一种单晶炉热场保温装置的制作方法

文档序号:32263005发布日期:2022-11-22 19:10阅读:49来源:国知局
一种单晶炉热场保温装置的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉热场保温装置。


背景技术:

2.单晶炉热场材料主要为直拉单晶硅棒生长提供热能及保温,整个热场从功能上又分为支撑部件、保温部件、功能部件及发热部件,其中保温部件的优劣直接影响单晶拉制的电耗成本及良率高低问题。
3.现有技术中,直拉单晶炉传统的保温结构全部采用石墨纤维丝制成的软毡或者固毡,这种保温结构材料成本高,使用寿命低。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是开发一种降低生产使用成本,提高使用寿命的单晶炉热场保温装置。
5.本实用新型通过如下的技术方案实现:
6.一种单晶炉热场保温装置,包括:
7.保温件,为石英材质;
8.保温隔热层,设于保温件内;
9.其中,所述保温件为整体式结构或分体拼接式结构,所述保温隔热层内设有保温隔热材料。
10.可选的,所述保温隔热层内的保温隔热材料为碳纤维毡。
11.可选的,所述保温隔热层内的保温隔热材料为陶瓷纤维毡。
12.可选的,所述保温隔热层内的保温隔热材料为泡沫陶瓷。
13.可选的,所述保温隔热层内的保温隔热材料为石墨纤维毡。
14.可选的,所述保温件的形状为桶状、非平面片状或平板状。
15.可选的,所述保温件为桶状的分体拼接式结构,所述保温件在圆周方向均匀分体为多部分,各部分的两端分别设有相互配合的拼接卡扣。
16.可选的,所述保温隔热层中具有气孔。
17.可选的,所述保温隔热层为真空层。
18.本实用新型的有益效果是:
19.本实用新型可替代传统的单晶炉热场保温桶外部毡、单晶炉炉底毡及单晶炉热场上部高温盖,通过替代部分单晶炉热场保温的石墨纤维毡,达到降低生产成本的目的,石英材质作为外部基材,对内部保温隔热层形成一定的保护,提高保温结构使用寿命,并且石英材料纯度更高,可达到洁净设备内腔体的效果。
附图说明
20.为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
21.图1为桶状整体式保温件结构图;
22.图2为桶状分体拼接式保温件结构图;
23.图3为桶状保温件内部结构图。
具体实施方式
24.在下文中,仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样,在不脱离本发明创造的精神或范围的情况下,可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此,附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
25.在本发明创造中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接,还可以是通信;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
26.下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。
27.如图1~3所示,本实用新型公开了一种单晶炉热场保温装置,包括保温件1,保温件1以石英为基材,保温件1为整体式结构或分体拼接式结构,整体式的保温件1为一体结构,分体拼接式则由多个分体通过拼接形成完整的保温件1。保温件1的形状包括桶状、非平面片状及平板状。
28.本实施例中保温件1为桶状并且为分体拼接式结构,保温件1在圆周方向均匀分体为四部分,各部分的两端分别设有相互配合的拼接卡扣11。
29.保温件1内部设有保温隔热层2,保温隔热层2中具有气孔3,可根据使用环境调整不同的气孔率,还可对保温隔热层2进行抽真空使其处于真空。
30.保温隔热层2内设有保温隔热材料,可采用碳纤维毡、陶瓷纤维毡或泡沫陶瓷作为保温隔热材料,也可采用石墨纤维毡作为保温隔热材料。
31.保温件1可与石墨纤维毡混合使用,保温件1设置于石墨纤维毡外部,石英材料纯度更高,可提升单晶炉热场的清洁度。
32.本实用新型可替代传统的单晶炉热场保温桶外部毡、单晶炉炉底毡及单晶炉热场上部高温盖,通过替代部分单晶炉热场保温的石墨纤维毡,达到降低生产成本的目的,石英材质作为外部基材,对内部保温隔热层2形成一定的保护,提高保温结构使用寿命,并且石英材料纯度更高,可达到洁净设备内腔体的效果。
33.上述实施例只是本实用新型的较佳实施例,并不是对本实用新型技术方案的限制,只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案,均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。


技术特征:
1.一种单晶炉热场保温装置,其特征在于,包括:保温件,为石英材质;保温隔热层,设于保温件内;其中,所述保温件为整体式结构或分体拼接式结构,所述保温隔热层内设有保温隔热材料,所述保温件的形状为桶状、非平面片状或平板状,所述保温隔热层中具有气孔,所述保温隔热层为真空层。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场保温装置,其特征在于,所述保温隔热层内的保温隔热材料为碳纤维毡。3.根据权利要求1所述的单晶炉热场保温装置,其特征在于,所述保温隔热层内的保温隔热材料为陶瓷纤维毡。4.根据权利要求1所述的单晶炉热场保温装置,其特征在于,所述保温隔热层内的保温隔热材料为泡沫陶瓷。5.根据权利要求1所述的单晶炉热场保温装置,其特征在于,所述保温隔热层内的保温隔热材料为石墨纤维毡。6.根据权利要求1所述的单晶炉热场保温装置,其特征在于,所述保温件为桶状的分体拼接式结构,所述保温件在圆周方向均匀分体为多部分,各部分的两端分别设有相互配合的拼接卡扣。

技术总结
本实用新型提供了一种单晶炉热场保温装置,涉及单晶炉技术领域。本实用新型包括石英材质的保温件,保温件内设有保温隔热层,所述保温件为整体式结构或分体拼接式结构,所述保温隔热层内设有保温隔热材料。温隔热层内设有保温隔热材料。温隔热层内设有保温隔热材料。


技术研发人员:刘杰 姚婉莹 王谦 李彬 刘永祥 张军 马自成
受保护的技术使用者:四川永祥光伏科技有限公司
技术研发日:2022.02.14
技术公布日:2022/11/21
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