一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置的制作方法

1.本实用新型涉及机械设备技术领域，更具体地说，涉及一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置。


背景技术：

2.在薄膜晶体管液晶显示器(tft-lcd)生产行业中，在玻璃基板进行药液刻蚀工艺中，为了确保刻蚀的均一性，玻璃基板上部的喷嘴需要做摇摆往复运动，使刻蚀液能均匀喷洒在玻璃基板上，从而保证玻璃基板刻蚀的均一性。喷嘴做摇摆往复运动，工作原理是将电机的圆周运动，通过连杆转换成拉杆的直线往复运动，拉杆和喷淋管通过连接件进行连接，再将拉杆的直线往复运动转换成喷淋管的往复摇摆运动。
3.现有摇摆驱动机构是通过电机旋转带动圆盘旋转，在圆盘上距离旋转中心一定距离安装一个凸轮轴承，再有一个横梁安装在圆盘上方，横梁两端和直线导轨固定，在横梁的中间加工有一个长孔，凸轮轴承固定在长孔里面，这样当圆盘转动时，凸轮轴承会带着横梁前后往复移动，从而将电机的旋转运动转换成直线往复运动，存在以下缺陷：
4.1、摇摆驱动机构因为使用两个导轨，所需空间大，费用高。
5.2、圆盘上面的凸轮轴承在横梁中运动时，受力比较大，容易破损或者和横梁之间磨损比较严重，需要定期更换横梁和凸轮轴承。


