一种隔热效果好的石英炉管用炉帽的制作方法

1.本实用新型涉及石英炉管技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种隔热效果好的石英炉管用炉帽。


背景技术：

2.石英炉管通常与扩散炉一起配合使用，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散，在进行高温扩散工艺时，是将硅片连同硅片托架一起放入石英炉管中进行工艺。
3.但是在实际使用时，大多数石英炉管用炉帽主要实现耐高温密封作用，隔热效果较差，多数被处理材料在石英炉管内部时处于靠近石英炉管中部，而石英炉管端部的炉帽处，导致热量导出消耗过多。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的一端外表面固定套接有连接固定环，所述连接固定环上螺纹连接有石英炉管炉帽，所述石英炉管炉帽的一端固定安装有连接控制环，所述连接控制环内转动连接有阀门控制转柱，所述石英炉管炉帽内部设置有隔热空间槽，所述隔热空间槽内部填充有石棉填充物。
6.优选地，所述石英炉管炉帽的一端外表面开设有若干个连接螺丝穿插孔，所述石英炉管炉帽另一端的内壁表面固定连接有连接内螺纹。
7.优选地，所述连接固定环的外表美固定连接有外螺纹，所述外螺纹外表面与连接内螺纹的内壁表面螺纹啮合。
8.优选地，所述连接控制环的一端固定连接有连接法兰盘，所述连接法兰盘上开设有若干个连接螺孔。
9.优选地，所述连接控制环的另一端表面通过螺丝与石英炉管炉帽贴合连接。
10.优选地，所述石英炉管主体的另一端固定连接有输气管。
11.本实用新型的技术效果和优点：
12.1、与现有技术相比，通过设置隔热空间槽，石英炉管炉帽处通过内部设置隔热空间槽，使得石英炉管炉帽中部呈现中空降低热量传导，且通过在隔热空间槽填充石棉填充物，使得通过利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点，使得通过其高耐热特点增加热量阻隔。
13.2、与现有技术相比，通过设置石棉填充物，以便于降低热量外导，从而使得石英炉管炉帽外部也不会感受到较大的热感。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图。
15.图2为本实用新型石英炉管炉帽结构示意图。
16.图3为本实用新型石英炉管炉帽局部切面结构示意图。
17.图4为本实用新型a处放大结构示意图。
18.附图标记为：1、石英炉管主体；2、连接固定环；3、石英炉管炉帽；4、连接控制环；5、连接法兰盘；6、外螺纹；7、隔热空间槽；8、石棉填充物；9、阀门控制转柱；10、输气管；301、连接螺丝穿插孔；302、连接内螺纹。
具体实施方式
19.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
20.如附图1-4所示的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，包括石英炉管主体1，石英炉管主体1的一端外表面固定套接有连接固定环2，连接固定环2上螺纹连接有石英炉管炉帽3，石英炉管炉帽3的一端固定安装有连接控制环4，连接控制环4内转动连接有阀门控制转柱9，石英炉管炉帽3内部设置有隔热空间槽7，隔热空间槽7内部填充有石棉填充物8，本装置使用时通过连接控制环4一端的连接法兰盘5与扩散炉进行安装连接，通过阀门控制转柱9转动，使得内部球体转动实现阀门控制作用，而后石英炉管炉帽3处通过内部设置隔热空间槽7，使得石英炉管炉帽3中部呈现中空降低热量传导，且通过在隔热空间槽7填充石棉填充物8，使得通过利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点，使得通过其高耐热特点增加热量阻隔，以便于降低热量外导，从而使得石英炉管炉帽3外部也不会感受到较大的热感。
21.在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2和附图3所示，石英炉管炉帽3的一端外表面开设有若干个连接螺丝穿插孔301，石英炉管炉帽3另一端的内壁表面固定连接有连接内螺纹302，连接固定环2的外表美固定连接有外螺纹6，外螺纹6外表面与连接内螺纹302的内壁表面螺纹啮合，连接控制环4的一端固定连接有连接法兰盘5，连接法兰盘5上开设有若干个连接螺孔，连接控制环4的另一端表面通过螺丝与石英炉管炉帽3贴合连接，以便于物体之间的连接固定作用。
22.在一个优选地实施方式中，如附图1、附图2和附图3所示，石英炉管主体1的另一端固定连接有输气管10，以便于通过两个输气管10，分别是进气管和出气管，使得石英炉管主体1内部气体得到内外循环排放。
23.本实用新型工作原理：本装置使用时通过连接控制环4一端的连接法兰盘5与扩散炉进行安装连接，通过阀门控制转柱9转动，使得内部球体转动实现阀门控制作用，而后石英炉管炉帽3处通过内部设置隔热空间槽7，使得石英炉管炉帽3中部呈现中空降低热量传导，且通过在隔热空间槽7填充石棉填充物8，使得通过利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点，使得通过其高耐热特点增加热量阻隔，以便于降低热量外导，从而使得石英炉管炉帽3外部也不会感受到较大的热感。
24.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
25.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，包括石英炉管主体（1），其特征在于：所述石英炉管主体（1）的一端外表面固定套接有连接固定环（2），所述连接固定环（2）上螺纹连接有石英炉管炉帽（3），所述石英炉管炉帽（3）的一端固定安装有连接控制环（4），所述连接控制环（4）内转动连接有阀门控制转柱（9），所述石英炉管炉帽（3）内部设置有隔热空间槽（7），所述隔热空间槽（7）内部填充有石棉填充物（8）。2.根据权利要求1所述的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，其特征在于：所述石英炉管炉帽（3）的一端外表面开设有若干个连接螺丝穿插孔（301），所述石英炉管炉帽（3）另一端的内壁表面固定连接有连接内螺纹（302）。3.根据权利要求2所述的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，其特征在于：所述连接固定环（2）的外表美固定连接有外螺纹（6），所述外螺纹（6）外表面与连接内螺纹（302）的内壁表面螺纹啮合。4.根据权利要求3所述的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，其特征在于：所述连接控制环（4）的一端固定连接有连接法兰盘（5），所述连接法兰盘（5）上开设有若干个连接螺孔。5.根据权利要求4所述的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，其特征在于：所述连接控制环（4）的另一端表面通过螺丝与石英炉管炉帽（3）贴合连接。6.根据权利要求1所述的一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，其特征在于：所述石英炉管主体（1）的另一端固定连接有输气管（10）。

技术总结
本实用新型公开了一种隔热效果好的石英炉管用炉帽，具体涉及石英炉管领域，包括石英炉管主体，所述石英炉管主体的一端外表面固定套接有连接固定环，所述连接固定环上螺纹连接有石英炉管炉帽，所述石英炉管炉帽的一端固定安装有连接控制环，所述连接控制环内转动连接有阀门控制转柱，所述石英炉管炉帽内部设置有隔热空间槽。本实用新型通过设置隔热空间槽，石英炉管炉帽处通过内部设置隔热空间槽，使得石英炉管炉帽中部呈现中空降低热量传导，且通过在隔热空间槽填充石棉填充物，利用石棉的高抗张强度、高挠性、耐化学和热侵蚀、电绝缘等特点，使得其高增加热量阻隔。使得其高增加热量阻隔。使得其高增加热量阻隔。


技术研发人员：孙建平 朱国飞 费斌斌
受保护的技术使用者：苏州光协光电科技有限公司
技术研发日：2022.03.16
技术公布日：2022/8/8