间，然后启动吸气管11处的真空机，将内部的空气吸出，从而形成真空，然后启动高压电连接件59，使得靶材53通电，然后启动活性气体输送泵49，通过活性气体腔体48顶部处的第二排气孔释放活性气体，活性气体在磁条54产生的磁场作用下，与靶材53产生撞击，从而使得靶材53上的粒子落在玻璃上，形成镀膜，从而完成工作。
78.当镀膜工作完成后，此时启动两个电动伸缩杆4下降，从而使得玻璃离开密封框架45内，当玻璃下降至初始位置后，在工作台14内设置有检测器15，而检测器15的两端通过连接线17分别连接有接触块18，两个接触块18分别与镀膜后的玻璃外壁接触，检测器15通过线路也与预警灯16连接，这样检测器15开始工作后，释放电流通过镀膜后的玻璃，若导电率达到要求，则预警灯16不会响起，镀膜后的玻璃则会进行下一工序，如未达到要求，则预警灯16响起，此时进行重新镀膜。
79.重新镀膜时，需要对原有失败的镀膜进行清理，当电动伸缩杆4上升时，位于承载板5的两侧均嵌入有红外线感应器10，上升至混合液红外线感应器23处时，红外线感应器10与混合液红外线感应器23发生感应，此时混合液红外线感应器23停止上升，位于下方的滑动槽26内的滑动块27开始滑动，相对应的驱动电机32也进行启动，使得相对应的渗液筒28开始旋转，而相对应的箱体36内放置有酸性溶液与锌粉的混合溶液，这样通过转动的海绵套31涂抹在玻璃的镀膜表面，对其进行腐蚀清洗，且滑动槽26内的滑动块27驱动依靠三相异步电机29，三相异步电机29通过每个限位槽37内的限位块38和螺纹杆39对滑动块27进行驱动，三相异步电机29转动后带动螺纹杆39进行转动，而限位块38与限位槽37存在形状上的卡合，且限位块38与螺纹杆39螺接，从而完成移动，且为了保证螺纹杆39的正常旋转，设置有多个轴承在限位槽37的一侧内壁上，这样保证装置的正常运转，这样来回往复的对镀膜清理3-5次后，使得镀膜能够完全的清理腐蚀干净，然后电动伸缩杆4继续上升，当红外线感应器10与清洗液红外线感应器22进行感应，此时位于上方的滑动槽26内的滑动块27开始滑动，相对应的驱动电机32也进行启动，使得相对应的渗液筒28开始旋转，而相对应的箱体36内放置有清洗液，用来洗掉混合液的残留并对玻璃的表面进行清洗，从而使得玻璃的失败镀膜彻底清除，然后电动伸缩杆4继续上升，当红外线感应器10与烘干红外线感应器24感应后，位于工作台14内的加热板19和导热板20以及其中一个安装座3顶端的吹风机50开始工作，吹风机50用来对玻璃的湿润面进行吹风，在与加热板19和导热板20的配合下，玻璃被进行加热，然后进行吹风，从而使得表面的液体完全去除，达到镀膜的洁净度标准，然后继续上升，重新镀膜，从而完成检测以及重新镀膜的工作。
80.在镀膜过程中，设置有从动齿轮63、主动齿轮64和慢速电机65，启动慢速电机65，使得慢速电机65带动主动齿轮64进行旋转，从而使得两个从动齿轮63也进行旋转，从而使得两个靶材53始终处于慢速旋转的状态，这样在活性气体撞击靶材53时，使得靶材53的外表面始终保持均匀，同时设置有u型升降架42和液压缸43，可以用来调节靶材53与玻璃之间的间距，从而很好的把控镀膜效率，同时由于靶材53的不断消耗，进行细微的调整也可以保证效率的稳定，同时由于真空罩44插入密封框架45内，在密封框架45的内壁设置与绝缘板60相匹配的弧形槽，用来保证绝缘板60的上下滑动，同时也能够避免产生缝隙，保证密封性。
81.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。