技术实现要素：

6.1.要解决的技术问题
7.针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，它可以实现简化传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。
8.2.技术方案
9.为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。
10.一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，包括连接支架以及安装于连接支架内部的安装支板，所述安装支板内部顶端通过支架安装有直流电机，所述直流电机动力输出端连接有联轴器，所述联轴器动力输出端贯穿所述安装支板固定连接有驱动圆盘，所述驱动圆盘转动连接于所述安装支板顶面，所述安装支板顶面远离所述驱动圆盘一侧固定安装有滑轨，所述滑轨和所述驱动圆盘之间设置有用于润滑所述滑轨的润滑机构，所述滑轨顶面滑动连接有滑块，所述滑块顶端固定安装有连接支座，所述连接支座顶面靠近所述驱动圆盘一端固定焊接有第一连接栓，所述第一连接栓与所述驱动圆盘之间通过设置有连杆机构传动连接，所述连杆机构其中一端转动连接于所述第一连接栓上，另一端通过设置有调节机构与所述驱动圆盘顶面一侧转动连接，所述连接支座侧面垂直焊接有连接轴，所述连接轴远离所述连接支座一端固定安装有转接头。
11.进一步的，所述调节机构包括开设于所述驱动圆盘顶面一侧的调节滑槽，所述调
节滑槽内部滑动嵌入有滑座，所述滑座顶端固定焊接有第二连接栓，所述调节滑槽内部贯穿所述滑座转动连接有调节丝杆，所述调节丝杆与所述滑座螺纹连接。
12.进一步的，所述调节丝杆其中一端贯穿所述驱动圆盘固定安装有旋转帽。
13.进一步的，所述连杆机构包括设置于所述第一连接栓和所述第二连接栓之间的中心连杆，所述中心连杆两端对称螺纹连接有伸缩螺杆，两个所述伸缩螺杆远离所述中心连杆一端均固定焊接有鱼眼接头，其中一个所述鱼眼接头转动套接于所述第二连接栓上，另一个所述鱼眼接头转动套接于所述第一连接栓上。
14.进一步的，所述润滑机构包括开设于所述滑轨内部的润滑槽以及均匀贯穿开设于所述滑轨滑道侧壁的出油微孔，所述润滑槽内部嵌入有吸油棉块，所述滑轨靠近所述驱动圆盘一端可拆卸安装有用于封堵所述吸油棉块的密封端盖，所述密封端盖上对称安装有两个输油管，所述输油管表面均匀开设有输油孔，所述输油管嵌入于所述吸油棉块内部，所述安装支板顶面靠近所述密封端盖固定安装有供油管腔，所述供油管腔靠近所述密封端盖一端设置有两个连接端口，所述连接端口与所述输油管的进口端相连接，所述供油管腔内部滑动嵌入有活塞柱，所述活塞柱远离所述连接端口一端固定安装有推柱，所述推柱远离所述活塞柱一端贯穿所述供油管腔固定安装有连接块，所述连接块侧面与所述活塞柱侧面之间固定嵌入有复位弹簧，所述复位弹簧环绕于所述推柱外表面。
15.进一步的，所述安装支板顶面靠近所述供油管腔一侧安装有油罐，所述油罐出油口通过管道与所述供油管腔内部相连通。
16.进一步的，所述供油管腔的进油孔位置设置于所述供油管腔的长度中心位置，所述活塞柱的延伸长度小于所述供油管腔的二分之一长度，所述供油管腔进油孔内部嵌入有单向阀，且方向朝向所述供油管腔内部。
17.进一步的，所述连接端口在与所述输油管连接处嵌入有单向阀，且所述单向阀的流向朝向所述输油管。
18.进一步的，所述连接块呈半球状，所述驱动圆盘底面中心轴外表面固定安装有驱动推杆，所述驱动推杆呈凸轮状结构，且侧面与所述连接块外表面相切。
19.3.有益效果
20.相比于现有技术，本实用新型的优点在于：
21.(1)本方案相较于传统结构，简化了传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。
22.(2)本方案设置有调节机构和连杆机构，可根据需要，适当调整直线往复运动的行程长短，使其更加符合生产要求，使得该装置适用范围更广，便于进行推广。
23.(3)本方案设置有润滑机构，可在使用的过程中，不断地向滑轨和滑块之间填充润滑油，对滑块的滑动进行润滑，降低摩擦和损耗，从而保证直线往复运动的顺畅性。
附图说明
24.图1为本实用新型的立体结构示意图；
25.图2为本实用新型的局部结构示意图；
26.图3为本实用新型的润滑机构爆炸图；
27.图4为本实用新型的润滑机构剖视结构示意图；
28.图5为本实用新型的调节机构结构示意图；
29.图6为本实用新型的调节机构爆炸图；
30.图7为本实用新型的连杆机构结构示意图。
31.图中标号说明：
32.1、连接支架；2、安装支板；3、驱动圆盘；4、滑轨；5、滑块；6、连接支座；7、第一连接栓；8、连接轴；9、转接头；10、中心连杆；11、伸缩螺杆；12、鱼眼接头；13、直流电机；14、联轴器；15、调节滑槽；16、滑座；17、第二连接栓；18、调节丝杆；19、旋转帽；20、驱动推杆；21、润滑槽；22、出油微孔；23、密封端盖；24、吸油棉块；25、输油管；26、输油孔；27、供油管腔；28、连接端口；29、活塞柱；30、推柱；31、复位弹簧；32、连接块；33、油罐。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.实施例：
35.请参阅图1-7，一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，包括连接支架1 以及安装于连接支架1内部的安装支板2，安装支板2内部顶端通过支架安装有直流电机13，直流电机13动力输出端连接有联轴器14，联轴器14动力输出端贯穿安装支板2固定连接有驱动圆盘3，驱动圆盘3转动连接于安装支板 2顶面，安装支板2顶面远离驱动圆盘3一侧固定安装有滑轨4，滑轨4和驱动圆盘3之间设置有用于润滑滑轨4的润滑机构，滑轨4顶面滑动连接有滑块5，滑块5顶端固定安装有连接支座6，连接支座6顶面靠近驱动圆盘3一端固定焊接有第一连接栓7，第一连接栓7与驱动圆盘3之间通过设置有连杆机构传动连接，连杆机构其中一端转动连接于第一连接栓7上，另一端通过设置有调节机构与驱动圆盘3顶面一侧转动连接，连接支座6侧面垂直焊接有连接轴8，连接轴8远离连接支座6一端固定安装有转接头9。
36.参阅图1-6，调节机构包括开设于驱动圆盘3顶面一侧的调节滑槽15，同时调节滑槽15内部滑动嵌入有滑座16，并且滑座16顶端固定焊接有第二连接栓17，通过在调节滑槽15内部贯穿滑座16转动连接有调节丝杆18，并将调节丝杆18与滑座16螺纹连接，可通过转动调节丝杆18来调节第二连接栓17距离驱动圆盘3圆心的距离，进而可调节直线运动的行程长度，从而使的该装置更加符合生产的需要。
37.参阅图5和图6，其中，调节丝杆18其中一端贯穿驱动圆盘3固定安装有旋转帽19，可方便使用工具通过旋转帽19转动调节丝杆18，使得调节丝杆18的转动更加方便。
38.参阅图1和图7，连杆机构包括设置于第一连接栓7和第二连接栓17之间的中心连杆10，同时中心连杆10两端对称螺纹连接有伸缩螺杆11，并且两个伸缩螺杆11远离中心连杆10一端均固定焊接有鱼眼接头12，其中一个鱼眼接头12转动套接于第二连接栓17上，另一个鱼眼接头12转动套接于第一连接栓7上，可通过正向或者反向转动中心连杆10，将伸缩螺杆11向中心连杆10内部进行收缩或者向外延伸，进而改变直线运动的行程长度，从而使的该装置适用范围更广。
39.参阅图1-4，润滑机构包括开设于滑轨4内部的润滑槽21以及均匀贯穿开设于滑轨4滑道侧壁的出油微孔22，润滑槽21内部嵌入有吸油棉块24，滑轨4靠近驱动圆盘3一端可拆卸安装有用于封堵吸油棉块24的密封端盖23，密封端盖23上对称安装有两个输油管25，输油管25表面均匀开设有输油孔 26，输油管25嵌入于吸油棉块24内部，安装支板2顶面靠近密封端盖23固定安装有供油管腔27，供油管腔27靠近密封端盖23一端设置有两个连接端口28，连接端口28与输油管25的进口端相连接，供油管腔27内部滑动嵌入有活塞柱29，活塞柱29远离连接端口28一端固定安装有推柱30，推柱30 远离活塞柱29一端贯穿供油管腔27固定安装有连接块32，连接块32侧面与活塞柱29侧面之间固定嵌入有复位弹簧31，复位弹簧31环绕于推柱30外表面，同时复位弹簧31的最大复位弹力大于供油管腔27所形成的最大负压力，可方便活塞柱29的复位；可经过推柱30推动活塞柱29在供油管腔27内部移动，同时压缩复位弹簧31，先将供油管腔27内部的气体经过输油孔26排出，之后在复位弹簧31的反弹力下将活塞柱29进行复位，从而在供油管腔 27内部形成负压，将油罐33内部的油液经过管道吸入到供油管腔27内部，在驱动推杆20的循环推动下将油液经过输油孔26填充至吸油棉块24内部，并逐渐有出油微孔22流出，对滑块5的滑动进行润滑，从而保证直线往复运动的顺畅性。
40.参阅图1和图2，其中，通过在安装支板2顶面靠近供油管腔27一侧安装有油罐33，并且油罐33出油口通过管道与供油管腔27内部相连通，可通过油罐33向供油管腔27内部进行供油。
41.参阅图3和图4，其中，通过将供油管腔27的进油孔位置设置于供油管腔27的长度中心位置，同时活塞柱29的延伸长度小于供油管腔27的二分之一长度，可使得油液进入之后，可全部通过活塞柱29向输油管25内部进行推送，同时在供油管腔27进油孔内部嵌入有单向阀，且方向朝向供油管腔27 内部，可避免推送过程中油液发生回流。
42.参阅图3和图4，其中，通过在连接端口28在与输油管25连接处嵌入有单向阀，且单向阀的流向朝向输油管25，可避免油液和空气发生回流，方便供油管腔27内部形成负压腔。
43.参阅图3和图4，其中，通过将连接块32呈半球状，同时驱动圆盘3底面中心轴外表面固定安装有驱动推杆20，并且驱动推杆20呈凸轮状结构，且侧面与连接块32外表面相切，可降低连接块32和驱动推杆20之间的接触摩擦力，同时驱动推杆20可经过连接块32循环推动活塞柱29在供油管腔27 内部进行移动，且移动行程略小于活塞柱29的长度，可使得活塞柱29移动时对供油管腔27的进油口进行封堵，避免发生漏油。
44.在使用时：首先，可根据需要通过调节机构和连杆机构，调节滑动行程长度，使其更加符合生产要求，紧接着通过直流电机13经过联轴器14带动驱动圆盘3进行圆周转动，同时通过连杆机构推动连接支座6和滑块5在滑轨4上做直线往复运动，进而推动连接轴8和转接头9进行直线往复运动，从而使得喷嘴可以将刻蚀液能均匀喷洒在玻璃基板上，从而保证玻璃基板刻蚀的均一性；
45.其次，驱动圆盘3转动的同时可带动驱动推杆20进行转动，进而经过推柱30推动活塞柱29在供油管腔27内部移动，同时压缩复位弹簧31，先将供油管腔27内部的气体经过输油孔26排出，之后在复位弹簧31的反弹力下将活塞柱29进行复位，从而在供油管腔27内部形成负压，将油罐33内部的油液经过管道吸入到供油管腔27内部，在驱动推杆20的循环推动下将油液经过输油孔26填充至吸油棉块24内部，并逐渐有出油微孔22流出，对滑块5 的
滑动进行润滑，从而保证直线往复运动的顺畅性。
46.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。